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李素兰
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北京大学
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相关领域:
电子电信
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合作作者
张国炳
北京大学
王煜
北京大学
田大宇
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张海霞
北京大学
郝一龙
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李素兰
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张国炳
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PECVD SiC薄膜的制备、应力控制与力学特性研究
本文采用PECVD方法进行了SiC的薄膜制备,利用俄歇分析(AES)、X光衍射测试(XRD)、傅利叶红外吸收技术(FTIR)等分析了SiC薄膜的组分和结构组成.利用应力仪和纳米硬度计进行测试,以获取薄膜的力学参数,如应力...
王煜
张海霞
田大宇
李素兰
张国炳
郝一龙
关键词:
SIC薄膜
折射率
残余应力
应力控制
力学特性
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PECVD SiC材料刻蚀技术研究
在MEMS器件中,SiC材料的使用已经越来越广泛,因此形成一套可以满足兼容性和可控性要求的标准工艺显得十分重要.本文通过对PECVDSiC进行不同条件下的反应离子刻蚀(RIE)和电感耦合反应离子刻蚀(ICP)实验研究,提...
陈晟
李志宏
张国炳
郭辉
王煜
田大宇
李素兰
边伟
关键词:
反应离子刻蚀
氢含量
功率
压强
刻蚀速率
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