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余宏斌

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：北京大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文专利

主题

  • 1篇阳极键合
  • 1篇镜面
  • 1篇刻蚀
  • 1篇键合
  • 1篇硅片
  • 1篇背腔
  • 1篇变形镜

机构

  • 1篇北京大学

作者

  • 1篇张大成
  • 1篇余宏斌
  • 1篇杜先锋
  • 1篇李婷
  • 1篇郝一龙
  • 1篇王玮

年份

  • 1篇2005
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
变形镜及其制备方法
本发明提供了一种变形镜及其制备方法，属于变形镜加工制备领域。该变形镜包括镜面单元和控制电极，镜面单元为一硅片，通过刻蚀硅片，镜面单元包括：一薄膜镜面和一带有若干个凸台的背腔，控制电极固定在衬底上，通过阳极键合将镜面单元与...
郝一龙杜先锋张大成余宏斌李婷王玮
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