徐锋
- 作品数：32 被引量：33H指数：3
- 供职机构：西南科技大学信息工程学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划博士科研启动基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程理学电子电信更多>>
- 基于模糊PID的光刻机同步扫描控制被引量：1
- 2011年
- 基于模糊PID控制理论,介绍了步进扫描光刻机中工件台同步扫描的控制方法,并简要介绍了相关的控制理论基础知识,详细阐述了模糊控制器的制作过程和模糊规则的制定方法。另外针对同步扫描控制的难点,简要介绍了步进扫描光刻机的同步扫描过程,而且建立了同步运动的执行器直线电机的仿真模型。采用模糊PID理论对同步扫描系统进行控制策略研究,仿真实验表明,硅片台稳态误差及掩膜台稳态误差能够快速衰减达到稳定状态,而同步误差的精度也能达到微米级别。这种方案具有较好的动态特性及鲁棒性,同步误差较小,有望满足高精度同步扫描的要求。
- 盛壮唐小萍胡松李兰兰谢飞李金龙徐锋
- 关键词：双直线电机模糊PID控制SIMULINK光刻
- 一种快速多视拼接方法研究
- 2015年
- 针对3D扫描测量领域自动化水平不高,测量不稳定,测量误差较大的现状,在双目结构光测量系统基于空间点相对距离不变性的多视拼接中,提出了一种基于三角约束和全局优化的多视拼接方法。该方法包括:匹配标记点时对由点距约束求得的可能匹配点加入三角约束,去除误匹配点;初次拼接后,根据求得的重心用最小二乘法进行全局优化,得到优化后的拼接矩。通过VC++,Open CV等工具的算法实现表明:该方法能够较好地抑制累积误差,拼接方法稳定、快速,能实现自动化拼接。
- 王荣华张华徐锋
- 关键词：全局优化
- 三维打印技术研究被引量：7
- 2015年
- 从材料形式与原理两方面对几种主流的3D打印技术进行了详细的对比与分析。研究表明:基于液态形式的三维立体光刻技术具有最高的精度,但可用材料较少且成本较高;基于粉末形式的3D打印技术可用于对结构稳定性要求高的工件制作;而基于薄片形式的分层实体制造技术可用于对精度要求不高的批量制造。
- 徐锋
- 关键词：立体光刻熔融沉积成型分层实体制造
- 光刻对准中干涉条纹相位解析研究被引量：1
- 2012年
- 针对光刻对准中双光栅产生的具有多频率的干涉条纹,提出了一种基于二维解析小波变换进行条纹分析的方法。该方法首先通过二维小波变换的多尺度对条纹的多频率进行分析,并通过解析小波基函数将条纹的幅度与相位进行分离,最终通过二维小波脊方法提取出与偏移量相关的相位。在相位提取的同时通过二维小波脊所处点的角度分布来移除封闭条纹处理中常见的相位符号不确定性。数值模拟与实验验证了该方法的可行性并与传统的基于频域的相位分析方法进行了对比分析。结果表明,该方法能在获得所需相位信息的同时较好地滤除掉由光路抖动引起的噪声,具有很强的适应性。
- 徐锋胡松周绍林徐文祥
- 一种位相型光子筛
- 位相型光子筛，是由传统菲涅尔波带片结构改进而成。它是由随机分布在菲涅尔波带片透光和不透光环带上的小孔组成，其中透光环带上的小孔和不透光环带上的小孔之间有π位相差，位相差由精确控制各环带的刻蚀深度来实现。位相型光子筛的制作...
- 蒋文波胡松赵立新徐锋邢嶶杨勇严伟
- 一种接近式纳米光刻中的间隙测量方法
- 一种接近式纳米光刻中的间隙测量方法，主要针对纳米压印、波带片阵列成像等纳米制造技术中的掩模硅片间隙控制。其基本过程可由图1简单说明：入射平面波透过两个周期接近、以一定间隙重叠的硅片光栅与掩模光栅并发生多次衍射，来自于两个...
- 周绍林胡松唐小萍赵立新杨勇徐锋陈旺富陈明勇
- 文献传递
- 基于双线性对称NASNet的磁痕图像缺陷检测
- 2020年
- 针对现有磁痕图像缺陷检测方法易受噪声和反光影响,检测精度不高的情况,提出一种基于双线性对称NASNet(BS-NASNet)的磁痕图像缺陷检测算法。BS-NASNet网络模型选用双线性模型作为总体框架,且模型中的两个特征函数均采用由两个结构完全相同的NASNet融合而成的对称NASNet(S-NASNet),以充分提取图像中的全局和局部特征。在对两个特征函数最后的特征输出层进行融合时,先对每部分特征降维后再进行融合,可降低过拟合风险,能够适用于小样本训练。实验结果表明,本文算法能够在噪声和反光干扰的情况下对磁痕图像缺陷进行有效检测,检测精度可达99%,且相比于其他几种检测算法具有更高的准确率和召回率。
- 邓鑫刘桂华徐锋周飞
- 一种用于接近式纳米光刻双光栅自动对准系统
- 一种用于接近式纳米光刻双光栅自动对准系统，由光路部分、图像处理和电路控制部分组成；光路部分包括激光光源、透镜组、掩模、硅片、掩模光栅、硅片光栅、分光镜、物镜、CCD图像探测器；激光经过透镜组后形成均匀准直的平行光，透过两...
- 徐锋胡松罗正全周绍林陈旺富李金龙谢飞李兰兰盛壮
- 文献传递
- 一种用于投影光刻纳米量级自动调焦系统
- 本发明是一种用于投影光刻纳米量级自动调焦系统，由光路、图像处理模块、电路控制模块组成。光路包括准直激光束、两个光栅标记、四个透镜、硅片台、CCD图像探测器；准直激光束垂直照明一光栅标记，并沿着一、二透镜的光轴对硅片台表面...
- 徐锋胡松罗正全周绍林陈旺富李金龙谢飞李兰兰盛壮
- 一种适用于投影光刻系统的检焦系统及检焦方法
- 一种适用于投影光刻系统的检焦系统包括：光弹调制系统，对称成像系统，光栅调制系统，偏振调制系统以及光电探测系统，通过光栅以及偏振调制系统将被测面的偏移量转换成信号光的相对强弱变化，应用光弹调制系统来提高信噪比，从而获得高精...
- 陈旺富胡松严伟陈铭勇周绍林徐锋李金龙谢飞
