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陈官壁
作品数:
2
被引量:7
H指数:1
供职机构:
浙江大学
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发文基金:
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
电子电信
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合作作者
汪雷
浙江大学材料科学与工程学系硅材...
杨德仁
浙江大学材料科学与工程学系硅材...
常艳
浙江大学材料科学与工程学系硅材...
盛夏
浙江大学
刘红娟
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真空科学与技...
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2009
1篇
2007
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利用HWCVD在柔性衬底上制备多晶硅薄膜
被引量:7
2007年
通过热丝化学气相沉积法(Hot Wire Chemical Vapor Deposition,HWCVD),采用间歇供应硅烷气体,持续通入氢气的方式控制硅薄膜的生长,发现该方法在有机衬底上生长的薄膜结构为多晶相占主导地位。此外,研究了不同间歇周期条件下薄膜的形貌和结构,并对生长机理进行了解释和讨论。
常艳
陈官壁
汪雷
杨德仁
关键词:
柔性衬底
多晶硅薄膜
热丝化学气相沉积
太阳电池
一种制备铜铟硫薄膜的方法
本发明公开的制备铜铟硫薄膜的方法,其步骤包括:1)取铜盐、铟盐、硫源、络合剂和支持电解质用去离子水配制电解液,2)将导电衬底作为工作电极浸入到电解液中,采用三电极体系,恒电位模式,在室温下将电解液中还原出来铜、铟、硫沉积...
汪雷
刘红娟
盛夏
陈官壁
杨德仁
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