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顾晓冬

作品数：9 被引量：0H指数：0
供职机构：上海集成电路研发中心更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 9篇中文专利

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 3篇晶圆
  • 3篇半导体
  • 2篇气体
  • 2篇机械手
  • 2篇机械手臂
  • 1篇单腔
  • 1篇导轨
  • 1篇导气
  • 1篇等离子体处理
  • 1篇底盘
  • 1篇制程
  • 1篇设备损坏
  • 1篇手臂
  • 1篇双腔
  • 1篇通气孔
  • 1篇托盘
  • 1篇排水
  • 1篇排水口
  • 1篇喷淋
  • 1篇喷头

机构

  • 9篇上海集成电路...

作者

  • 9篇顾晓冬
  • 1篇王伟军
  • 1篇张远
  • 1篇钱刚
  • 1篇陶金龙

年份

  • 1篇2024
  • 1篇2023
  • 1篇2017
  • 1篇2016
  • 1篇2015
  • 2篇2014
  • 1篇2013
  • 1篇2012
共 9 条 记 录，以下是 1-9
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排序方式：
一种可切换双腔体的反应腔
本实用新型涉及半导体工艺设备技术领域，提供了一种可切换双腔体的反应腔，包括双腔体的反应腔，反应腔内设有控制单元以及可移动的隔板，控制单元用于控制隔板的移动，以使隔板将反应腔分割成第一反应腔以及第二反应腔；反应腔的一端连接...
顾晓冬
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气体处理装置
本实用新型公开了一种气体处理装置，用于处理尾气，包括腔体、过滤装置以及用于清洗所述过滤装置的喷水装置，所述腔体设有尾气进气口与尾气排放口，腔体的底部设有排水口，喷水装置和过滤装置设于腔体内，且喷水装置设置于过滤装置的上方...
顾晓冬钱刚陶金龙
文献传递
一种用于FOUP的识别装置
本实用新型公开了一种用于FOUP的识别装置，所述FOUP包括相配合的主体和底盘，所述识别装置包括设于底盘的第一结构和设于主体的第二结构，第一、第二结构分别位于底盘和主体的装配面；通过第一、第二结构之间的配合，使得底盘只能...
顾晓冬
文献传递
具可视功能的传送装置
本实用新型公开了一种具可视功能的传送装置，其包括机械传送机构和影像采集系统，该机械传送机构包括手臂托盘、托盘支撑、机械手臂和机械驱动模块，该影像采集系统包括探头和与探头信号连接的影像处理模块，该探头固定于机械传送机构之上...
顾晓冬张远方泽姣
文献传递
一种静电吸盘的清洗装置
本发明提供了一种静电吸盘的清洗装置，相对于现有技术中对静电吸盘本身进行改进，来实现对静电吸盘表面进行清洗的技术方案，本发明是通过对升降柱的内部结构进行改进，在升降柱的内部设置导气通道以及在升降柱的侧壁设置与导气通道相连通...
顾晓冬任大清
可调角度的轨道结构
本实用新型公开了一种可调角度的轨道结构，其包括两段导轨及两段导轨之间的导轨连接件，该导轨连接件为圆柱形且其侧壁具有弧形凹槽，该两段导轨的连接端均设有凸块，该凸块嵌入弧形凹槽中以使导轨连接件连接两段导轨，一固定件贯穿该凸块...
顾晓冬
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一种气体喷头以及等离子体处理设备
本实用新型揭示一种气体喷头以及等离子体处理设备。所述气体喷头具有一中心，所述气体喷头包括至少两个相对所述中心对称设置且互不连通的喷淋区；其中，每个所述喷淋区内设有多个喷嘴，且每个所述喷淋区还包括：中心子喷淋区，靠近所述中...
王伟军顾晓冬
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晶圆传输系统和半导体设备
本发明提供了一种晶圆传输系统和半导体设备，所述晶圆传输系统，包括真空传输模块和传输连接模块；所述真空传输模块设有若干个，所述真空传输模块用于挂载工艺腔模块，且所述真空传输模块之间通过所述传输连接模块连通，使得晶圆形成了流...
任大清顾晓冬
清洗晶圆反应腔室的装置
本发明公开了一种清洗晶圆反应腔室的装置，包括在反应腔室外设有真空泵和氮气罐，包括：清洗面盘,安装在反应腔室内用于清洗反应腔室，所述清洗面盘的下面盘上设有若干孔；以及机械手，所述机械手包括夹持部、机械手臂及机架，所述夹持部...
顾晓冬
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