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常艳
作品数:
2
被引量:7
H指数:1
供职机构:
浙江大学材料科学与工程学系硅材料国家重点实验室
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发文基金:
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
电子电信
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合作作者
汪雷
浙江大学材料科学与工程学系硅材...
杨德仁
浙江大学材料科学与工程学系硅材...
陈官壁
浙江大学材料科学与工程学系硅材...
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利用HWCVD在柔性衬底上制备多晶硅薄膜
被引量:7
2007年
通过热丝化学气相沉积法(Hot Wire Chemical Vapor Deposition,HWCVD),采用间歇供应硅烷气体,持续通入氢气的方式控制硅薄膜的生长,发现该方法在有机衬底上生长的薄膜结构为多晶相占主导地位。此外,研究了不同间歇周期条件下薄膜的形貌和结构,并对生长机理进行了解释和讨论。
常艳
陈官壁
汪雷
杨德仁
关键词:
柔性衬底
多晶硅薄膜
热丝化学气相沉积
太阳电池
利用间歇供气法在柔性衬底上制备多晶硅薄膜
通过热丝化学气相沉积法(HW-CVD),采用间歇供气方式制备硅薄膜.实验发现该方法在有机衬底上生长的薄膜为多晶硅结构,而采用连续供气法在有机衬底上生长的薄膜则为非晶硅结构.间歇供气法制备多晶硅薄膜生长速率约为20(A)/...
常艳
汪雷
杨德仁
关键词:
多晶硅薄膜
柔性衬底
热丝化学气相沉积
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