王志强
- 作品数:3 被引量:13H指数:2
- 供职机构:东南大学电子科学与工程学院更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:理学电子电信更多>>
- 螺旋波等离子体研究的新进展
- <正> 一、引言等离子体是由大量相互作用但仍处在非束缚状态下的带电粒子组成的宏观体系,是和固态、液态、气态同一层次的物质第四态,自然界的物质主要以这种状态出现。严格来说,等离子体是带电粒子和中性粒子组成的表现出集体行为的...
- 王志强江南
- 文献传递
- 螺旋波等离子体的密度与离子能量分布的诊断被引量:9
- 2002年
- 螺旋波等离子体是一种高密度的低温、低气压等离子体。这种等离子体在超大规模集成电路工艺、微机电系统加工、新型薄膜材料及纳米材料制备、材料表面改性以及气体离子激光器等方面具有广泛的应用前景。本文采用一套球栅阻滞场带通式能量分析器 ,对螺旋波等离子体在工艺室扩散区样品架表面的特性进行了一些初步的实验研究 ,主要测试了在样品附近的等离子体在其表面上所形成的离子流密度 (从而导出等离子体密度 )以及入射离子的能量分布 ,并对这些参数随射频输入功率的变化进行了研究。研究发现 ,在螺旋波等离子体的扩散区 ,离子能量分布的宽度比用离子温度预期的值大得多 。
- 江南王志强赵宁李春茂
- 关键词:螺旋波等离子体
- PDP器件中MgO薄膜二次电子发射系数γ的研究被引量:4
- 2003年
- 结合等离子体显示器件 ( PDP)的放电机理 ,论述了 PDP中 Mg O保护膜的二次电子发射过程 :势能型发射和动能型发射。讨论了两种二次电子发射系数 γ的测量方法和装置 ,在此基础上 ,建立了一套简单可行的适用于 PDP样品的实验装置 ,文中给出γ值的测量结果。通过γ值的测试 ,可以反馈 Mg O保护膜的性能 。
- 蔡秋萍李青王志强张青和许晓伟
- 关键词:等离子体显示器件氧化镁着火电压