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李盛艺

作品数:1 被引量:2H指数:1
供职机构:深圳大学物理科学与技术学院更多>>
发文基金:广东省自然科学基金深圳市科技计划项目更多>>
相关领域:一般工业技术动力工程及工程热物理更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇动力工程及工...
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇微结构
  • 1篇离子束
  • 1篇离子束溅射
  • 1篇溅射
  • 1篇溅射制备
  • 1篇光电
  • 1篇光电性
  • 1篇光电性能
  • 1篇CDS薄膜

机构

  • 1篇深圳大学

作者

  • 1篇池京容
  • 1篇梁广兴
  • 1篇李盛艺
  • 1篇蔡兴民
  • 1篇范平
  • 1篇张东平

传媒

  • 1篇功能材料

年份

  • 1篇2010
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
离子束溅射制备CdS多晶薄膜及性能研究被引量:2
2010年
采用离子束溅射的方法在玻璃衬底上制备CdS多晶薄膜,研究了沉积过程中基底温度(100~400℃)与薄膜厚度(35~200nm)对其微结构与光电性能的影响。结果表明,不同基底温度下制备的CdS薄膜均属于六方相多晶结构且具有(002)择优取向生长特征;随着基底温度的升高,(002)特征衍射峰强度增加,半高宽变小相应薄膜结晶度增大,有利于颗粒的生长;分析CdS薄膜的光谱图线可知,薄膜在可见光区平均透射率高于75%,光学带隙值随着基底温度升高而增大(2.33~2.42eV)且薄膜电阻高达109Ω;在基底温度为400℃条件下制备不同厚度的CdS薄膜,发现(50~100nm)较薄的CdS薄膜具有较为明显的六方相CdS多晶薄膜结构、较优光学性能和高电阻值,满足CIS基太阳电池中缓冲层材料的基本要求。
范平梁广兴张东平蔡兴民池京容李盛艺
关键词:CDS薄膜离子束溅射微结构光电性能
共1页<1>
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