董小春
- 作品数：142 被引量：98H指数：7
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划中国科学院知识创新工程更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程理学自动化与计算机技术更多>>
- 一种利用金属层缩小π位相偏移光刻特征尺寸的方法
- 一种利用金属层缩小π位相偏移光刻特征尺寸的方法：依据PDMS的折射率计算产生π位相光程差需要的深度H；制作浮雕深度为H的高陡直度结构；将PDMS倾倒于高陡直度结构表面，在30－90℃的环境中固化，冷却后，剥离已经固化的P...
- 董小春史立芳杜春雷
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- 一种基于PDMS模板和银板材料的超分辨光刻方法
- 一种基于PDMS模板和银板材料的超分辨光刻方法：在基底表面蒸镀与基底黏结能力较弱的金属膜层，并在其表面制作目标微纳结构；将PDMS与固化剂进行混合，并浇铸于金属膜层表面；在25－95℃的环境中固化，形成弹性膜；掀起PDM...
- 杜春雷罗先刚董小春刘强
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- 工件台移动直线性对掩模移动曝光的影响被引量：3
- 2007年
- 针对工件台制造和装配过程中产生的移动直线性误差,建立了掩模沿曲线移动时曝光量与曲线和移动距离之间关系的数学模型。通过对实测工件台移动直线性误差规律的分析,确定了近似的移动曲线函数。利用MATLAB进行数值模拟的方法,分别模拟了沿理想直线移动、不同幅值和不同移动距离的曲线移动时,所获得元件的面形,并分析了面形误差的影响因素和"竹节"误差产生的原因。最后得出结论:通过控制移动距离为一倍的掩模图形重复周期,并减小工件台移动直线性误差,对控制元件的面形精度和"竹节"误差最为有利。
- 佟军民胡松董小春严伟余国彬
- 关键词：面形精度
- 微透镜列阵光刻工艺过程的模拟与分析被引量：2
- 2003年
- 建立了连续深浮雕微透镜列阵光刻工艺的数学模型,通过计算机仿真实现了对工艺过程的模拟分析。为刻蚀过程中各参量的选取和刻蚀结果的分析提供了可靠的依据,对整个光刻工艺过程具有指导意义。
- 董小春杜春雷陈波潘丽
- 关键词：微透镜列阵光刻工艺计算机仿真微光学元件
- 高功率半导体激光器微光学光束整形技术
- 基于微光学光束变换系统方法,采用双微棱镜列阵、同轴"之"字形整形方法、反射棱镜阵列法等技术对准直光束进行折叠及光参数积匹配变换,实现光束的完全消像散;利用自行研制的大数值孔径连续非球面微透镜列阵、整形器件等核心微光学器件...
- 杜春雷邓启凌董小春周崇喜
- 关键词：高功率半导体激光器微光学光束整形
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- 人眼高阶像差矫正方法
- 人眼高阶像差矫正方法，其特征在于包括下列步骤：(1)采用人眼像差测量设备精确测量人眼的各阶像差，获取人眼像差数据；(2)根据人眼像差数据优化设计像差矫正函数；(3)根据设计的人眼像差矫正函数对光刻掩模进行设计，并根据设计...
- 董小春杜春雷邱传凯赵泽宇高洪涛饶学军张雨东
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- 高功率半导体激光器微光学光束整形技术
- 2008年
- 基于微光学光束变换系统方法,采用双微棱镜列阵、同轴"之"字形整形方法、反射棱镜阵列法等技术对准直光束进行折叠及光参数积匹配变换,实现光束的完全消像散;利用自行研制的大数值孔径连续非球面微透镜列阵、整形器件等核心微光学器件,实现了准直、聚焦和光纤输出等各种功能。形成了系统的半导体激光器光束整形变换技术,准直后光束发散角达到理论极限;成功获得高效率单芯径光纤耦合半导体激光器泵浦源。
- 杜春雷邓启凌董小春周崇喜
- 关键词：高功率半导体激光器微光学光束整形
- 一种利用二元光栅聚焦进行皮肤医疗美容的装置
- 一种利用二元光栅聚焦进行皮肤医疗美容的装置，包括光源、滤光片、孔径光阑、和由一块二元达曼光栅和一块傅立叶变换透镜组成的聚焦元件；滤光片、孔径光阑、聚焦元件依次位于外接光源后面的出射光路上并都垂直于光轴放置；光源发出的光通...
- 邓启凌杜春雷史立芳董小春高洪涛
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- 一种基于非均匀介质的高增益喇叭天线
- 一种基于非均匀介质的高增益喇叭天线，制作如下：(1)确定天线工作的中心频率f；(2)根据喇叭天线的一般设计方法设计出工作在该中心频率的普通喇叭天线，天线的H面口径为a，E面口径为b，喇叭长度为h；(3)确定置于喇叭口面的...
- 杜春雷袁桂山董小春邓启凌
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- 一种基于微结构的非阵列动态显示防伪图形的设计方法
- 本发明公开了一种基于微结构的非阵列动态显示防伪图形的设计方法，包括：(1)微图形阵列的设计；(2)微图形阵列单元的放大；(3)对微图形阵列单元像素的采集；(4)微图形阵列的重排。最后利用与微图形阵列排列方式相同的微透镜阵...
- 黄鹏何传王董小春范斌
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