庄金亮
- 作品数：10 被引量：4H指数：1
- 供职机构：厦门大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金教育部留学回国人员科研启动基金更多>>
- 相关领域：电子电信理学金属学及工艺生物学更多>>
- P型硅表面微结构的电化学加工方法
- P型硅表面微结构的电化学加工方法，涉及一种硅表面的加工。提供一种低成本、加工步骤简单且无需掩模光刻等复杂工艺，并可一次性在P型硅表面直接刻蚀加工微结构的新型电化学加工方法。包括以下步骤：将原始母版上的微结构转移至琼脂糖表...
- 汤儆张力庄金亮马信洲田昭武
- 文献传递
- 不同类型GaAs上应用约束刻蚀剂层技术进行电化学微加工被引量：1
- 2009年
- 应用约束刻蚀剂层技术(CELT)对GaAs进行电化学微加工.研究了刻蚀溶液体系中各组成的浓度比例、GaAs类型、掺杂以及阳极腐蚀过程对GaAs刻蚀加工过程的影响.循环伏安实验表明,Br-可以通过电化学反应生成Br2作为刻蚀剂,L-胱氨酸可作为有效的捕捉剂.CELT中刻蚀剂层被紧紧束缚于模板表面,模板和工件之间的距离小于刻蚀剂层的厚度时,刻蚀剂可以对GaAs进行加工.利用表面具有微凸半球阵列的导电模板,可以在不同类型GaAs上加工得到微孔阵列.实验结果表明:在相同刻蚀条件下,GaAs的加工分辨率与刻蚀体系中各组分的浓度比例有关,刻蚀结构的尺寸随着刻蚀剂与捕捉剂浓度比的增加而增大;在加工过程中,p-GaAs相对于n-GaAs和无掺杂GaAs受到阳极氧化过程的影响较为显著,p-GaAs表面易生成氧化物层,影响电化学微加工过程.X射线光电子能谱(XPS)和极化曲线实验也证明了这一点.
- 汤儆王文华庄金亮崔晨
- 关键词：阳极溶解砷化镓约束刻蚀剂层技术
- N型硅表面区域选择性电化学沉积铜微结构的制备方法
- N型硅表面区域选择性电化学沉积铜微结构的制备方法，涉及一种硅表面的微加工技术。提供一种低成本、加工步骤简单、加工速度快且无需掩模光刻等复杂工艺，并可一次性在n型硅表面直接生长金属微结构的N型硅表面区域选择性电化学沉积铜微...
- 汤儆庄金亮张力田昭武
- 文献传递
- 玻璃微流控芯片的制备方法
- 玻璃微流控芯片的制备方法，涉及一种微流控芯片。提供一种新的玻璃微流控芯片的制备方法。将在具有微凹槽结构的原始母版上的微结构转移至凝胶表面，浸于电解液中得凝胶模板；将凝胶模板置于电解池中，使具有微结构的部分暴露于液面上；在...
- 叶嘉明庄金亮田昭武周勇亮汤儆
- 文献传递
- P型硅表面微结构的电化学加工方法
- p型硅表面微结构的电化学加工方法，涉及一种硅表面的加工。提供一种低成本、加工步骤简单且无需掩模光刻等复杂工艺，并可一次性在P型硅表面直接刻蚀加工微结构的新型电化学加工方法。包括以下步骤：将原始母版上的微结构转移至琼脂糖表...
- 汤儆张力庄金亮马信洲田昭武
- 文献传递
- 可应用于半导体材料微/纳结构制备的新型电化学刻蚀加工技术
- 半导体材料是微系统中最为重要的材料。其中Si的应用最为广泛，因其优良的电子和机械性能，Si的微加工已经成为微系统加工技术的核心技术之一。本文比较了三维微加工的电化学方法（约束刻蚀剂层技术）与电化学刻蚀加工技术的优缺点，分...
- 汤儆张力马信洲庄金亮田昭武
- 关键词：半导体材料电化学刻蚀
- 文献传递
- 模板电解法快速制作玻璃微流控芯片被引量：2
- 2008年
- 玻璃微流控芯片在许多领域已经得到较广泛的应用,但目前的加工需要繁琐的步骤及昂贵的设备进行图形转移及金属牺牲层开窗口。本文提出一种快速制作金属牺牲层图形窗口以用于玻璃微流控芯片加工的方法。以CO2激光直写加工PET膜模板,微细电解加工玻璃基片上的铬/金牺牲层快速获得窗口,湿法腐蚀及热键合制作玻璃微流控芯片。结果表明该法可在10秒内开窗口,电解加工过程使用的模板厚度、电解液组成及施加的压力与电压对窗口的质量都有显著影响。加工的微通道宽度为145μm,边缘整齐,宽度均匀,相对标准偏差为3.72%,深度25μm,底部平整度高,并成功用于氨基酸混合液的芯片毛细管电泳分离。同时使用该方法加工的金微电极阵列,电极宽度为100μm,最小间距可达100μm。
- 叶嘉明李明佳庄金亮周勇亮
- 关键词：微流控芯片微细电解加工微电极
- 微流控芯片不互溶相酶催化反应显微拉曼检测被引量：1
- 2008年
- 生物酶的研究对生命现象本质的揭示具有极其重要的意义。通常生物酶反应的研究是在水溶液体系中进行,与其在生物体内所处的水/有机两相界面微环境不相同。通过微流控芯片可获取稳定的水/有机相界面,并利用显微拉曼光谱仪进行微区扫描实现微流控芯片两相酶反应的检测。定量考察了氰根离子在微流控芯片中水相与苯胺相之间扩散行为,并检测了辣根过氧化物酶催化联苯胺与对甲基苯胺的聚合反应。结果表明,在芯片上,非极性分子联苯胺的酶催化反应产物结构组成较极性分子对甲基苯胺更为复杂,而在普通烧杯中的反应则观察不到这个现象。
- 郝苇苇黎薇庄金亮张维周勇亮
- 关键词：微流控芯片显微拉曼光谱
- Cu微结构制备和ZnO纳米棒及Au纳米粒子的图案化自组装
- 微//纳米技术是实现微//纳米功能器件的基础,制各位置精确可控的微//纳米结构是微//纳米技术的重要内容。发展工艺简单、成本低廉、可大面积批量制备微//纳米结构的加工方法是微//纳米技术的研究热点。纳米材料由于其独特的化...
- 庄金亮
- 关键词：自组装电沉积ZNO纳米棒AU纳米粒子
- 文献传递
- 利用琼脂糖凝胶模板在n-Si(111)上电化学沉积Cu微结构
- 利用电化学方法Si表面沉积金属已被广泛应用于印刷电路板、通孔电镀和读/写磁头等。常规的在Si表面合成金属微结构需要掩膜、甩胶、刻蚀和沉积等步骤。
本文利用具有高强度的琼脂糖凝胶首先制备具有和母版微结构互补的模板...
- 庄金亮张力郭琪汤儆田昭武
- 关键词：电化学沉积铜微结构
