宋玲根
- 作品数:10 被引量:7H指数:2
- 供职机构:复旦大学材料科学系更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:理学电子电信金属学及工艺更多>>
- 一种利用变通的离子散射谱测量进行浓度定标的二次离子质谱深度剖析定量方法
- 1996年
- 本工作利用一台不作任何较大改动的CAMECA-IMS-3f扇形磁铁型二次离子质谱仪对传统的离子散射谱(ISS)分析技术进行了适当的变通,并对二次离子质谱分析(SIMS)的深度剖析谱进行了浓度定标。在保留SIMS分析高灵敏度、高深度分辨率的前提下,实现了对块体样品中的掺杂元素的SIMS定量深度剖析。通过与离子注入机标称的注入剂量及卢瑟福背散射的定量分析结果相比较,本方法的定量准确度一般好于10%。而精确度则好于5%。本文对该方法的背景、基本原理、实验方法,准确度及优缺点等进行了较详细的讨论。
- 宋玲根张永夏蔡磊宗祥福
- 关键词:二次离子质谱
- 铅同位素比值的飞行时间二次离子质谱法测量被引量:2
- 1996年
- 介绍了用飞行时间二次离子质谱法对器物中的铅同位素比值的测量。在仔细地讨论了质量干扰、二次离子产额的同位素分馆效应等对测量结果的影响后,认为本工作无需标准样品,可以实现对样品无损的高质量分辨的二次离子质谱分析。铅同位素比值的测量精确度优于1%。
- 宋玲根蔡磊任云珠李白云陶莹曹永明宗祥福
- 印刷电路板上倒扣封装技术研究
- 林晶陈维孝卢基纯宗祥福宋玲根李越生黄郁芳
- 倒扣芯片封装技术是目前国际上微电子封装技术研究中最热的热点之一,本研究首先在已完成集成电路芯片制造的硅片上采用溅射方法制备UBM,UBM层的材料采用Ti/W-Cu系列。然后用电镀法电镀一层较厚的铜层,以使凸缘在回流过程中...
- 关键词:
- 关键词:倒扣封装集成电路技术
- 出射粒子的能量单色性与最佳出射角
- 1991年
- 本文从核反应Q方程出发,仔细讨论了出射粒子在不同出射角下的能量单色性问题,给出了最佳角存在的条件、范围和计算公式。以出射中子反应为例,给出了具体的计算,并对计算结果进行了分析和讨论。
- 史福庭宋玲根王炎森吴松茂
- 关键词:出射粒子
- 多层膜样品的背散射/沟道、溅射剥层/背散射和二次离子质谱分析
- 2002年
- 用背散射 /沟道、溅射剥层 /背散射和二次离子质谱方法分析了分子束外延生长的Si/GexSi1-x多层膜 .由 2MeV 4He+ 离子背散射 /沟道分析 ,确定了外延生长薄膜的厚度、组分和晶格结构的完美性 ;用低能Ar+ 离子溅射剥层 ,减薄样品外延层厚度后 ,再做背散射分析 ,可获得有关较深层薄膜与基体界面和溅射剥层的信息 ;
- 赵国庆姜蕾宋玲根杨宇孙耀德周筑颖
- 关键词:多层膜背散射沟道
- 一种有效的铝材料内部微结构观察分析方法被引量:1
- 2000年
- 考虑到铝材料的应用在微电子等众多领域中的重要地位以及由于这类材料质地的柔软性而引起的制样困难 ,为了在几十纳米线度的水平上观察分析铝材料内部微结构状况及其变化规律 ,在分析、比较了目前常用的几种铝材料内部微结构观察分析的制样技术的基础上 ,介绍一种利用聚焦离子束技术 (Focused ion beam,FIB)来对铝引线进行制样与观察分析的方法 ,并得出了一些初步结果。
- 吴宇虎宋玲根陈亮宗祥福Yi-HsinPao
- 关键词:铝材料微结构
- 无标样法SIMS定量分析
- 本发明涉及一种固体材料中元素含量的无标样定量分析方法。以往用SIMS方法定量分析固体材料需用消耗性标样、耗资昂贵。本发明将SIMS法与ISS法有机地结合,测得待测样品的ISS深度剖析谱和SIMS谱,经计算即可得到精度较高...
- 宋玲根张永夏宗祥福
- 文献传递
- 金属板材腐蚀坑最大深度的简易X射线斜透射测量技术被引量:4
- 2004年
- 基于X射线透射造影术的基本原理,提出了一种简易的X射线斜透射测量技术,用以测量金属(铝/钢)板材上腐蚀坑的最大深度.经三维光学显微镜技术的比对,本技术对典型的汽车用铝/钢板材上腐蚀坑深度的绝对灵敏度和测量误差分别为100μm和±10μm.
- 代方宋玲根谈笑天WANG TieZHU Wei-ping
- 一种二次离子质谱定量分析方法
- 本发明涉及一种固体材料中元素含量的无标样定量分析方法。以往用SIMS方法定量分析固体材料需用消耗性标样、耗资昂贵。本发明将SIMS法与ISS法有机地结合,测得待测样品的ISS深度剖析谱和SIMS谱,经计算即可得到精度较高...
- 宋玲根张永夏宗祥福
- 文献传递
- 利用热中子活化瞬发γ射线进行元素分析
- 子活化瞬发γ射线分析区别于通常的活化分析是能进行在线分析。本工作在3MV质子静电加速品上由Be(dn)反应产生快中子,通过聚乙烯慢化体获得10[**]/s·cm[**]量级热中子,配以Ge(Li)探测系统,建立...
- 李霞波吴松茂宋玲根
- 关键词:中子活化分析Γ辐射热中子慢化