王盛贵
- 作品数：9 被引量：8H指数：3
- 供职机构：厦门大学物理与机电工程学院更多>>
- 发文基金：福建省重大科技项目国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信理学机械工程电气工程更多>>
- 一种芯片式铷滤光泡
- 一种芯片式铷滤光泡，涉及一种滤光装置，尤其是涉及一种主要适用于常规、微小型化与芯片式以及应用激光作为光源的各种铷原子钟的滤除特定谱线的芯片式铷滤光泡。提供一种不仅体积较小、功耗较低，而且可有效滤除不需要的谱线，减小所需要...
- 郭航王盛贵林立伟
- 文献传递
- 用于承载铷原子钟滤光泡的高品质微腔体制备被引量：3
- 2014年
- 在芯片级铷原子钟中,需要微腔体来承载Rb—87滤光泡,为此,提出了一种用于制作高品质微腔体的新技术。为了获得光滑的腔体侧面和避免腐蚀过程中凸角处产生削角现象,研究中采用了超声腐蚀技术和凸角补偿技术。首先,分别在纯KOH溶液,并结合搅拌和超声等方法,对(100)硅片进行湿法腐蚀,并运用激光共聚焦扫描显微镜对腐蚀后的{111}表面进行粗糙度测量,表明运用超声腐蚀技术可以获得光滑的{111}腔体侧面。在此基础上,引入条形掩模凸角补偿方法进行微腔体腐蚀。实验结果表明:在80℃、质量分数为30%KOH、超声频率和功率分别为59 kHz和160 W的溶液中腐蚀,其{111}腐蚀表面粗糙度为0.117μm,同时条形的长度取1200μm时,可以获得平滑规整的微腔体。
- 王婷婷曾毅波王盛贵魏秀燕毕瑞可郭航
- 关键词：激光共聚焦扫描显微镜凸角补偿
- 用于微小型化铷原子钟的MEMS Rb-85滤光泡的研究被引量：3
- 2009年
- 研究并提出一种分析设计Rb气泡原子钟微型Rb-85滤光泡的方法。从量子物理出发,通过为Rb灯的发射光谱引入Lorentzian线形函数,得到一个滤光泡内的光强与入射光强的关系式,其中包含了跃迁系数,频移,谱线宽度等参数,通过研究确定这些参数并最终建立一个具有高吸收效率的滤光泡的理论模型。基于这种方法,我们设计了MEMS滤光泡,Rb-87灯射出的光谱经过该滤光泡后,90%多的α线被吸收,而β线则只衰减不到3%,因此,MEMS滤光泡不仅可以大幅度减小体积与功耗,其滤光效果也更为优越。
- 郭航王盛贵
- 关键词：量子物理MEMS
- 小型化铷原子钟滤光泡的加热研究
- 随着过去二十年间微机电系统(MEMS)技术的迅速发展,应用MEMS技术将原子钟小型甚至微型化成为频率与时间标准领域发展的一种趋势。本文对小型化铷气泡式原子钟中85Ru滤光泡的加热进行了有限元分析,设计并制作了控制电路,并...
- 林立伟陈聪鹏滕建财王盛贵郭航
- 关键词：MEMS有限元分析控制电路
- 文献传递
- 一种芯片式铷吸收泡
- 一种芯片式铷吸收泡，涉及一种铷吸收泡，尤其是涉及一种适用于常规、微小型化与芯片式以及应用激光作为光源的各种铷原子钟的芯片式铷吸收泡。提供一种体积较小、功耗较低和吸收效果较好的芯片式铷吸收泡。设有一硅片，在硅片中央设有一个...
- 郭航王盛贵骆明辉
- 文献传递
- 带有Si_3N_4薄膜的玻璃-硅-玻璃三层结构的阳极键合被引量：3
- 2013年
- 为了获得高品质的带有Si3N4薄膜三层(玻璃—硅—玻璃)的阳极键合结构,对阳极键合的相关工艺参数进行了研究;设计搭建了实验平台并采用点阴极,以实时观察键合界面是否达到同形质的黑色从而判断阳极键合质量,对键合后的样品进行拉力测试,研究表明:当采用键合温度为400℃,电压为1200 V,压力为450 Pa,可获得键合面积大于90%的带有Si3N4薄膜的三层阳极键合结构。
- 林智鑫王盛贵刘琦曾毅波郭航
- 关键词：阳极键合
- 一种芯片式铷滤光泡
- 一种芯片式铷滤光泡，涉及一种滤光装置，尤其是涉及一种主要适用于常规、微小型化与芯片式以及应用激光作为光源的各种铷原子钟的滤除特定谱线的芯片式铷滤光泡。提供一种不仅体积较小、功耗较低，而且可有效滤除不需要的谱线，减小所需要...
- 郭航王盛贵林立伟
- 文献传递
- 带有氮化硅薄膜的硅片与玻璃的键合
- 在过去的二十几年中，微机电系统(MEMS)得到了迅速的发展，并且逐步转向商业化。在此过程中，一个关键技术就是封装。封装质量的好坏将直接影响MEMS的使用寿命和运用范围，而键合技术又是各类封装方法中最为重要的一类。目前，键...
- 王盛贵陈雪姣郭航
- 关键词：微机电系统氮化硅薄膜阳极键合封装方法
- 文献传递
- 一种芯片式铷吸收泡
- 一种芯片式铷吸收泡，涉及一种铷吸收泡，尤其是涉及一种适用于常规、微小型化与芯片式以及应用激光作为光源的各种铷原子钟的芯片式铷吸收泡。提供一种体积较小、功耗较低和吸收效果较好的芯片式铷吸收泡。设有一硅片，在硅片中央设有一个...
- 郭航王盛贵骆明辉
- 文献传递
