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谢晖

作品数：83 被引量：113H指数：7
供职机构：哈尔滨工业大学更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划国防基础科研计划长江学者和创新团队发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术文化科学医药卫生电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 57篇专利
  • 15篇期刊文章
  • 7篇会议论文
  • 2篇学位论文
  • 2篇科技成果

领域

  • 27篇自动化与计算...
  • 6篇文化科学
  • 4篇医药卫生
  • 3篇电子电信
  • 2篇机械工程
  • 1篇经济管理
  • 1篇化学工程
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 17篇机器人
  • 15篇显微镜
  • 15篇传感
  • 13篇原子力显微镜
  • 13篇探针
  • 13篇感器
  • 13篇MEMS
  • 13篇传感器
  • 11篇力传感器
  • 10篇磁场
  • 9篇压力传感器
  • 8篇微装配
  • 7篇显微视觉
  • 6篇调焦
  • 6篇植入
  • 6篇同步测量
  • 6篇自动调焦
  • 6篇高温压力传感...
  • 6篇表面形貌
  • 5篇微装配系统

机构

  • 83篇哈尔滨工业大...
  • 1篇哈尔滨理工大...
  • 1篇西安交通大学

作者

  • 83篇谢晖
  • 37篇孙立宁
  • 35篇荣伟彬
  • 20篇陈立国
  • 10篇宋健民
  • 5篇刘延杰
  • 4篇杨锋
  • 3篇王家畴
  • 3篇王乐锋
  • 3篇曲东升
  • 2篇熊根良
  • 2篇孙奎
  • 2篇李德伦
  • 2篇刘宏
  • 2篇谢宗武
  • 2篇邵兵
  • 2篇陈伟
  • 2篇黄剑斌
  • 2篇王磊
  • 2篇陈涛

传媒

  • 3篇光学精密工程
  • 2篇机械工程学报
  • 2篇传感技术学报
  • 2篇第八届中国微...
  • 1篇新型炭材料
  • 1篇哈尔滨工业大...
  • 1篇中国机械工程
  • 1篇自然杂志
  • 1篇机械设计与研...
  • 1篇机械与电子
  • 1篇光电工程
  • 1篇压电与声光
  • 1篇全国第十一届...
  • 1篇中国微米纳米...
  • 1篇中国传感器产...
  • 1篇中国微米、纳...

年份

  • 10篇2024
  • 8篇2023
  • 5篇2022
  • 3篇2021
  • 5篇2020
  • 2篇2019
  • 5篇2017
  • 2篇2016
  • 2篇2015
  • 3篇2014
  • 4篇2013
  • 1篇2012
  • 1篇2009
  • 4篇2008
  • 5篇2007
  • 15篇2006
  • 6篇2005
  • 1篇2004
  • 1篇2002
共 83 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
采用磁驱峰值力调制原子力显微镜进行的多参数同步测量方法
采用磁驱峰值力调制原子力显微镜进行的多参数同步测量方法，涉及微纳米尺度下材料的表面形貌、力学特性的测量技术，是为了解决传统基于力位移曲线的方法中探针的驱动频率范围受限、以及在液体环境下整体驱动探针会干扰探针悬臂的运动，影...
谢晖孙立宁孟祥和张号宋健民
文献传递
制造磁性三维结构的3D打印装置与打印方法
一种制造磁性三维结构的3D打印装置与打印方法，属于3D打印磁性材料领域。本发明针对磁性颗粒在聚合物材料基质中容易发生沉降和团聚，影响聚合物材料的磁性均匀度，无法打印获得可编程磁性三维结构的问题。装置包括：载板的通孔处上方...
谢晖孟祥和李诗诗沈行健
采用开尔文探针力显微镜进行多参数同步测量的方法
采用开尔文探针力显微镜进行多参数同步测量的方法，涉及表面形貌、力学特性和表面局部电势的测量技术，目的是为了解决传统的开尔文探针力显微镜无法实现样品的表面形貌、力学特性和表面局部电势的同步表征的问题。本发明的导电探针始终保...
谢晖张号孟祥和宋健民
文献传递
原子力显微镜中磁驱探针动态性能的标定方法
一种原子力显微镜中磁驱探针动态性能的标定方法，属于材料物理特性标定技术领域。本发明针对由幅频曲线计算出的探针动态性能参数存在误差的问题。包括：由探针在空气中的幅频特性曲线得到探针的共振频率和品质因子；再结合探针在自由状态...
谢晖孟祥和吴晓茉李诗诗张号
文献传递
基于电荷控制的压电陶瓷驱动电源
本发明提供的是一种基于电荷控制的压电陶瓷驱动电源。它包括压电陶瓷和连接与压电陶瓷两端的高压运算放大器，在压电陶瓷上串接有反馈电容。对电荷反馈压电陶瓷电源进行了性能测试，当加在压电陶瓷上电压70V左右，定位6秒位移变化情况...
孙立宁荣伟彬汝长海谢晖
文献传递
基于正交探针的开尔文探针力显微镜系统及样品侧壁扫描方法
基于正交探针的开尔文探针力显微镜系统及样品侧壁扫描方法，属于开尔文探针力显微镜测量技术领域。本发明是为了解决现有开尔文探针力显微镜不能实现半导体元器件上微纳三维结构的侧壁表面形貌和表面电势的测量的问题。它设计了新的正交探...
谢晖张号耿俊媛孟祥和宋健民
探针伺服角度控制方法及控制模块、基于该控制模块的成像系统及该系统的成像方法
探针伺服角度控制方法及控制模块、基于该控制模块的成像系统及该系统的成像方法，涉及采用原子力显微镜进行微纳米结构表面扫描成像的技术。它为了解决传统的原子力显微镜无法对具有大倾角外斜表面、垂直侧壁表面、内斜表面等结构表面实现...
谢晖杨锋
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用于MEMS高温压力传感器自动阳极键合的加热装置
本发明提供的是一种用于MEMS高温压力传感器自动阳极键合的加热装置。它包括底板，在底板上安装有支架，在支架上安装有加热块，加热块的四周设置有散热片，加热块上开有加热棒和温度传感器安装圆孔，加热棒和温度传感器安装在加热块中...
谢晖荣伟彬孙立宁陈立国
文献传递
二维并联驱动的硅片搬运机器人
本发明提供的是一种二维并联驱动的硅片搬运机器人。它包括机体、导轨(2)、丝杠(3)、滚珠花键组合体、框架螺母(5)、套筒(6)、同步电机和同步轮Ⅰ(7)、同步电机和同步轮Ⅱ(8)、同步带结构Ⅰ(9)、摇臂Ⅰ(10)，轴Ⅰ...
孙立宁刘延杰荣伟彬曲东升谢晖
文献传递
具有力感知能力的柔性神经电极植入系统及方法
一种具有力感知能力的柔性神经电极植入系统及方法，属于电极植入技术领域。本发明针对现有神经电极在植入过程中，由于不具备对生物组织的精细感知辨别能力而影响植入精度的问题。系统包括：致动机构连接固定机座，固定机座垂直连接石英晶...
谢晖孟祥和沈行健张号
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