周斯卡
- 作品数：5 被引量：0H指数：0
- 供职机构：同济大学更多>>
- 发文基金：上海市科学技术委员会资助项目国际科技合作与交流专项项目国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学机械工程更多>>
- 在19.5nm处高反在30.4nm处抑制的双功能薄膜
- 2011年
- 研究了极紫外波段的双功能光学元件。采用周期膜叠加的思想,运用遗传方法优化设计了在19.5 nm处高反,在30.4 nm处抑制的双功能多层膜。采用磁控溅射技术制备了多层膜,利用X射线衍射仪测试了多层膜的结构,在国家同步辐射实验室测试了双功能多层膜的反射特性。结果表明:制备出的双功能膜性能与设计相符,在入射角13,°19.5 nm处的反射率达到33.3%,接近传统的19.5 nm周期高反膜的反射率,并且在30.4 nm附近将反射率由1.1%降到9.6×10-4。
- 蒋励王晓强谭默言黄秋实李浩川周斯卡朱京涛王占山
- 关键词：双功能多层膜极紫外直流磁控溅射
- Mg/Mo/SiC极紫外多层膜反射镜及其制作方法
- 本发明涉及Mg/Mo/SiC极紫外多层膜反射镜及其制作方法，在超光滑的硅片或玻璃基底上镀制打底层，再交替镀制Mg、Mo和SiC膜层形成Mg/Mo/SiC周期多层膜，最后镀制SiC作为保护层即可。本发明采用熔点高、相态稳定...
- 朱京涛周斯卡李浩川王占山
- 文献传递
- 极紫外Mg/Si多层膜的改进和表征
- 本文研究通过在Mg/Si多层膜引入Mo或SiC阻隔层的界面工程法来提高多层膜的光学性能。采用磁控溅射法镀制多层膜，X射线和极紫外反射法表征多层膜。测试结果表明，引入双层SiC阻隔层的Mg/SiC/Si/SiC多层膜与Mg...
- 周斯卡王晓强李浩川黄秋实蒋励张众朱京涛王占山
- 关键词：光学性能
- 极紫外Mg/Si多层膜的改进和表征
- 本文研究通过在Mg/Si多层膜引入Mo或SiC阻隔层的界面工程法来提高多层膜的光学性能。采用磁控溅射法镀制多层膜,X射线和极紫外反射法表征多层膜。测试结果表明,引入双层SiC阻隔层的Mg/SiC/Si/SiC多层膜与Mg...
- 周斯卡王晓强李浩川黄秋实蒋励张众朱京涛王占山
- 文献传递
- 一种Mg/Zr极紫外多层膜反射镜及其制作方法
- 本发明涉及一种Mg/Zr极紫外多层膜反射镜及其制作方法，在超光滑的硅片或玻璃基底上镀制打底层，再交替镀制Mg、Zr膜层形成Mg/Zr周期多层膜，然后在周期多层膜上镀制B<Sub>4</Sub>C作为保护层。与现有技术相比...
- 朱京涛周斯卡李浩川王占山
- 文献传递
