齐东周
- 作品数：6 被引量：10H指数：3
- 供职机构：大连理工大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术一般工业技术更多>>
- 压电叠堆驱动器的封装固定结构器
- 本发明压电叠堆驱动器的封装固定结构器，属于精密机械与仪器技术领域，涉及纳米驱动和精密定位方面。压电叠堆驱动器的封装固定结构器由封装结构主体、预紧螺母与压电叠堆驱动器组成。封装结构主体中，固定平板与两翼的形状成“∏”形，压...
- 褚金奎张段芹侯志武齐东周王晓东
- 文献传递
- 基于降阶宏模型的MEMS系统级仿真平台研究
- 随着MEMS产业从单个的MEMS器件向MEMS系统的转移以及集成制造工艺及测试方法的深入研究,要求MEMS CAD能够对MEMS整体行为进行快速建模和仿真分析,而结构化设计思想的形成则使MEMS的设计技术得到了长足的发展...
- 齐东周
- 关键词：微机电系统宏模型KRYLOV子空间
- 文献传递
- 基于二阶Krylov子空间投影法建立MEMS宏模型被引量：4
- 2008年
- 利用宏模型对MEMS系统进行系统级仿真是求解MEMS耦合问题的有效方法。对大规模系统方程通过矩阵子空间投影实现自由度缩聚来建立宏模型的方法得到了广泛应用。常用的Krylov子空间法只能对状态空间描述的一阶系统进行降阶处理。本文介绍了二阶Krylov子空间理论,运用Arnold i算法直接对大规模二阶系统进行自由度缩聚来生成宏模型。将此方法与有限元数值分析结合对电热驱动微夹钳进行了宏建模。对电热微夹钳宏模型的仿真结果表明此方法建立的宏模型可以准确反应系统的动态行为,满足精度要求,同时极大地降低了计算复杂度,提高了计算速度。
- 关乐褚金奎齐东周王晓东
- 关键词：宏模型
- 面向MEMS系统级仿真的宏模型研究被引量：7
- 2009年
- 典型微机电系统由受多能量域约束的功能器件与集成电路信号处理元件构成,具有多物理场耦合的特点。利用宏模型进行快速的系统级仿真分析是求解耦合MEMS静、动态行为的有效方法。对目前建立MEMS器件宏模型的方法做了系统总结,重点介绍了基于伽辽金思想的基函数叠加和基于有限元方程的矩阵子空间投影等数值宏建模方法,比较了各种方法的优缺点并给出了不同方法的适用条件和选择原则,讨论了目前系统级仿真面临的主要难点并提出了未来宏建模方法的发展方向。
- 关乐褚金奎齐东周王晓东王立鼎
- 关键词：微机电系统
- 压电叠堆驱动器的封装固定结构器
- 本发明压电叠堆驱动器的封装固定结构器，属于精密机械与仪器技术领域，涉及纳米驱动和精密定位方面。压电叠堆驱动器的封装固定结构器由封装结构主体、预紧螺母与压电叠堆驱动器组成。封装结构主体中，固定平板与两翼的形状成“∏”形，压...
- 褚金奎张段芹侯志武齐东周王晓东
- 文献传递
- MEMS降阶宏模型仿真平台研究被引量：4
- 2009年
- 随着MEMS系统级设计成为研究的热点,MEMS系统级CAD的开发日益重要。论文介绍了一种基于降阶宏模型MEMS系统级仿真平台,通过有限元方法提取MEMS器件几何物理数据,建立MEMS器件有限元模型,利用Krylov子空间算法缩聚自由度建立宏模型,通过系统级仿真平台对此进行系统级仿真。整个流程通过VC++编译器调用ANSYS、嵌入封装的算法动态链接库、集成SIMULINK系统仿真器完成。并用双端固支梁实例对所有模块加以验证,仿真结果准确,计算效率较高。
- 齐东周褚金奎关乐
- 关键词：系统级仿真有限元KRYLOV子空间
