侯志武
- 作品数：7 被引量：9H指数：2
- 供职机构：大连理工大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：一般工业技术自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 压电叠堆驱动器的封装固定结构器
- 本发明压电叠堆驱动器的封装固定结构器，属于精密机械与仪器技术领域，涉及纳米驱动和精密定位方面。压电叠堆驱动器的封装固定结构器由封装结构主体、预紧螺母与压电叠堆驱动器组成。封装结构主体中，固定平板与两翼的形状成“∏”形，压...
- 褚金奎张段芹侯志武齐东周王晓东
- 文献传递
- 一种片外驱动微拉伸测量技术研究被引量：1
- 2009年
- 针对微尺度下构件的力学性能测量问题,搭建一种片外驱动微拉伸测试装置。该测试装置具有高精度的力载荷与位移检测能力,精度分别达毫牛级和亚微米级;可在线标定装置的刚度系数,利用弹簧串联模型获取试样的拉伸变形。在微构件轴向对准、夹持方面采用凹凸台载物片与松香-乙醇溶液粘合的方式,有效提高了微拉伸测试技术的精度、可靠性与重复性。利用该装置可测量微构件的弹性模量、断裂强度等力学性能。用该装置测量了单晶硅梁在〈110〉晶向上的弹性模量,并分析了装置的测量误差。
- 张段芹褚金奎侯志武王立鼎
- 关键词：弹性模量单晶硅
- 基于感应耦合等离子刻蚀技术的三维微拉伸梁制作工艺
- 2010年
- 根据感应耦合等离子(Inductively coupled plasma,ICP)刻蚀的机理,针对热氧化硅薄膜微拉伸梁的结构特点,研究ICP刻蚀制作3D微拉伸梁结构的工艺并解决其中的难点问题。介绍ICP刻蚀工艺参数对刻蚀质量的影响,包括存在的微负载效应和深宽比效应。详细介绍热氧化硅薄膜微拉伸梁的制作,其关键步骤是双掩膜两次ICP刻蚀形成阶梯状窗口结构,并在硅衬底表面形成释放了的热氧化硅薄膜梁。利用ICP刻蚀对单晶硅的高选择性,此制作工艺适用于各种薄膜的微拉伸梁制作。
- 张段芹褚金奎侯志武王立鼎
- 微构件拉伸测试系统设计与实现
- 随着MEMS的发展，微构件材料力学性能研究越来越受到国内外研究人员的重视，但是目前测试所得微构件材料的力学性能参数分散性很大，甚至连最基础的弹性模量都没有一个一致公认的结果。在进行MEMS结构设计时，由于缺乏有关微构件材...
- 侯志武
- 关键词：微构件测试系统
- 文献传递
- 压电叠堆驱动器的封装固定结构器
- 本发明压电叠堆驱动器的封装固定结构器，属于精密机械与仪器技术领域，涉及纳米驱动和精密定位方面。压电叠堆驱动器的封装固定结构器由封装结构主体、预紧螺母与压电叠堆驱动器组成。封装结构主体中，固定平板与两翼的形状成“∏”形，压...
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- 文献传递
- 微构件力学性能片外拉伸测试实验台
- 一种微构件力学性能片外拉伸测试实验台，属于微机电系统中的微构件力学性能测试领域。它由压电驱动单元、微力检测单元、位移检测单元、试样安装调整单元、图像监控采集单元及底座组成。压电驱动单元由内装压电陶瓷致动器的封装结构及支架...
- 褚金奎张段芹侯志武关乐王立鼎
- 文献传递
- 基于ActiveX控件的图象采集系统被引量：6
- 2008年
- 传统的采集卡在LabVIEW中使用一般是通过调用动态链接库的方法实现数据和图像的采集。但一些现成的动态函数库由于接口参数类型与LabVIEW不同而不能使用,而采用ActiveX控件方法,则没有上述问题。本文以图像采集卡为例,在LabVIEW中采用了调用ActiveX控件的方法,方便快捷地实现了对图像的同步采集。
- 侯志武褚金奎张段芹
- 关键词：LABVIEWACTIVEX控件图像采集
