您的位置： 专家智库 > >

李春茂

作品数：1 被引量：9H指数：1
供职机构：江苏省工程咨询中心更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇等离子体
  • 1篇螺旋波
  • 1篇螺旋波等离子...

机构

  • 1篇东南大学
  • 1篇中国科学院
  • 1篇江苏省工程咨...

作者

  • 1篇李春茂
  • 1篇江南
  • 1篇王志强
  • 1篇赵宁

传媒

  • 1篇真空科学与技...

年份

  • 1篇2002
共 1 条 记 录，以下是 1-1
全选 清除 导出
排序方式：
螺旋波等离子体的密度与离子能量分布的诊断被引量：9
2002年
螺旋波等离子体是一种高密度的低温、低气压等离子体。这种等离子体在超大规模集成电路工艺、微机电系统加工、新型薄膜材料及纳米材料制备、材料表面改性以及气体离子激光器等方面具有广泛的应用前景。本文采用一套球栅阻滞场带通式能量分析器 ,对螺旋波等离子体在工艺室扩散区样品架表面的特性进行了一些初步的实验研究 ,主要测试了在样品附近的等离子体在其表面上所形成的离子流密度 (从而导出等离子体密度 )以及入射离子的能量分布 ,并对这些参数随射频输入功率的变化进行了研究。研究发现 ,在螺旋波等离子体的扩散区 ,离子能量分布的宽度比用离子温度预期的值大得多 。
江南王志强赵宁李春茂
关键词：螺旋波等离子体
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0