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周永丽

作品数：8 被引量：0H指数：0
供职机构：东南大学更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 6篇专利
  • 1篇学位论文
  • 1篇会议论文

领域

  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇电子电信

主题

  • 7篇感器
  • 7篇传感
  • 7篇传感器
  • 6篇低温漂
  • 6篇湿度传感器
  • 6篇环境湿度
  • 3篇电容
  • 3篇电容值
  • 3篇电阻
  • 3篇压敏电阻
  • 3篇压阻
  • 3篇体积
  • 3篇体积变化
  • 3篇离子注入
  • 3篇隔离层
  • 2篇电容式
  • 2篇电容式湿度传...
  • 1篇悬臂
  • 1篇悬臂梁
  • 1篇悬臂式

机构

  • 8篇东南大学

作者

  • 8篇周永丽
  • 7篇黄见秋
  • 6篇秦明
  • 1篇黄庆安

传媒

  • 1篇第十二届全国...

年份

  • 2篇2014
  • 1篇2013
  • 5篇2012
共 8 条 记 录，以下是 1-8
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排序方式：
MEMS压阻悬臂式湿度传感器的设计与优化
MEMS湿度传感器以其体积小、响应快、线性好、精度高等优点受到越来越多的重视.本论文设计的MEMS压阻式湿度传感器的工作原理是当环境湿度变化时,利用感湿聚合物(聚酰亚胺)吸收水分后体积膨胀产生张力,使得压阻附近的应力增大...
周永丽黄庆安黄见秋
关键词：微机电系统悬臂梁灵敏度
文献传递
一种低温漂压阻湿度传感器及其制作方法
本发明公开一种低温漂压阻湿度传感器及其制作方法，传感器包括半导体衬底，悬臂梁，压敏电阻以及连接压敏电阻的电极引线；悬臂梁由依次重叠放置的第一湿敏材料层、第一隔离层、第二湿敏材料层和第二隔离层组成；悬臂梁的各层通过旋涂工艺...
秦明周永丽黄见秋
一种低温漂压阻湿度传感器
本实用新型公开一种低温漂压阻湿度传感器，其包括半导体衬底，悬臂梁，压敏电阻以及连接压敏电阻的电极引线；悬臂梁由依次重叠放置的第一湿敏材料层、第一隔离层、第二湿敏材料层和第二隔离层组成；悬臂梁的各层通过旋涂工艺完成，并固定...
秦明周永丽黄见秋
文献传递
一种具有温漂补偿的电容湿度传感器及其制作方法
本发明公开一种具有温漂补偿的电容式湿度传感器及其制作方法，传感器本体采用表面微机械加工技术在半导体衬底上形成隔离层，以及隔离层上的感湿悬臂和上、下电极。其中感湿悬臂由从下到上叠置的第一湿敏材料层、隔湿层、第二湿敏材料层组...
秦明周永丽黄见秋
CMOS兼容的MEMS湿度传感器研究
周永丽
文献传递
一种低温漂压阻湿度传感器及其制作方法
本发明公开一种低温漂压阻湿度传感器及其制作方法，传感器包括半导体衬底，悬臂梁，压敏电阻以及连接压敏电阻的电极引线；悬臂梁由依次重叠放置的第一湿敏材料层、第一隔离层、第二湿敏材料层和第二隔离层组成；悬臂梁的各层通过旋涂工艺...
秦明周永丽黄见秋
文献传递
一种具有温漂补偿的电容湿度传感器及其制作方法
本发明公开一种具有温漂补偿的电容式湿度传感器及其制作方法，传感器本体采用表面微机械加工技术在半导体衬底上形成隔离层，以及隔离层上的感湿悬臂和上、下电极。其中感湿悬臂由从下到上叠置的第一湿敏材料层、隔湿层、第二湿敏材料层组...
秦明周永丽黄见秋
文献传递
一种具有温漂补偿的电容湿度传感器
本实用新型公开一种具有温漂补偿的电容湿度传感器，传感器本体采用表面微机械加工技术在半导体衬底上形成隔离层，以及隔离层上的感湿悬臂和上、下电极。其中感湿悬臂由从下到上叠置的第一湿敏材料层、隔湿层、第二湿敏材料层组成，上电极...
秦明周永丽黄见秋
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