张宁欣
- 作品数：22 被引量：10H指数：2
- 供职机构：清华大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信一般工业技术电气工程自动化与计算机技术更多>>
- MEMS的研究与应用
- 2003年
- 本文介绍了 MEMS 的基本概念、基本特征和理论基础,并结合 MEMS 的发展史和制造技术,对MEMS 的应用领域作了重点阐述,最后对 MEMS 的发展前景和产业化的挑战作了分析。
- 杨轶张宁欣张林涛陈兢任天令刘理天
- 关键词：MEMS微电子机械系统传感器LIGA技术微机械加工
- 多层压电复合膜结构的压电驱动器件
- 本发明公开了属于MEMS微驱动器器件范围的一种包括应用于微位移器和计算机硬盘读写磁头驱动臂的多层压电复合膜结构的压电驱动器件。采用常规的MEMS压电驱动器件制备方法在硅衬底上由下向上依次为硅衬底、热氧化二氧化硅层、金属钛...
- 张宁欣杨轶任天令刘理天
- 文献传递
- 多层压电复合膜结构的压电驱动器件
- 本发明公开了属于MEMS微驱动器器件范围的一种包括应用于微位移器和计算机硬盘读写磁头驱动臂的多层压电复合膜结构的压电驱动器件。采用常规的MEMS压电驱动器件制备方法在硅衬底上由下向上依次为硅衬底、热氧化二氧化硅层、金属钛...
- 张宁欣杨轶任天令刘理天
- 文献传递
- 集成铁电器件中的关键工艺研究
- 对集成铁电器件中的关键工艺进行了研究,采用改进的溶胶—凝胶(Sol-Gel)法制备了高品质、(110)择优取向的锆钛酸铅(PZT)铁电薄膜,成功的利用离子束刻蚀(IBE)、反应离子刻蚀(RIE)和湿法腐蚀方法对PZT薄膜...
- 杨轶张宁欣任天令刘理天
- 关键词：铁电薄膜锆钛酸铅铁电材料
- 文献传递
- ZrO2复合对PLZT铁电陶瓷电致疲劳性能的改善
- 2000年
- 研究了复合ＺｒＯ２对ＰＬＺＴ铁电陶瓷性能的影响，随着ＺｒＯ２的添加，复合材料体系的铁电性能有一定的减弱，但是电致疲劳性能却得到明显的改善。断口的显微结构观察表明，随着ＺｒＯ３的添加，断口由部分沿晶断裂模式向穿晶断裂模式转化，证明了ＺｒＯ２的引入提高了晶界强度，从而改善了材料的电致疲劳特性。
- 张宁欣李龙土
- 关键词：二氧化锆
- 铁电陶瓷的电致疲劳研究
- 该文对铁电陶瓷的疲劳行为、机理及其影响因素进行了系统的研究.为缓解疲劳引起的应力集中及削弱缺陷偶极子对的影响,采用两相复合(引入导电相、预应力相、层状结构相等)来改善铁电陶瓷的电致疲劳性质.研究了银掺杂对铁电陶瓷电致疲劳...
- 张宁欣
- ZrO<,2>复合对PLZT铁电陶瓷电致疲劳性能的改善
- 研究了复合ZrO<,2>对PLZT铁电陶瓷性能的影响。随着ZrO<,2>的添加，复合材料体系的铁电性能有一定的减弱，但是电致疲劳性能却得到明显的改善，断口的显微结构观察表明，随着ZrO<,2>的添加，断口由部分沿晶断裂模...
- 张宁欣李龙土桂治轮
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- 硅基铁电微声学器件中薄膜残余应力的研究
- 本文采用基底曲率法测量了硅基铁电微声学器件中各层薄膜的残余应力情况,通过调节热氧化的二氧化硅层的厚度,优化了微声学器件中复合膜的残余应力,得到平整的振膜结构,提高了器件的可靠性和成品率.
- 杨轶张宁欣任天令刘理天
- 文献传递网络资源链接
- 压电薄膜悬臂梁结构的建模和性OO能模拟
- 用ANSYS软件建立了压电薄膜悬臂梁结构的有限元模型,对悬臂梁进行了结构静力分析、模态分析,计算出了悬臂梁的谐振频率和振型.对基于压电薄膜悬臂梁结构的微麦克风和扬声器进行了灵敏度计算和谐波响应分析.
- 杨轶张林涛张宁欣伍晓明任天令刘理天
- 关键词：压电薄膜微麦克风扬声器有限元分析ANSYS
- 文献传递
- 基于MEMS技术的集成铁电硅微麦克风被引量：2
- 2003年
- 本文介绍了基于 MEMS 技术的集成铁电式硅微麦克风的滑在应用、制备工艺、封装技术、测试方法。实验研究表明。这种与 IC 工艺相兼容的 MEMS 微麦克风工艺相对简单,性能易于控制,灵敏度可以达到15mV/Pa 以上,有很大的发展前途。
- 伍晓明杨轶张宁欣蔡坚任天令刘理天
- 关键词：MEMS封装技术
