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夏洋: 作品数：501 被引量：67H指数：5; 供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>; 发文基金：国家自然科学基金中国科学院科研装备研制项目国家科技重大专项更多>>; 相关领域：电子电信理学一般工业技术机械工程更多>>

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一种用于匹配器设备的空气电容结构: 本发明涉及等离子刻蚀、淀积设备技术领域，具体涉及一种用于匹配器设备的空气电容结构。所述空气电容结构，包括电容片和连接所述电容片的连接杆，所述连接杆上固定设有连接柱，所述连接柱将镀银线圈与所述连接杆连接。本发明通过在空气电...; 杨进徐维江李勇滔夏洋; 文献传递

一种原位制备太阳能电池的方法: 本发明公开了一种原位制备太阳能电池的方法，属于太阳能电池制造技术领域。所述制备方法包括：对硅片进行预处理；将经预处理后的硅片放置于等离子体浸没离子注入机的注入腔室内，利用等离子体浸没离子注入工艺，完成黑硅的制备，在所述黑...; 夏洋刘邦武李超波刘杰汪明刚李勇滔

一种气体分配器及原子层沉积设备: 本发明涉及原子层沉积设备技术领域，具体涉及一种气体分配器及包括该气体分配器的原子层沉积设备。所述气体分配器，包括进气管道、过渡管道和配气盘，所述配气盘固定设置在所述过渡管道的出气口，所述过渡管道的进气口与所述进气管道连接...; 张艳清夏洋李超波万军吕树玲陈波石莎莉李楠; 文献传递

一种射频阻抗匹配器: 本发明公开了一种射频阻抗匹配器，属于半导体制造技术领域。所述射频阻抗匹配器通过传输线连接在射频电源与等离子体腔室之间，射频阻抗匹配器包括：信号检测模块，用于检测射频电源的入射功率和传输线的反射功率，并输出检测结果；控制模...; 孙小孟李勇滔赵章琰李英杰秦威夏洋; 文献传递

磁存储器驱动电路界面平坦化研究: 2006年; 利用原子力显微镜(AFM)和扫描电镜(SEM)对磁存储器(MRAM)驱动电路与存储单元--磁性隧道结(MTJ)的连接界面的表面平坦化进行了研究.原子力显微镜照片表明:磁控溅射沉积的金属铝膜的表面由尺寸约为300nm的颗粒组成,其表面粗糙度约为几十纳米的量级,用统计平均值(均方根值root mean square,RMS)描述约为10nm;在铝膜的表面沉积一层难溶金属Ti或Ta膜以后,可很好地改善过渡层金属表面的平坦化效果.通过用化学机械平坦化设备(chemical mechanical planarization,CMP)在小压力和低转速的条件下,可使过渡层金属表面的RMS值达到小于1nm的平坦化效果.扫描电镜照片的结果也显示:利用光刻胶平坦化,然后通过调节反应离子刻蚀的条件,使刻蚀的过程中对氧化硅和光刻胶的刻蚀速率相等,去掉光刻胶,达到平坦化整个芯片表面的效果.; 杜寰赵玉印韩郑生夏洋张志纯; 关键词：磁存储器平坦化表面粗糙度均方根值

一种利用混合溶剂相剥离石墨制备石墨烯的方法: 本发明涉及一种利用混合溶剂相剥离石墨制备石墨烯的方法。该方法包括以下步骤：首先，配制混合溶剂，所述混合溶剂由至少两种沸点小于或者等于100℃的有机溶剂组成；接着，将石墨粉加入至所述混合溶剂内配制石墨粉混合液，并将所述石墨...; 张阳解婧罗巍李超波夏洋; 文献传递

用于双腔室结构等离子体浸没离子注入的隔板装置: 本实用新型公开了一种用于双腔室结构等离子体浸没离子注入的隔板装置包括隔板A和隔板B，所述隔板A和隔板B设置在离子注入腔室与掺杂源腔室之间，所述隔板A和隔板B相同，并可平行抽动；所述隔板A和隔板B分布着若干个圆孔。通过抽动...; 刘杰汪明刚夏洋李超波罗威罗小晨李勇滔; 文献传递

一种金刚石的制备方法: 本发明涉及金刚石制备技术领域，具体涉及一种用原子层沉积设备制备金刚石的方法。所述制备方法，具体包括如下步骤：将硅衬底放置于原子层沉积设备反应腔中；通过载气运输方式将含碳前驱体输送至所述原子层沉积设备反应腔中；通过等离子体...; 饶志鹏万军夏洋李超波刘键陈波黄成强石莎莉李勇滔; 文献传递

一种激光检测装置: 本发明涉及真空等离子体设备技术领域，具体涉及一种应用于真空等离子体设备的激光检测装置。所述激光检测装置，包括激光器筒体和设置在所述激光器筒体下方的激光器，所述激光器筒体下端设有透光玻璃；所述激光检测装置设置在真空室下部。...; 席峰王佳刘训春李勇滔李楠张庆钊夏洋; 文献传递

射频信号相位可数字式调节的射频电源: 本发明公开了一种射频信号相位可数字式调节的射频电源，所述射频电源包括射频信号发生器、射频功率放大电路、供电线路和射频功率检测器；所述射频信号发生器包括相位调节电路，所述相位调节电路用于调节外输入射频信号的相位。由于本发明...; 李勇滔李英杰夏洋王文东; 文献传递