张兆华
- 作品数：52 被引量：86H指数：6
- 供职机构：清华大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划北京市科委项目北京市科委基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程电子电信交通运输工程更多>>
- 一种SAW压力传感器及其传感器部分的制作方法
- 本发明涉及一种SAW压力传感器，其特征在于：它包括传感器和无线读出电路两个部分，传感器包括一采用硅材料制成的衬底，将衬底的背面中间减薄成膜结构，膜结构为衬底的高形变区，其余部分为衬底的固定端；衬底的正面覆盖有压电材料薄膜...
- 张兆华王肖沐刘理天
- 文献传递
- 压阻式压力传感器零点输出及其温漂研究被引量：3
- 2007年
- 零点输出及零点温漂是传感器制造中的重要指标。结合设计制作的压阻式压力传感器重点分析了零点输出的产生机理,并对其接头和布线失配、复合层结构造成的应力分布、光刻随机误差造成的电阻失配及其他效应进行了量的分析。同时分析了它们对零点温漂的影响。最后,给出了一种整体设计流程来控制零点输出与提高成品率。
- 许东华林惠旺张兆华谭智敏刘理天
- 关键词：压阻式压力传感器
- 基于集成压力传感器的无源胎压监控系统研究被引量：1
- 2007年
- 汽车轮胎压力监测系统(TPMS),主要用于在汽车行驶时实时地对轮胎气压进行自动监测,对轮胎漏气和低气压进行报警,以保障行车安全,是当前汽车电子研究的一个热点。汽车轮胎的压力与温度是密切相关的,需要同时监控压力和温度信息。设计制作了一种压力温度集成传感器,可以同时监控汽车轮胎压力和温度的变化。基于这种集成压力传感器,设计了一种无源胎压监控系统。
- 张兆华陈磊李坤林惠旺刘理天乌力吉任天令
- 关键词：汽车电子胎压监控系统压力传感器
- SOI晶圆键合技术用于绝对压力传感器的制作
- 自从Nova Sensor将硅-硅键合技术引入到压力传感器的制作工艺后，键合工艺对简化压力传感器的制作工艺过程以及减小压力传感器芯片的面积发挥了巨大作用。本文对两片普通硅圆片键合的压力传感器和SOI晶圆片与普通硅圆片进行...
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- 环振式数字加速度传感器
- 环振式数字加速度传感器属于加速度传感器制造领域，它是一种由做在硅梁或者硅膜上的存在由应力引起频率差别的两个环行振荡器形成的加速度敏感元件、混频器和滤波器依次连接而成的数字加速度传感器；所述的两个环行振荡器分布在硅梁或者硅...
- 刘理天张兆华岳瑞峰
- 文献传递
- 混频式环振压力传感器
- 为了解决传感器的数字化,提出了一种新的环振式数字压力传感器,它采用做在硅梁上的MOS环形振荡器作为敏感元件,采用混频器作为片内的信号处理单元,实现环形振荡器的频率相减。该传感器的输出量为频率信号,具有准数字输出、灵敏度高...
- 张兆华岳瑞峰刘理天
- 关键词：环形振荡器混频器
- 文献传递
- 混频式环振压力传感器
- 为了解决传感器的数字化,提出了一种新的环振式数字压力传感器,它采用做在硅梁上的MOS环形振荡器作为敏感元件,采用混频器作为片内的信号处理单元,实现环形振荡器的频率相减.该传感器的输出量为频率信号,具有准数字输出、灵敏度高...
- 张兆华岳瑞峰刘理天
- 关键词：压力传感器环形振荡器混频器
- 文献传递
- 新型硅基MOS力敏传感器的设计与制作
- 2008年
- 随着汽车、航天、生物等领域对力敏传感器的越来越巨大的市场需求,力敏传感器再次成为研究的热点。压阻式力敏传感器由于其性能稳定、制作工艺简单、稳定性好且价格低成为商家的首选。研究表明,在应力作用下,MOS晶体管的源漏电流的大小会随着沟道区所受应力大小而变化,具有类似压敏电阻的力敏效应。基于MOS晶体管的这种力敏效应,采用晶体管和电阻构成压敏电桥,提出了一种新型的硅基MOS力敏传感器。该器件在与传统的压阻式力敏传感器相比,一方面继承了其制作工艺简单、稳定性和线性度好等优点,另一方面大幅提高了传感器灵敏度并降低了功耗,使得器件性能得到整体提高。
- 张艳红刘理天张兆华林惠旺
- 关键词：MOS晶体管灵敏度功耗
- 以混频器作为信号处理单元的环振式压力传感器
- 2003年
- 提出了一种新的环振式数字压力传感器,它采用做在硅梁上的MOS环形振荡器作为敏感元件,两个反方向变化的环形振荡器的输出信号通过集成在片内的混频器实现频率相减,分析了环形振荡器的频率特性,以及环形振荡器的谐振频率和压力的关系,分析并设计了压力传感器的环形振荡器电路、混频器电路、物理结构以及制作工艺,并制作了样品,其灵敏度为1 52kHz/kPa。
- 张兆华岳瑞峰刘理天
- 关键词：环形振荡器混频器
- 汽车轮胎压力监控传感器研究
- 轮胎压力监视系统TPMS是一种重要的汽车安全用电子信息系统,它能够在汽车行驶过程中对轮胎气压以及温度进行自动监测,在轮胎漏气或者轮胎气压值过低过高时进行报警,提示驾驶人员及早采取必要的措施,以保障行车安全.分析了轮胎压力...
- 张兆华岳瑞峰谭智敏刘理天
- 关键词：压力传感器汽车电子轮胎压力监控系统微机电系统
- 文献传递
