李金龙
- 作品数：34 被引量：14H指数：3
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家科技重大专项国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术理学机械工程更多>>
- 基于模糊PID的光刻机同步扫描控制被引量：1
- 2011年
- 基于模糊PID控制理论,介绍了步进扫描光刻机中工件台同步扫描的控制方法,并简要介绍了相关的控制理论基础知识,详细阐述了模糊控制器的制作过程和模糊规则的制定方法。另外针对同步扫描控制的难点,简要介绍了步进扫描光刻机的同步扫描过程,而且建立了同步运动的执行器直线电机的仿真模型。采用模糊PID理论对同步扫描系统进行控制策略研究,仿真实验表明,硅片台稳态误差及掩膜台稳态误差能够快速衰减达到稳定状态,而同步误差的精度也能达到微米级别。这种方案具有较好的动态特性及鲁棒性,同步误差较小,有望满足高精度同步扫描的要求。
- 盛壮唐小萍胡松李兰兰谢飞李金龙徐锋
- 关键词：双直线电机模糊PID控制SIMULINK光刻
- 双工件台光刻机中的焦面控制技术被引量：6
- 2012年
- 面对可用焦深日益缩短的趋势,高精度的焦面控制技术显得尤为重要。针对双工件台光刻机中采用的焦面控制技术,介绍了基于偏振调制的光栅检焦技术及其测量原理,研究了双工件台光刻机中的调平调焦技术。基于平面拟合、最小二乘法及坐标变换公式推导了曝光狭缝内离焦量计算公式;研究了一种离焦量解耦算法,该算法将曝光狭缝内离焦量解耦为调平调焦机构三个压电陶瓷的独立控制量,并使狭缝曝光场中心在调平调焦运动过程中不发生平移。经仿真分析表明,该算法可用于调平调焦精度优于10nm的高精度调焦调平系统,能满足线宽小于100nm投影步进扫描光刻机的需要。
- 李金龙胡松赵立新
- 关键词：光学器件光刻术
- 一种适用于双工件台投影光刻机的检焦装置
- 本发明提供一种适用于双工件台投影光刻机的检焦装置，该装置包含激光器、聚焦光学单元、力检测单元、位置检测单元、六自由度工件台、硅片、差分放大器、Z向反馈控制单元、扫描信号发生器、三维形貌数据存储单元；由激光器发出的激光束经...
- 李金龙胡松赵立新徐峰李兰兰盛壮
- 一种基于FPGA的DMD数字无掩模光刻机工件台控制系统
- 本发明公开了一种基于FPGA的DMD数字无掩模光刻机工件台控制系统，该控制系统通过通讯接口接收主控计算机发送的指令和数据，并按照主机的指令控制工件台进行相应的运动，从而完成实时定位及调焦等过程。其中，工件台定位部分控制工...
- 李兰兰胡松赵立新马平盛壮刘旗李金龙
- 文献传递
- 一种单幅封闭条纹相位提取方法
- 一种单幅封闭条纹相位提取方法，包括步骤：条纹图像噪声滤波、通过小波脊提取相位和移除符号不确定性，其中相位提取方法中通过构造具有很好的尺度和角度方向选择性的二维解析小波函数，能同时对封闭条纹进行滤波和相位提取。本发明能更好...
- 徐锋胡松罗正全周绍林陈旺富李金龙谢飞李兰兰盛壮
- 一种用于投影光刻纳米量级自动调焦系统
- 本发明是一种用于投影光刻纳米量级自动调焦系统，由光路、图像处理模块、电路控制模块组成。光路包括准直激光束、两个光栅标记、四个透镜、硅片台、CCD图像探测器；准直激光束垂直照明一光栅标记，并沿着一、二透镜的光轴对硅片台表面...
- 徐锋胡松罗正全周绍林陈旺富李金龙谢飞李兰兰盛壮
- 文献传递
- 一种掩模与基底六自由度对准装置
- 本发明提供一种掩模与基底六自由度对准装置，含有掩模、掩模支架、弹性簧片、压簧片、压簧预紧、Y手轮、拉簧预紧、基底、基底支架、X手轮、基座、压紧螺钉；掩模支架为圆盘形状，用于承载掩模；弹性簧片具有内环及三个凸起，内环通过螺...
- 李金龙胡松赵立新
- 文献传递
- 一种适用于投影光刻系统的检焦系统
- 一种适用于投影光刻系统的检焦系统包括：光弹调制系统，对称成像系统，光栅调制系统，偏振调制系统以及光电探测系统，通过光栅以及偏振调制系统将被测面的偏移量转换成信号光的相对强弱变化，应用光弹调制系统来提高信噪比，从而获得高精...
- 陈旺富胡松严伟陈铭勇周绍林徐锋李金龙谢飞
- 文献传递
- 一种气浮导轨
- 本发明提供一种气浮导轨，结构为：基座为方形平板；导向条石为方形条石，导向条石具有下表面和导向面，导向条石下表面与基底工作面通过螺钉连接；导向板为方形板，导向板具有进气口等，环形槽通过节流孔、进气口与外界相连，真空槽通过节...
- 李金龙胡松赵立新
- 文献传递
- 一种动镜弹性支撑装置
- 本发明提供一种动镜弹性支撑装置，该装置包括：镜片框(1)、第一弹性支架(2K)、第二至第十五弹性支架(3K-16K)、镜片(200)、压圈(300)；镜片框(1)开有一圆孔(500)，并在底座(400)上设计有三个台阶作...
- 邢薇赵立新胡松王建李金龙
- 文献传递
