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陈英

作品数：1 被引量：2H指数：1
供职机构：电子工业部更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇离轴
  • 1篇离轴照明

机构

  • 1篇电子工业部

作者

  • 1篇陈英
  • 1篇童志义

传媒

  • 1篇电子工业专用...

年份

  • 1篇1995
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
用于亚微米图形加工的离轴照明技术被引量：2
1995年
本文主要介绍了国外用于提高光学片子步进机成像性能的高分辨率、大焦深的离轴照明技术。通过几种照明技术的比较，指出了可用于亚半微米器件图形转印的环形照明技术在未来６４Ｍ～２５６ＭＤＲＡＭ器件时代进行规模生产的潜力所在。
童志义陈英
关键词：离轴照明
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共1页<1>
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