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李男男

作品数：9 被引量：0H指数：0
供职机构：北京大学更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 8篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 8篇刻蚀
  • 3篇金属
  • 3篇干法刻蚀
  • 2篇等离子刻蚀
  • 2篇等离子体
  • 2篇圆片
  • 2篇中间层
  • 2篇装配方法
  • 2篇离子刻蚀
  • 2篇纳米
  • 2篇结构层
  • 2篇金属零件
  • 2篇刻蚀工艺
  • 2篇刻蚀速率
  • 2篇键合
  • 2篇隔热
  • 2篇隔热性
  • 2篇隔热性能
  • 2篇各向异性刻蚀
  • 2篇干法刻蚀工艺

机构

  • 9篇北京大学

作者

  • 9篇李男男
  • 3篇李天宇
  • 2篇张轶铭
  • 2篇陈书慧
  • 2篇胡佳
  • 2篇孙悦
  • 2篇张士斌
  • 1篇罗进

年份

  • 1篇2018
  • 1篇2016
  • 1篇2015
  • 2篇2014
  • 2篇2013
  • 2篇2012
共 9 条 记 录，以下是 1-9
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排序方式：
一种刻蚀金属钼材料的方法
本发明公开了一种刻蚀金属钼材料的方法，在金属钼材料上形成刻蚀掩膜，然后采用高密度等离子体(如ICP、TCP等)干法刻蚀工艺，产生高密度、高能量离子和自由基，实现了对金属钼体材料的高速率、各向异性刻蚀。刻蚀速率可达2.63...
陈兢胡佳张轶铭陈书慧李男男罗进
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一种基于Parylene填充的隔热结构及其制备方法
本发明涉及一种基于Parylene填充的隔热结构及其制备方法。该隔热结构的制备方法包括：1）在基底硅片上加工结构层，并使结构层与基底硅片之间存在一氧化硅隔层；2）在结构层上粘接玻璃衬片；3）从基底硅片的背面进行减薄，然后...
陈兢李天宇李男男
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一种基于深刻蚀技术的微小金属零件制备及装配方法
本发明公开了一种基于深刻蚀技术的微小金属零件制备及装配方法。本方法为：1)在第一基片上制备若干固定零件部件；2)在一复合基片的零件层上刻蚀制备用于与所述固定零件部件装配的若干零件部件；其中，所述复合基片包括支撑层、零件层...
陈兢李男男张士斌孙悦何舒玮
文献传递
一种基于Parylene填充的隔热结构及其制备方法
本发明涉及一种基于Parylene填充的隔热结构及其制备方法。该隔热结构的制备方法包括：1）在基底硅片上加工结构层，并使结构层与基底硅片之间存在一氧化硅隔层；2）在结构层上粘接玻璃衬片；3）从基底硅片的背面进行减薄，然后...
陈兢李天宇李男男
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一种基于深刻蚀技术的微小金属零件制备及装配方法
本发明公开了一种基于深刻蚀技术的微小金属零件制备及装配方法。本方法为：1)在第一基片上制备若干固定零件部件；2)在一复合基片的零件层上刻蚀制备用于与所述固定零件部件装配的若干零件部件；其中，所述复合基片包括支撑层、零件层...
陈兢李男男张士斌孙悦何舒玮
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一种刻蚀金属钨材料的方法
本发明公开了一种刻蚀金属钨材料的方法，在金属钨材料上形成刻蚀掩膜，然后采用高密度等离子体(如ICP、TCP等)干法刻蚀工艺，产生高密度、高能量离子和自由基，实现了对金属钨体材料的高速率、各向异性刻蚀。刻蚀速率可达2.95...
陈兢胡佳张轶铭陈书慧李男男李天宇
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一种基于等离子刻蚀制备钛纳米柱结构的方法
本发明涉及一种基于等离子刻蚀制备钛纳米柱结构的方法。该方法直接对金属钛片表面进行等离子体处理，通过控制调节等离子刻蚀制备钛纳米柱结构的工艺参数，包括平板功率、刻蚀时间、线圈功率、刻蚀气体流量、反应室压强、温度，在无需任何...
陈兢李男男朱宁莉
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金属钛表面微纳米结构加工技术及其对细胞粘附、增殖的影响
钛除了拥有金属的一般特性，还有很好的耐腐蚀性、抗氧化性和生物兼容性，从而被医疗界广泛采用。此外，钛弹性模量和密度接近人骨，能与骨组织形成牢固而紧密的结合，使其成为植入体首选医用金属材料。然而，周围组织与植入体整合以及种植...
李男男
关键词：金属钛微纳米结构
一种基于等离子刻蚀制备钛纳米柱结构的方法
本发明涉及一种基于等离子刻蚀制备钛纳米柱结构的方法。该方法直接对金属钛片表面进行等离子体处理，通过控制调节等离子刻蚀制备钛纳米柱结构的工艺参数，包括平板功率、刻蚀时间、线圈功率、刻蚀气体流量、反应室压强、温度，在无需任何...
陈兢李男男朱宁莉
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