骆明辉
- 作品数：8 被引量：7H指数：1
- 供职机构：厦门大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：化学工程电气工程电子电信更多>>
- 一种芯片式铷灯
- 一种芯片式铷灯，涉及一种高频发光装置，尤其是涉及一种不仅可以用于微小型化与芯片式铷原子钟，也可以用于各种传统常规的铷原子钟，同时作为一个光源，也可广泛地应用于各种需要节能低功耗光源的芯片式铷灯。提供一种体积较小、功耗较低...
- 郭航骆明辉陈杰
- 文献传递
- 柠檬酸盐体系铜电沉积及其在微机电系统中的应用被引量：7
- 2010年
- 研究并讨论了在新型柠檬酸盐体系铜电沉积工艺中电镀工艺参数对镀层形貌和颗粒尺寸的影响;利用X射线衍射(XRD)和X射线光电子能谱(XPS)表征了镀层的结构和组分存在状态;并将柠檬酸盐体系电沉积铜应用于微机电系统(MEMS)加工工艺.结果表明:在6 g.L-1 Cu2+,pH=7.0-8.5,1-2 A.dm-2,45℃,搅拌条件下可得到结晶细小,表面平整的致密铜镀层;镀层为面心立方多晶结构的单质铜,不含其他杂质.利用MEMS工艺成功制得平面电感,其有效的最大品质因数(Q)为12.75,达到了设计要求.
- 吴伟刚杨防祖骆明辉田中群周绍民
- 关键词：电沉积柠檬酸盐铜微机电系统
- 一种微米级手术刀
- 一种微米级手术刀，涉及一种微型的双模式微纳米切割工具。提供一种可实现微纳米级别的高频的横向与纵向模式切割的微米级手术刀。设有刀体，在刀体中部上下分别设有上下压电超声驱动器，上下压电超声驱动器为压电陶瓷片，压电陶瓷片的厚度...
- 郭航邹黎明杨慧骆明辉林立伟武敬
- 文献传递
- 用于能量传输的生物体植入式MEMS电感线圈的设计
- 2009年
- 为了能得到植入在生物体内,用于体内微型电子系统与体外设备信号和能量传输的高品质因数Q值和高电感量L值的MEMS电感线圈,本文首先对MEMS电感模型做了理论分析,然后在充分考虑功率传输要求、植入器件体积的限制以及制作工艺的可实现性的情况下,用高精度的3D电磁仿真软件HFSS,对电感的主要参数如圈数N、线宽W、导线间隙S、导线厚度H、导线材料M和衬底电导率σ作了优化设计。最终确定N=10、W=25μm、S=50μm、H=48μm、M为Cu、σ=0.1S/m。数值仿真的结果显示Q=17.6,L=55nH,=240MHz,=1.2GHz,它们能很好地符合能量传输的功率要求和信号传输的带宽要求。
- 骆明辉卢露郭航
- 关键词：集成电感MEMSSU-8
- 一种微米级手术刀
- 一种微米级手术刀，涉及一种微型的双模式微纳米切割工具。提供一种可实现微纳米级别的高频的横向与纵向模式切割的微米级手术刀。设有刀体，在刀体中部上下分别设有上下压电超声驱动器，上下压电超声驱动器为压电陶瓷片，压电陶瓷片的厚度...
- 郭航邹黎明杨慧骆明辉林立伟武敬
- 文献传递
- 一种芯片式铷吸收泡
- 一种芯片式铷吸收泡，涉及一种铷吸收泡，尤其是涉及一种适用于常规、微小型化与芯片式以及应用激光作为光源的各种铷原子钟的芯片式铷吸收泡。提供一种体积较小、功耗较低和吸收效果较好的芯片式铷吸收泡。设有一硅片，在硅片中央设有一个...
- 郭航王盛贵骆明辉
- 文献传递
- 一种芯片式铷吸收泡
- 一种芯片式铷吸收泡，涉及一种铷吸收泡，尤其是涉及一种适用于常规、微小型化与芯片式以及应用激光作为光源的各种铷原子钟的芯片式铷吸收泡。提供一种体积较小、功耗较低和吸收效果较好的芯片式铷吸收泡。设有一硅片，在硅片中央设有一个...
- 郭航王盛贵骆明辉
- 文献传递
- 一种芯片式铷灯
- 一种芯片式铷灯，涉及一种高频发光装置，尤其是涉及一种不仅可以用于微小型化与芯片式铷原子钟，也可以用于各种传统常规的铷原子钟，同时作为一个光源，也可广泛地应用于各种需要节能低功耗光源的芯片式铷灯。提供一种体积较小、功耗较低...
- 郭航骆明辉陈杰
- 文献传递
