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文献类型

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领域

  • 4篇自动化与计算...

主题

  • 7篇感器
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  • 2篇传感器芯片
  • 2篇传感器研制

机构

  • 7篇沈阳仪表科学...

作者

  • 7篇李长春
  • 4篇金琦
  • 4篇杨勇
  • 3篇祝永峰
  • 3篇唐慧
  • 3篇陈信琦
  • 2篇刘宏伟
  • 2篇郭丽娟
  • 2篇孙克

传媒

  • 2篇微纳电子技术

年份

  • 1篇2013
  • 6篇2007
7 条 记 录,以下是 1-7
排序方式:
复合压力传感器研制
为满足行业配套组件的发展需求,研制了一种新型复合压力传感器。该传感器采用分体结构设计,将压力信号转换成深度信号,利用精密的信号处理电路,将微弱的深度信号进行放大、比较等处理,可同时输出连续量电信号和阶跃量信号。该传感器具...
杨勇金琦李长春郭丽娟
关键词:传感器耐腐蚀
文献传递
小型共面接口压差传感器被引量:1
2007年
小型共面接口压差传感器是一种压力传感器,该传感器主要用于测量和控制两个油路压力差。该产品采用SOI硅晶圆材料制作硅压阻式压力敏感芯片,敏感元件的工作温度范围为-55-300℃,通过双芯体结构将油路的压力差信号转换成电信号,再利用精密的信号处理电路,将微弱的电信号进行放大处理,实现标准的模拟信号输出。
金琦李长春杨勇刘宏伟孙克
关键词:传感器SOI压差信号处理
高温压力传感器
高温压力传感器,包括SIMOX/SDB结构硅单晶片和封装结构,其特征是双面抛光的硅单晶片的正面加工形成P型电阻桥、以及与电阻桥相连的耐高温复合电极,在硅单晶片的背面与正面电桥相对应的区域加工出规定量程所要求厚度的硅敏感膜...
唐慧陈信琦祝永峰李长春
文献传递
复合压力传感器研制
2007年
为满足行业配套组件的发展需求,研制了一种新型复合压力传感器。该传感器采用分体结构设计,将压力信号转换成深度信号,利用精密的信号处理电路,将微弱的深度信号进行放大、比较等处理,可同时输出连续量电信号和阶跃量信号。该传感器具有精度、过载倍数和可靠性高,温度系数小,耐腐蚀等特点,整体性能均高于单一功能类的产品。
杨勇金琦李长春郭丽娟
关键词:传感器耐腐蚀
小型共面接口压差传感器
小型共面接口压差传感器是一种压力传感器,该传感器主要用于测量和控制两个油路压力差。该产品采用 SOI 硅晶圆材料制作硅压阻式压力敏感芯片,敏感元件的工作温度范围为-55~ 300℃,通过双芯体结构将油路的压力差信号转换成...
金琦李长春杨勇刘宏伟孙克
关键词:传感器SOI压差信号处理
文献传递
差压/绝压/温度三参数单片集成传感器芯片
一种差压/绝压/温度三参数单片集成传感器芯片,芯片结构包括敏感电阻、硅膜片和玻璃基底,在芯片中间有2个相对独立的差压敏感单元Ⅰ和绝压敏感单元Ⅱ,在周边的支撑硅基上有温度敏感单元Ⅲ,其特征在于在同一芯片上集成差压、绝压、温...
唐慧陈信琦李长春祝永峰
文献传递
差压/绝压/温度三参数单片集成传感器芯片及其制备方法
一种差压/绝压/温度三参数单片集成传感器芯片,芯片结构包括敏感电阻、硅膜片和玻璃基底,其特征在于在芯片中间形成2个相对独立的差压敏感单元和绝压敏感单元:1个硅电阻为温度敏感电阻,分布在膜正面周边的支撑硅基上,与电极引线和...
唐慧陈信琦李长春祝永峰
文献传递
共1页<1>
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