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赵玉琴

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：北京工业大学电子工程系北京市光电子技术实验室更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 1篇化学工程
  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇滤膜
  • 1篇醚酮
  • 1篇聚醚
  • 1篇聚醚醚酮
  • 1篇硅锗
  • 1篇半导体
  • 1篇半导体工艺
  • 1篇SI/SIG...
  • 1篇SIGE/S...
  • 1篇硅
  • 1篇HBT工艺
  • 1篇超滤
  • 1篇超滤膜
  • 1篇PEK

机构

  • 2篇北京工业大学

作者

  • 2篇赵玉琴
  • 1篇姚士仲
  • 1篇沈光地
  • 1篇袁颖
  • 1篇杜春霞
  • 1篇陈建新
  • 1篇张时明

传媒

  • 2篇北京工业大学...

年份

  • 1篇1996
  • 1篇1992
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
聚醚醚酮(PEK)超滤膜
1992年
制备了截留分子量界限为6.8×10~4PEK超滤膜,讨论了聚合物浓度,添加剂浓度、凝胶介质温度等因素对膜性能的影响。同时,考察了PEK超滤膜的物化稳定性。结果表明,在0.30MPa压力下,膜透水速度>100mL/cm^2·h,为PEK超滤膜工业化奠定了基础。
赵玉琴高以?吕秀开姚士仲
关键词：聚醚醚酮超滤
Si／SiGe腐蚀停止技术的研究及其在SiGe／SiHBT工艺中的应用
1996年
对ＳｉＧｅ／Ｓｉ腐蚀停止技术进行了大量的实验研究，分析了腐蚀的化学机理，并在一定的腐蚀液浓度和温度下，获得了Ｓｉ和ＳｉＧｅ的腐蚀速率比大于３０的结果。该技术极宜在ＳｉＧｅ／ＳｉＨＢＴ制作中应用。
陈建新袁颖杜春霞张时明赵玉琴沈光地
关键词：硅硅锗半导体工艺
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共1页<1>
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