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裴文彦

作品数:20 被引量:25H指数:3
供职机构:广东工业大学更多>>
发文基金:广东省自然科学基金广东省科技计划工业攻关项目广州市科技计划项目更多>>
相关领域:电子电信文化科学理学机械工程更多>>

文献类型

  • 11篇期刊文章
  • 5篇专利
  • 1篇会议论文

领域

  • 6篇电子电信
  • 4篇文化科学
  • 3篇机械工程
  • 3篇理学

主题

  • 10篇激光
  • 6篇光刻
  • 5篇光学
  • 4篇激光光刻
  • 4篇光学系统
  • 3篇大学物理
  • 3篇投影光刻
  • 3篇均匀化
  • 3篇课程
  • 3篇激光器
  • 2篇大学物理实验
  • 2篇多媒体
  • 2篇照明光学系统
  • 2篇折变
  • 2篇实验课
  • 2篇实验课程
  • 2篇视场
  • 2篇投影式
  • 2篇准分子
  • 2篇准分子激光

机构

  • 17篇广东工业大学

作者

  • 17篇裴文彦
  • 14篇周金运
  • 9篇林清华
  • 4篇雷亮
  • 4篇胡义华
  • 3篇宁锌
  • 2篇梁国均
  • 2篇蒋力立
  • 2篇颜莉
  • 2篇王新星
  • 2篇李文静
  • 1篇施颖
  • 1篇于黎佳
  • 1篇王敏
  • 1篇姚源卫
  • 1篇何艳阳
  • 1篇刘力斌
  • 1篇梅龙华
  • 1篇梁远博
  • 1篇何榕礼

传媒

  • 2篇广东工业大学...
  • 2篇广东工业大学...
  • 1篇量子电子学报
  • 1篇光学技术
  • 1篇电气电子教学...
  • 1篇半导体光电
  • 1篇现代电子技术
  • 1篇中山大学学报...
  • 1篇装备制造技术

