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钱刚
作品数:
8
被引量:0
H指数:0
供职机构:
上海集成电路研发中心
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相关领域:
建筑科学
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合作作者
陶金龙
上海集成电路研发中心
李小刚
上海集成电路研发中心
顾晓冬
上海集成电路研发中心
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文献类型
7篇
中文专利
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输送车
3篇
硅片
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尾气
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尾气排放
2篇
物料
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传输系统
2篇
存取
2篇
AMHS
1篇
导轨
1篇
悬吊
1篇
悬挂式
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运输车
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运载
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托架
1篇
排水
1篇
排水口
1篇
喷雾
1篇
尾气处理
1篇
尾气处理装置
1篇
污物
机构
7篇
上海集成电路...
作者
7篇
钱刚
1篇
顾晓冬
1篇
李小刚
1篇
陶金龙
年份
6篇
2014
1篇
2012
共
8
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除尘车及AMHS系统
本发明公开了一种用于AMHS系统的除尘车,其包括车身、悬吊于轨道上的车轮和控制单元,其中,除尘车上还设有除尘装置,除尘装置包括安装在车身上并可伸缩的机械臂、安装于机械臂前端的吸尘嘴以及污物收集器。本发明通过在小车上设置除...
钱刚
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水洗式尾气处理装置
本实用新型公开了一种水洗式尾气处理装置,其包括腔体、以及位于腔体内的喷水单元、过滤单元以及除湿单元;其中腔体的一端设有尾气进口,另一端设有尾气排放口,底部设有排水口;喷水单元包括一个或多个喷嘴;过滤单元位于喷水单元下方,...
钱刚
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AMHS暂存区系统
本发明公开了一种AMHS暂存区系统,其包括至少一个设于AMHS系统暂存区内的暂存设备,暂存设备具有回转式的回形暂存平台,暂存平台由传动装置驱动而回形转动,暂存平台上具有多个用于放置硅片盒的暂存托架。本发明采用回转式的回形...
钱刚
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AMHS暂存区系统
本发明公开了一种AMHS暂存区系统,其包括至少一个暂存设备;至少一个暂存区硅片盒存取机构,其包括设置于暂存区的安装部、抓取硅片盒的抓手以及连接安装部和抓手的可伸展机械臂。本发明的AMHS暂存区系统,可在暂存区设置一个或数...
钱刚
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气体处理装置
本实用新型公开了一种气体处理装置,用于处理尾气,包括腔体、过滤装置以及用于清洗所述过滤装置的喷水装置,所述腔体设有尾气进气口与尾气排放口,腔体的底部设有排水口,喷水装置和过滤装置设于腔体内,且喷水装置设置于过滤装置的上方...
顾晓冬
钱刚
陶金龙
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用于自动化物料传输系统的悬挂式轨道
本发明公开了一种用于自动化物料传输系统的悬挂式轨道,其包括两条相互平行的导轨以及分别将两条导轨固定于操作空间顶部的两条连接臂,每条该导轨都具有与运输车的车轮外圈结构相匹配的顶部结构,以使得车轮放置到该导轨上可以沿着导轨滚...
李小刚
钱刚
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用于自动化物料传输系统的输送车
本发明公开了一种用于自动化物料传输系统的输送车,其包括车身、车身内的控制单元、车身顶部的车轮和车身底部的升降装置,升降装置包括两个伸缩机械臂,两个伸缩机械臂通过旋转装置分别固定在车身底部的前后两侧,并可水平旋转,两个伸缩...
钱刚
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