王蓉
- 作品数:28 被引量:86H指数:4
- 供职机构:浙江大学更多>>
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- 相关领域:文化科学电子电信理学化学工程更多>>
- 磨料形貌及分散介质对4H碳化硅晶片研磨质量的影响研究被引量:1
- 2023年
- 研磨作为4H碳化硅(4H-SiC)晶片加工的重要工序之一,对4H-SiC衬底晶圆的质量具有重要影响。本文研究了金刚石磨料形貌和分散介质对4H-SiC晶片研磨过程中材料去除速率和面型参数的影响,基于研磨过程中金刚石磨料与4H-SiC晶片表面的接触情况,推导出简易的晶片材料去除速率模型。研究结果表明,磨料形貌显著影响4H-SiC晶片的材料去除速率,材料去除速率越高,晶片的总厚度变化(TTV)越小。由于4H-SiC中C面和Si面的各向异性,4H-SiC晶片研磨过程中C面的材料去除速率高于Si面。在分散介质的影响方面:水基体系研磨液的Zeta电位绝对值较高,磨料分散均匀,水的高导热系数有利于控制研磨过程中的盘面温度;乙二醇体系研磨液的Zeta电位绝对值小,磨料易发生团聚,增大研磨过程的磨料切入深度,晶片的材料去除速率提高,晶片最大划痕深度随之增大。
- 张玺张玺张序清王明华高煜王蓉杨德仁王蓉
- 关键词:研磨金刚石磨料分散介质
- 含有量子点的乙烯-醋酸乙烯酯胶膜及其制备方法和应用
- 本发明公开一种含有量子点的乙烯-醋酸乙烯酯胶膜的制备方法,包括以下步骤:用改性剂对半导体量子点的表面进行亲水性或亲油性改性,再将改性后的半导体量子点均匀分散在溶剂中,形成半导体量子点墨水,然后把半导体量子点墨水、乙烯-醋...
- 皮孝东王蓉刘耀华杨德仁
- 8‑羟基脱氧鸟苷作为尿液标志物的应用
- 本发明提供8‑羟基脱氧鸟苷作为尿液检测标志物的应用,所述的8‑羟基脱氧鸟苷的分子式:C<Sub>10</Sub>H<Sub>13</Sub>O<Sub>5</Sub>N<Sub>5</Sub>。本发明在检测中,其标本的采...
- 郭成丁培丽李晓芬王蓉余捷凯张苏展郑树
- 文献传递
- 4H碳化硅单晶中的位错被引量:3
- 2022年
- 4H碳化硅(4H-SiC)单晶具有禁带宽度大、载流子迁移率高、热导率高和稳定性良好等优异特性,在高功率电力电子、射频/微波电子和量子信息等领域具有广阔的应用前景。经过多年的发展,6英寸(1英寸=2.54 cm)4H-SiC单晶衬底和同质外延薄膜已得到了产业化应用。然而,4H-SiC单晶中的总位错密度仍高达10^(3)~10^(4) cm^(-2),阻碍了4H-SiC单晶潜力的充分发挥。本文介绍了4H-SiC单晶中位错的主要类型,重点讲述4H-SiC单晶生长、衬底晶圆加工以及同质外延过程中位错的产生、转变和湮灭机理,并概述4H-SiC单晶中位错的表征方法,最后讲述了位错对4H-SiC单晶衬底和外延薄膜的性质,以及4H-SiC基功率器件性质的影响。
- 杨光刘晓双李佳君徐凌波崔灿崔灿杨德仁皮孝东
- 关键词:位错单晶电学性质光学性质
- 联合国教科文组织与全球教育治理
- 经济、政治领域的全球化进程,对教育领域产生了重要影响.全球化给世界教育发展带来了一系列问题与挑战,构建新的全球化参与和管理机制,成为国家与国际教育组织的重要问题.面对全球教育发展的新态势,联合国教科文组织(UNESCO)...
- 王蓉
- 关键词:UNESCO
- 一种双面同步抛光用的碳化硅晶圆抛光液、制备方法与应用
- 本发明涉及晶体材料后处理技术领域,提供了一种双面同步抛光用的碳化硅晶圆抛光液、制备方法与应用,所述抛光液的成分包括:20‑30wt.%硅溶胶,0.005‑0.05wt.%表面活性剂,8‑17wt.%TiO<Sub>2</...
- 皮孝东鲁雪松王万堂王蓉杨德仁
- 奥巴马政府高等教育改革方案解析被引量:3
- 2014年
- 美国高等教育在经历20年发展黄金期后,新世纪以来尤其是在金融危机的影响下,在学生入学、经济资助、教育质量以及办学效率等方面遭遇到一系列新的挑战。为此,奥巴马政府提出"让更多人上得起大学"的高等教育改革新方案。其核心是通过实行新的高校排名计划,通过采取拨款与高校和学生的表现挂钩,促进创新与竞争,确保学生债务的可承受性等举措,迫使高校降低教育成本,促进学生入学,以及改善办学质量。奥巴马政府高等教育改革方案反映了联邦政府对高等教育入学、质量、效率等问题的关切,以及强化通过评估与拨款干预高等教育发展的趋势。同时,改革方案在目标与结果、方法与技术等方面受到高等教育界的诸多质疑与批评。
- 阚阅王蓉
- 关键词:高等教育改革绩效责任
- 亚太地区高等教育机构质量文化建设
- 2016年
- 提高质量是当代高等教育发展的核心战略主题。在全球化、信息化、知识经济与国际竞争日趋激烈的背景下,高等教育质量建设已成为全球社会关注的热点议题。1998年以来,中国高等教育办学规模不断扩大,并正由外延扩张向内涵发展转型。重视全面提高办学质量不仅是党中央、国务院作出的重大战略决策,也是《国家中长期教育改革和发展规划纲要》提出的明确要求。
- 邵兴江王蓉阚阅
- 关键词:高等教育机构文化建设教育发展知识经济办学规模
- 保罗·尼特的宗教多元论与宗教对话思想研究
- 本文以当代人类的信仰和生存困境为背景,介绍和阐释当代基督教神学家保罗·尼特(PaulKnitter)的宗教多元论和宗教对话思想。
自上世纪以来,西方与东方的接触与碰撞越来越多,我们发现自己置身于宗教多元论的处境...
- 王蓉
- 关键词:宗教多元论伦理实践
- 一种宽禁带半导体亚表面损伤层厚度的检测方法、装置
- 本发明涉及半导体技术领域,公开了一种宽禁带半导体亚表面损伤层厚度的检测方法、装置,通过将包含截面的宽禁带半导体晶圆片结构检测片作为工作电极连接作为对电极的金属催化剂,并浸泡入刻蚀液,再采用特定波长的入射光照射到截面上,在...
- 耿文浩王蓉邵秦秦皮孝东杨德仁