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孙晓毅

作品数：5 被引量：8H指数：2
供职机构：清华大学航天航空学院工程力学系更多>>
发文基金：国家自然科学基金香港特区政府研究资助局资助项目国家重点实验室开放基金更多>>
相关领域：动力工程及工程热物理电子电信航空宇航科学技术理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇会议论文
  • 2篇期刊文章

领域

  • 2篇动力工程及工...
  • 2篇电子电信
  • 1篇航空宇航科学...
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 3篇热导率
  • 2篇热扩散率
  • 1篇氮化
  • 1篇氮化铝
  • 1篇多晶
  • 1篇多晶硅
  • 1篇多晶硅薄膜
  • 1篇热测试
  • 1篇热成像
  • 1篇热分析
  • 1篇热控
  • 1篇热控材料
  • 1篇微电子
  • 1篇微电子机械
  • 1篇微电子机械系...
  • 1篇微热板
  • 1篇空间站
  • 1篇硅薄膜
  • 1篇红外
  • 1篇红外热成像

机构

  • 5篇清华大学
  • 1篇大连理工大学
  • 1篇北京大学
  • 1篇香港科技大学

作者

  • 5篇孙晓毅
  • 4篇顾毓沁
  • 3篇朱德忠
  • 1篇陈皓明
  • 1篇唐祯安
  • 1篇张荣海
  • 1篇杨春伟
  • 1篇谢志刚
  • 1篇阎桂珍

传媒

  • 2篇工程热物理学...
  • 1篇第五届空间热...
  • 1篇中国工程热物...
  • 1篇中国电子学会...

年份

  • 2篇2001
  • 2篇2000
  • 1篇1999
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
用扫描热显微镜测量微小区域热导性质的探讨被引量：6
2000年
随着高新技术的迅速发展，许多研究对象已进入亚微米和纳米范畴。在对这些对象的热性能和热可靠性的研究中，亚微米尺度的热物性测量已成为关键技术之一。例如：在微电子、微电子机械系统（MEMS）领域中，已使用纳米量级厚度的材质和做出纳米尺度线宽的器件。在材料科学、生物学、医学和化学等许多领域，高空间分辨率下的热物性测量也具有重要意义。本文经过实验；初步用扫描热显微镜判定了微小区域材料热导性质的差别，并从理论上探讨了用该仪器测量微小区域热导性质的方法原理。
顾毓沁晋宏师孙晓毅陈皓明谢志刚
关键词：热导率
新型电子陶瓷基板材料氮化铝的热导性质研究
测量研究了氮化铝(A1N)的热扩散率,进而计算出热导率,比较了各种低温烧结条件下制备的A1N的热导率的差异,指出了制备工艺对A1N的热导率的影响以及材料微细结构和热导率的对应关系,并给出了一些实验结果。
孙晓毅顾毓沁周和平刘耀诚
关键词：热扩散率热导率
文献传递
微热板的热测试和热分析被引量：3
2001年
随着近代高新技术的发展，要求各种探测器微型化。微加工技术的进步，使得微器件制造有了可能，于是微传感器就应运而生了。微热板作为一种微型加热器在微传感器中有着极为重要的作用。它的温度分布和热特性直接影响微传感器的工作性能，为此微热板的热测试和热分析成为微传感器的研制、使用和评价所必不可少的工作。 本文件对研制中的气体传感器的微热板，用红外热成像技术进行热测试和分析，获得气体传感器微热板的微小区域的温度分布，为传感器的研制提供了可靠的依据。
顾毓沁张荣海朱德忠孙晓毅阎桂珍唐祯安Philip C.H. ChanJohnny K.O. SinI-Ming Shing
关键词：微热板传感器红外热成像热测试热分析
空间站后选用热控薄膜涂层表面方向热扩散率的测量研究
热扩散率(包括表面方向和垂直表面方向的热扩散率)是航天器热控薄膜涂层的基本热物理性质,是热控设计的基本参数.本文介绍了用于薄膜涂层表面方向热扩散率测试的方法—周期热流法的原理和试验技术.对于多种可能用于空间站的热控薄涂层...
顾毓沁孙晓毅杨春伟朱德忠
关键词：热扩散率热控材料空间站
文献传递
用MEMS技术加工模块测量多晶硅薄膜的导热性质
在微电子和微电子机械系统(MEMS)领域中，多晶硅应用得十分广泛，它的热性能对整个器件的性能起着关键的作用。该文利用直接通电法的原理，结合红外热测试技术，对用MEMS加工技术制得的热测试模块进行了实验研究，得到了微米厚度...
顾毓沁孙晓毅朱德忠
关键词：微电子机械系统热导率多晶硅薄膜
文献传递
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