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王小宝

作品数：1 被引量：4H指数：1
供职机构：北京大学微电子学研究院更多>>
发文基金：中国博士后科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇悬臂
  • 1篇悬臂梁
  • 1篇噪声
  • 1篇阵列式
  • 1篇特性分析
  • 1篇灵敏度
  • 1篇敏度

机构

  • 1篇北京大学

作者

  • 1篇张大成
  • 1篇王小宝
  • 1篇杜先锋
  • 1篇李婷
  • 1篇于晓梅
  • 1篇阮勇

传媒

  • 1篇Journa...

年份

  • 1篇2003
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
阵列式微机械悬臂梁的研制及其特性分析被引量：4
2003年
在一个芯片上设计了六组不同规格的矩形压阻悬臂梁 .采用ANSYS有限元分析系统对微压阻悬臂梁进行应力分析 ,并对压阻悬臂梁的噪声、灵敏度以及最小可探测位移进行了研究 .选用多晶硅为压阻材料 ,以硅微机械加工技术为基础 ,完成了阵列式压阻悬臂梁的制备 .通过测量器件的噪声和灵敏度 ,计算出在 6V偏压和 10 0 0Hz测量带宽下 ,多晶硅悬臂梁的最小可探测位移为 1nm .
于晓梅张大成李婷王小宝阮勇杜先锋
关键词：悬臂梁噪声灵敏度
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