王丽华
- 作品数:12 被引量:13H指数:1
- 供职机构:上海市计量测试技术研究院更多>>
- 发文基金:国家重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域:自动化与计算机技术机械工程电子电信一般工业技术更多>>
- 新型共路激光干涉技术及其亚纳米级位移测量系统的研究
- 研究和开发了一种共路激光干涉测量光路及其亚纳米级位移测量系统。将激光多普勒技术和激光偏振干涉技术相结合,设计了新型激光干涉测长的光路系统,具有两束测量光完全共路的特点,介绍了该系统的光路原理和基于DSP技术的信号处理系统...
- 王丽华李源
- 关键词:激光多普勒
- 文献传递
- 纳米台阶标准样板的制备和表征性研究
- 纳米计量技术是纳米科学技术发展的基础和保障,建立完整的纳米尺度量值溯源体系具有重要意义.介绍纳米标准样板的特征结构设计和制作工艺,利用原子力测头、激光聚焦式测头和白光干涉测头三种测量方法进行测量,开展对比实验、重复性实验...
- 邹子英王丽华李源郭彤马龙
- 一种用于微纳米坐标测量的多测头测量方法与装置
- 本发明为一种用于微纳米坐标测量的多测头测量方法与装置。将微纳米多测头系统安装在三维高精度位移平台上,Z向平移台上安装载物台,载物台下面有俯仰和偏摆微调机构。多测头系统的测量装置放置在隔离腔中,测量装置的控制信号和多测头系...
- 李源陈欣雷李华王丽华
- 文献传递
- 纳米台阶标准样板的制备和表征被引量:13
- 2011年
- 介绍了纳米标准样板在纳米量值溯源体系中的重要作用和制备纳米标准样板的基本要求,设计了适用于多用途的标准值为100nm纳米台阶标准样板的特征结构和制备工艺流程,阐述了纳米测量装置的工作原理以及原子力测头(AFM)、激光聚焦式测头(LFS)、扫描白光干涉测头(SWLIS)的参数指标和适用范围。分别利用纳米测量机(NMM)的多种测头对纳米标准样板进行表征,对SIMT100纳米标准样板A区域开展重复性实验、区域均匀性实验和长时间稳定性实验。结果表明,设计与制备的SIMT100纳米标准样板A区域的高度值具有较好的量值传递特性。台阶标准片的测量重复性、区域均匀性和稳定性的标准偏差均小于1nm。
- 雷李华邹子英李源王丽华李东升
- 一种用于微纳米几何量测量的阵列式测头
- 本实用新型为一种用于微纳米几何量测量的阵列式测头,由网格状多方孔基座和多个测头组件构成。测头组件包括测头、测杆、悬挂结构、传感单元和电路板,测头组件垂直凸出安装在基座方孔上,方孔在基座上呈网格状阵列式排列,阵列式测头通过...
- 王丽华李源吴俊杰雷李华范国芳蔡潇雨毛辰飞
- 文献传递
- 一种DNA纳米结构标尺及其制备方法和应用
- 本发明公开了一种DNA纳米结构标尺及其制备方法和应用。所述DNA纳米结构标尺包括DNA折纸结构;所述DNA折纸结构上修饰有荧光分子,和/或,所述DNA折纸结构通过碱基互补配对原则与至少两个DNA四面体分子进行杂交。本发明...
- 闻艳丽刘刚郭琳洁郭瑞妍李兰英王乐乐梁文许丽杨雪王丽华左小磊樊春海
- 一种三维微触觉传感器的校准方法与装置
- 本发明为一种三维微触觉传感器的校准方法与装置,其特征在于:在隔振腔中安装三维微触觉传感器固定装置、微位移输入装置、CCD摄像头和激光干涉仪;三维微触觉传感器通过不同的夹持机构安放在旋转平台上,微位移输入装置通过控制装置实...
- 雷李华王丽华郭彤李源
- 一种用于微纳米几何量测量的阵列式测头
- 本发明为一种用于微纳米几何量测量的阵列式测头,由网格状多方孔基座和多个测头组件构成。测头组件包括测头、测杆、悬挂结构、传感单元和电路板,测头组件垂直凸出安装在基座方孔上,方孔在基座上呈网格状阵列式排列,阵列式测头通过基座...
- 王丽华李源汪红刘一
- 文献传递
- 纳米测量机传感器信号显示与切换系统的设计
- 2012年
- 为提高纳米坐标测量机的测量效率,降低因测头切换频繁引起的设备故障率,设计了一个具有测头测量信号/观察信号切换并能够实时显示测量信号电压值的装置。该装置主要以C8051F单片机为核心,通过A/D转换芯片和液晶显示模块实现信号电压值的显示功能,同时通过多路选通开关实现信号切换功能。试验表明,该装置的电压示值与输入电压的标准值之间的偏差为0.005 V,并且切换操作简便、准确安全,可以很好地实现显示和切换功能。
- 卢歆雷李华沈瑶琼李源王丽华
- 关键词:C8051F信号切换液晶显示纳米测量机A/D转换
- 一种三维微触觉传感器的校准方法与装置
- 本发明为一种三维微触觉传感器的校准方法与装置,其特征在于:在隔振腔中安装三维微触觉传感器固定装置、微位移输入装置、CCD摄像头和激光干涉仪;三维微触觉传感器通过不同的夹持机构安放在旋转平台上,微位移输入装置通过控制装置实...
- 雷李华王丽华郭彤李源
- 文献传递