年份

  • 4篇2012
  • 5篇2009
  • 4篇2005
  • 1篇2004
  • 1篇2001
  • 1篇1999
  • 1篇1998
20 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
一种增强激光束均匀化的均束器
本实用新型是一种增强激光束均匀化的均束器。包括有微透镜阵列器(1)及聚焦透镜(3),其中透镜阵列器(1)与聚焦透镜(3)之间设置有能发生Raman-Nath声光衍射的声光器件(2)。本实用新型利用微透镜阵列器先分割光束,...
周金运林清华裴文彦
文献传递
关于大学物理实验课程虚拟实验远程教育的开发、配备、组织和实施的研究
<正>由于连年扩招,高校师生比迅速扩大,在现有的实验条件下,增加了老师授课的工作强度, 导致大学物理实验课教学质量有所下降.为了解决这个问题,我们自2002年起,便开展关于大学物理实验课程虚拟实验远程教育的开发、配备、组...
宁锌梁远博于黎佳蒋力立何艳阳何榕礼刘力斌姚源卫颜莉王敏张战士罗峻丰裴文彦周莹韩萍
文献传递
BaTiO_3 : Ce 桥式互泵浦相位共轭被引量:1
1998年
在BaTiO3:Ce光折变晶体中实现了桥式互泵浦相位共轭.它和以往所有的互泵浦相位共轭镜不同之处在于这种晶体的a面入射光能产生强的自泵浦相位共轭,这使桥式互泵浦相位共轭产生的条件极为苛刻.然而本文通过选择最佳实验条件,使这种共轭光的的透射率高达40%.也从理论上对BaTiO3:Ce桥式互泵浦相位共轭的形式作了分析和讨论.
周金运胡义华裴文彦
关键词:自泵浦相位共轭钛酸钡四波混频光折变晶体
电子技术类专业设置光子技术类课程的研究被引量:7
2004年
阐述了光子技术在当代电子技术中的地位和电子技术类专业设置光子技术类课程的重要性。对于电子技术类专业的教学 ,要培养具有创新能力的复合型人才 ,光子技术类课程应该融合到现有的专业课程体系中去。考虑课程过重过杂的矛盾 ,光子技术类课程被整合成三个模块 :激光技术课程、光电子技术课程和光纤通信技术课程。介绍了三门课程的背景意义、发展方向以及所涵盖的内容 ,并强调课程要注意强化基础。
周金运裴文彦胡义华
关键词:光子技术激光技术光电子技术光纤通信技术
印刷电路板激光投影成像照明系统均匀性分析被引量:4
2009年
针对351 nm波长的XeF准分子激光器,自行设计了用于高精度、高产率、大面积且常规抗蚀剂曝光的印刷电路板(PCB)激光投影成像照明系统。根据准分子激光的部分相干平顶高斯光束(PCFGB)理论模型,对微透镜阵列器(MLA)均束的衍射特性进行了理论分析。由PCFGB分布函数、稳定光强输出的衍射角和菲涅耳-基尔霍夫衍射积分公式,定量分析衍射效应对MLA均束的影响。理论计算表明,微透镜边缘发生菲涅耳衍射和微透镜产生的多光束干涉都能引起光振幅调制,只不过衍射产生的尖峰更明显地出现在光束边缘。同时,由数值积分得到的PCFGB曲线,发现9×9 MLA均束器既能保证多个微透镜产生光束叠加的均匀性,又最大程度地减少了衍射和多光束干涉效应。通过采取加正六边形光阑的方法,不仅能满足大面积无缝扫描光刻的需要,而且能剪裁由衍射引起的光束边缘尖峰。由ZEMAX光学设计软件模拟其效果,显示其加工窗不大于士2%。
裴文彦周金运梁国均林清华
关键词:激光技术印刷电路板
对非单一信号光用光折变晶体选择相位共轭研究
1999年
以两台He-Ne激光器的激光作模拟信号源,使它们同时入射到BaTiO3:Ce自泵浦相位共轭镜上,借此对不同强度的信号光如何进行选择相位共轭问题,从实验和理论上进行了可行性初步探讨.
周金运胡义华裴文彦
关键词:相位共轭镜光折变晶体氦-氖激光器
新形势下大学物理实验面临的问题与对策被引量:9
2005年
文章简述了在扩招和大实验平台的新形势下大学物理实验所面临的资源、师资和管理等问题;探讨了多媒体预习、仿真和虚拟远程实验辅助及实验主持人负责等相应的对策。
裴文彦宁锌颜莉蒋力立
关键词:大学物理实验仿真多媒体
大视场直接投影式激光光刻光学系统
本实用新型是一种大视场直接投影式激光光刻光学系统。包括激光照明系统及激光投影成像系统,激光照明系统包括依次装设的第一柱面镜、第二柱面镜、会聚球面透镜、匀光棒、第一照明透镜、第二照明透镜、第三照明透镜、第四照明透镜、第五照...
周金运李文静雷亮林清华裴文彦梅龙华
文献传递
基于波导管的无缝扫描光刻激光均束设计被引量:1
2009年
351nm波长的准分子激光器由光波导管作为激光均束器,直接输出正六角形均匀分布的照明光束,能在大面积激光投影光刻中实现无缝扫描。同目前常用的微透镜阵列器相比制作简单,无须光阑就能直接获取所需要的六角形光束,减少了能量损失。通过合理的假设和理论推算,依据管内最大反射次数就能适当地选取光波导管的长度,既保证了足够的反射次数以维持良好的均匀性,同时又避免了不必要的管长所带来的更多反射损耗。利用ZEMAX光学设计软件模拟和分析了由光波导管输出的照明光。结果表明,输出的六角形光束的相对光通量为96%,近似于平顶的能量分布,呈现出了极好的均匀性。
裴文彦周金运梁国均林清华
关键词:准分子激光器光刻光学设计
大视场直接投影式激光光刻光学系统及其应用
本发明是一种大视场直接投影式激光光刻光学系统。包括激光照明系统及激光投影成像系统,激光照明系统包括依次装设的第一柱面镜、第二柱面镜、会聚球面透镜、匀光棒、第一照明透镜、第二照明透镜、第三照明透镜、第四照明透镜、第五照明透...
周金运李文静雷亮林清华裴文彦施颖
文献传递
共2页<12>
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