王蓓
- 作品数：11 被引量：22H指数：3
- 供职机构：同济大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划教育部“新世纪优秀人才支持计划”更多>>
- 相关领域：理学机械工程一般工业技术电子电信更多>>
- 4.48nm正入射软X射线激光用Cr/C多层膜高反射镜的研制被引量：3
- 2007年
- 针对4.48nm类镍钽软X射线激光及其应用实验,设计制备了工作于这一波长的近正入射多层膜高反射镜。选择Cr/C为制备4.48nm高反射多层膜的材料对,通过优化设计,确定了多层膜的周期、周期数以及两种材料的厚度比。模拟了多层膜非理想界面对高反射多层膜性能的影响。采用直流磁控溅射方法在超光滑硅基片上实现了200周期Cr/C多层膜高反射镜的制备。利用X射线衍射仪测量了多层膜结构,在德国BessyⅡ同步辐射上测量了在工作波长处多层膜反射率,测量的峰值反射率达7.5%。对衍射仪测量的掠入射反射曲线和同步辐射测量的反射率曲线分别进行拟合,得到的粗糙度和厚度比的结果相近。测试结果表明,所制备的Cr/C多层膜样品结构良好,在指定工作波长处有较高的反射峰,达到了设计要求。
- 王蓓王占山徐垚张众朱京涛王洪昌王风丽陈玲燕
- 关键词：X射线光学软X射线多层膜磁控溅射
- 类镍钽软X射线激光用高反射镜的研究
- 本文介绍类镍钽软X射线激光实验中重要光学元件一类镍钽软X射线高反射镜(工作波长位于4．48nm)的设计、制备和测量。包括多层膜材料对的选择;周期厚度优化及两种材料厚度比的优化;采用高真空直流磁控溅射方法在超光滑硅基片上制...
- 王蓓王占山陈玲燕秦树基
- 关键词：软X射线多层膜X射线衍射仪
- 文献传递
- 类镍钽软X射线激光用多层膜反射镜的研制
- “水窗”及其附近波段的激光光源是生物显微成像、全息照相、等离子体诊断的理想光源。因此,自从x射线激光出现以来,人们一直致力于把x射线激光的输出波长推进到“水窗”波段。目前, 我国已经成功实现了类镍钽软x射线激光的饱和输出...
- 朱京涛王蓓徐垚张众王洪昌王风丽陈玲燕王占山
- 文献传递
- 广义KdV方程若干问题的讨论
- 王蓓
- 类镍钽软X射线激光用高反射镜的研究
- 多层膜技术极大地提高了光学元件对极紫外光和软X射线的反射率，有力地促进了该波段光学系统的发展，已在天文学、显微成像、光刻、同步辐射应用以及X射线激光等领域得到了广泛的应用。工作波长为4.48nm的高反射镜是类镍钽软X射线...
- 王蓓
- 关键词：软X射线激光反射镜周期多层膜磁控溅射
- 文献传递
- 用X射线反射测量法表征双层结构中低原子序数材料的特性(英文)被引量：8
- 2007年
- 介绍了用X射线反射测量术表征双层薄膜中低原子序数材料特性的方法。由于低原子序数材料的光学常数与Si基板材料的光学常数非常接近,用X射线反射法确定镀制在Si基板上的低原子序数材料膜层结构的变化十分困难,因此,提出了在镀制低原子序数材料前,首先在基板上镀制一层非常薄的金属层的方法。实验中,选用Cr作为金属层材料,制备并测试了三种不同C膜镀制时间的Cr/C双层薄膜。反射率曲线拟合结果表明,C膜密度约为2 .25 g/cm3,沉积速率为0 .058 nm/s。
- 徐垚王占山徐敬张众王洪昌朱京涛王风丽王蓓秦树基陈玲燕
- 关键词：X射线衍射仪
- 30.4nm波长SiC/Mg多层膜反射镜被引量：10
- 2007年
- 波长30.4 nm的He-II谱线是极紫外天文观测中最重要的谱线之一,空间极紫外太阳观测光学系统需要采用多层膜作为反射元件。为此研究了SiC/Mg、B4C/Mg、C/Mg、C/Al、Mo/Si、B4C/Si、SiC/Si、C/Si、Sc/Si等材料组合的多层膜在该波长处的反射性能。基于反射率最大与多层膜带宽最小的设计优化原则,选取了SiC/Mg作为膜系材料。采用直流磁控溅射技术制备了SiC/Mg多层膜,用X射线衍射仪测量了多层膜的周期厚度,用国家同步辐射计量站的反射率计测量了多层膜的反射率,在入射角12°时,实测30.4 nm处的反射率为38.0%。
- 朱京涛张淑敏王蓓吴文娟李存霞徐垚张众王风丽王占山陈玲燕周洪军霍同林
- 关键词：薄膜光学极紫外多层膜磁控溅射
- 财务业绩视角下华为公司战略决策研究
- 随着世界信息通信技术的飞速发展，我国也面临着多重机遇和挑战，尤其是民营信息通信技术行业，国家重点经济支柱之一，当面对大好机会时应把握好未来发展，为中国信息通信行业注入新鲜血液。但目前行业中的有些企业在战略制定及经营决策上...
- 王蓓
- 关键词：财务业绩
- 用X射线反射测量法表征双层结构中低原子序数材料的特性
- 介绍了用X射线反射测量术表征双层薄膜中低原子序数材料特性的方法.由于低原子序数材料的光学常数与Si基板材料的光学常数非常接近,用X射线反射法确定镀制在Si基板上的低原子序数材料膜层结构的变化十分困难,因此,提出了在镀制低...
- 徐壵陈玲燕王占山徐敬张众王洪昌朱京涛王风丽王蓓秦树基
- 关键词：X射线衍射仪
- 文献传递
- 类镍钽软X射线激光用多层膜反射镜的研制被引量：3
- 2006年
- 设计并制备了工作波长为4.48 nm类镍钽软X射线激光用多层膜反射镜。选择C r/C、C r/Sc为多层膜材料对,模拟了多层膜非理想界面对多层膜反射率的影响。采用直流磁控溅射技术在超光滑硅基片上制备了C r/C、C r/Sc多层膜。利用X射线衍射仪测量了多层膜结构,在德国Bessy II同步辐射上测量了多层膜的反射率,C r/C,C r/Sc多层膜峰值反射率分别为7.50%,6.12%。
- 朱京涛王蓓徐垚张众王风丽王洪昌王占山陈玲燕
- 关键词：X光激光多层膜磁控溅射
