李朋志
- 作品数：33 被引量：133H指数：7
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项国家自然科学基金上海市自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程一般工业技术更多>>
- 气动光学变形镜系统的控制方法
- 气动光学变形镜系统的控制方法，属于超精密光学应用控制领域。该方法先拟合系统开环情况下稳定时的输入和输出数据的线性关系，确定前馈控制器的前馈系数；然后根据该系统的期望位移计算前馈控制器的输出量；然后比较期望位移与位移传感器...
- 李朋志李佩玥赵磊东立剑葛川隋永新杨怀江
- 文献传递
- 压电陶瓷驱动器迟滞系统的开环模糊控制方法
- 压电陶瓷驱动器迟滞系统的开环模糊控制方法，涉及超精密光学应用中的控制领域，解决现有PZT迟滞系统的迟滞模型构造的开环控制器适应性差，且无法有效补偿率相关迟滞特性对系统控制精度的影响等问题，本发明包括获取压电陶瓷驱动器系统...
- 李朋志李佩玥彭吉葛川郭嘉亮隋永新杨怀江
- 文献传递
- 二自由度平动并联解耦微动平台
- 一种微机电系统技术领域的二自由度平动并联解耦微动平台，包括：压电陶瓷驱动器、两个驱动支链及其对应的辅助支链、工作平台以及固定机架，其中：两个驱动支链及其对应的辅助支链分别两两对称分布在工作平台的X方向和Y方向。本发明依靠...
- 朱利民赖磊捷谷国迎李朋志
- 文献传递
- 平板电容位移传感器标定装置
- 平板电容位移传感器标定装置，属于传感器标定技术领域，为了克服现有技术中标定装置的标定行程小；不能进行连续的实时标定；并且传感器其标定精度有限的缺点；激光干涉仪发出的光通过微位移调整机构后入射到分光镜；分光镜安装到微位移调...
- 张德福郭抗李显凌李朋志
- 文献传递
- 内置应变片式压电陶瓷的位移检测装置及检测方法
- 内置应变片式压电陶瓷的位移检测装置及检测方法，涉及位移测量领域，解决现有对压电陶瓷运动过程中的应变片位移检测过程中，存在由于磁滞以及蠕变引起的压电陶瓷驱动器开环精度低的问题，包括安装压电陶瓷，调节激光干涉仪光路，控制高压...
- 葛川李朋志徐立松李佩玥隋永新杨怀江
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- 电容式位移传感器的线性度标定与不确定度评定被引量：18
- 2015年
- 由于光刻投影物镜装调中电容传感器的线性度指标不能够满足位移调节精度的需求,本文提出了一种提高电容传感器测量线性度的方法。该方法采用压电驱动器提供位移进给;采用高精度激光测长干涉仪校准电容传感器的线性度,提供位移反馈以保证运动控制精度。采用高阶曲线拟合方法得到拟合系数对传感器线性度进行在线标定;对标定实验中的环境、安装、机构以及控制等进行不确定度分析与评定以保证电容传感器的线性度测量精度;最后进行电容传感器线性度的标定实验。实验结果表明:本文提出的线性度标定方法能够减小各误差项对于测量结果的影响,标定后传感器线性度由0.047 14%提高至0.004 84%,近一个数量级,并且线性度重复性较高,重复性偏差为0.38nm,全行程内线性度的合成不确定度为5.70nm,能够满足光刻物镜中位移控制精度的需求。
- 葛川张德福李朋志郭抗李佩玥杨怀江
- 关键词：电容传感器位移传感器线性度不确定度
- 电磁驱动柔顺微定位平台闭环频域逆迭代学习控制被引量：7
- 2021年
- 为了克服音圈电机电磁驱动柔顺微定位平台在大行程范围内存在的低阻尼谐振和动力学特性差异等问题,利用综合数据驱动频域逆迭代前馈补偿和含相位超前校正PI反馈控制的复合闭环频域逆迭代学习控制方法对其进行高速高精控制。首先,搭建了音圈电机驱动双平行四边形柔性机构微定位系统,并针对不同工作点位进行了动力学模型辨识。然后,为提高系统相对稳定性,设计了含相位超前校正环节的PI反馈控制器。同时,利用输入输出数据对系统频响函数进行在线逆估计并进行前馈补偿,来进一步消除谐振的影响。最后,利用所提出的控制方法进行了跟踪实验并与其它方法进行了对比。实验结果表明,提出的控制方法对三角波期望轨迹的最大跟踪误差为0.175%,相比于PID控制、相位超前PI控制、传递函数逆模型前馈控制,跟踪均方根误差分别减少了8.75,5.43和2.21倍,能够较好满足大行程微纳米定位跟踪精度高、速度快、抗干扰能力强的要求。
- 张旭赖磊捷李朋志朱利民
- 关键词：音圈电机相位超前
- 一种电容式位移传感器的线性度标定方法
- 一种电容式位移传感器的线性度标定方法属于位移测量技术领域，解决电容式位移传感器的测量精度无法满足微位移调节机构的定位精度需求的问题，标定方法如下步骤：安装各个设备于标定结构之上，调节并校准激光干涉仪光路，计算控制解耦矩阵...
- 葛川李朋志李佩玥隋永新杨怀江
- 文献传递
- 实时磁滞逆模型对系统进行补偿实现的方法
- 一种控制技术领域的实时磁滞逆模型对系统进行补偿实现的方法。包括：实时采集磁滞系统的输入和输出信号，建立磁滞系统的输入与输出间一一映射的磁滞模型，并确定所建立的磁滞模型的参数；根据所述的输入和输出信号及所建立的磁滞模型，建...
- 谷国迎朱利民刘品宽赖磊捷李朋志
- 基于动态模糊系统模型的压电陶瓷驱动器控制被引量：18
- 2013年
- 针对压电陶瓷驱动器(PZT)的迟滞非线性对周期性超精密跟踪精度的影响,对基于Takagi-Sugeno(T-S)型模糊规则的动态模糊系统(DFS)前馈+PI控制方法进行了研究。介绍了DFS模型前提部分和结论部分的辨识方法;结合直接逆模型控制和迭代学习控制的思想,提出了周期性轨迹跟踪的DFS前馈+PI控制方法。最后,针对20Hz的三角波和正弦波期望轨迹进行了跟踪控制实验。实验结果表明:提出的控制方法对三角波和正弦波期望轨迹的最大跟踪误差分别为0.25%和0.27%,相对于PI控制,跟踪精度分别提高了52倍和64倍,而最大跟踪绝对误差分别降低到5.1nm和5.5nm。结果显示这种控制方法易于实现,周期性轨迹跟踪精度高。
- 李朋志葛川苏志德闫丰隋永新杨怀江
- 关键词：动态模糊系统前馈
