王华清
- 作品数：13 被引量：32H指数：3
- 供职机构：北京理工大学更多>>
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- 相关领域：理学一般工业技术电子电信机械工程更多>>
- 不同制备方法对薄膜性能的影响被引量：1
- 2008年
- 采用离子束反应溅射、等离子体辅助、射频离子源辅助、Kaufman离子源辅助比较不同制备方法对薄膜性能的影响.镀制了Ta2O5、SiO2两种材料的单层膜及由它们组成的多层膜.结果表明:离子束反应溅射能够制备出质量最好的激光膜,抗激光损伤阈值达到17.39 J.cm-2,等离子体辅助和射频离子源辅助制备的膜层结构致密、散射比和吸收比小,Kaufman离子辅助制备的膜层各项性能指标都相对较低.
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- 关键词：散射应力
- 一种基于哈特曼传感器的薄膜应力测量装置
- 本发明涉及一种基于哈特曼传感器的薄膜应力测量装置，属于物理领域里的光学分领域。该装置包括自准直成像系统和哈特曼传感器；自准直成像系统由分光棱镜、物镜、中继透镜构成。分光棱镜为消偏振分光直角棱镜，棱镜的；物镜和中继透镜均为...
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- 文献传递
- 基片材料与沉积参数对薄膜应力的影响被引量：13
- 2010年
- 采用哈特曼-夏克传感器的薄膜应力在线测量仪测量了利用离子辅助电子束蒸发的Si O2,Ti O2,Ta2O5,Al2O3与ITO薄膜在不同厚度时的应力值,并深入研究了基片材料与沉积参数对Si O2,Ti O2薄膜应力的影响。研究结果表明,在成膜的初始阶段,薄膜应力与薄膜厚度基本上呈线性函数,当达到一定厚度时薄膜应力基本趋于一个定值;薄膜与基片的热失配将引起薄膜热应力,通过选择合适的基片材料可以使其降低;对Ti O2薄膜而言,当基片温度低于150℃时,热应力起主要作用,当基片温度高于150℃时,薄膜致密引起的压应力占主导地位,但Si O2薄膜其热应力始终占主导地位;当真空室压强低于1.7×10-2Pa时,Si O2薄膜的张应力主要是由离子辅助溅射效应而引起,当真空室压强高于1.7×10-2Pa时,Si O2薄膜的张应力随着压强的增大而增大,但折射率减小。
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- 关键词：薄膜光学薄膜应力离子辅助沉积
- 基于哈特曼原理的薄膜应力在线测量系统被引量：1
- 2009年
- 介绍了一种基于哈特曼传感器的薄膜应力在线检测系统。哈特曼透镜阵列将待测量表面划分成若干小区域,通过测量每个小区域成像光斑的相对位置变化来获得整个测量表面的变形量,将测得的变形量代入到薄膜应力与基板表面变形的关系式中,求得薄膜应力。通过对影响光斑质心探测精度的各种因素进行分析,提出使用加阈值的一阶矩法,精确计算光斑质心,结合高灵敏度的CMOS探测器,使系统的面形测量精度达到15.7nm,应力测量灵敏度优于3.3MPa,实现了薄膜应力测量的高灵敏度与在线测量的统一。最后通过对TiO2,SiO2单层膜的在线测量,验证了系统的灵敏度与稳定性,能够完全满足薄膜应力分析的需要。
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- 关键词：薄膜应力哈特曼传感器
- 一种薄膜应力在线测试系统
- 本发明涉及一种薄膜应力在线测试系统，属于物理领域里的光学分领域。该系统包括镀膜机、应力仪、晶控仪和计算机；在所测量样品镀膜开始前，先将计算机的数据采集与处理模块初始化并设定阈值。当外部高亮度光源发出的光从应力仪的光纤入射...
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- 文献传递
- 一种旋转监控片的光学薄膜自动监控装置
- 本发明公开了一种旋转监控片的光学薄膜自动监控系统，涉及一种薄膜产品制备过程中的监控设备。本发明包括：光源发射系统、驱动电机、工件架、晶控仪探头、监控片旋转机构、信号接收系统、信号转换系统、晶控仪、计算机、真空室和监控片。...
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- 文献传递
- 一种旋转监控片的光学薄膜自动监控装置
- 本发明公开了一种旋转监控片的光学薄膜自动监控装置，涉及一种薄膜产品制备过程中的监控设备。本发明包括：光源发射系统、驱动电机、工件架、晶控仪探头、监控片旋转机构、信号接收系统、信号转换系统、晶控仪、计算机、真空室和监控片。...
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- 文献传递
- 光学薄膜及其应用被引量：10
- 2007年
- 从光学薄膜干涉原理出发,说明了光学薄膜的工作原理。文中对减反膜、高反膜、分光膜、滤光膜等几种典型的膜系加以说明。文章最后对光学薄膜的制备加以简要介绍。
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- 关键词：光学薄膜
- 离子辅助反应蒸发技术室温制备ITO薄膜被引量：6
- 2007年
- 室温下利用离子辅助反应蒸发法在玻璃衬底上制备高透射比、低电阻率的ITO透明导电薄膜.实验结果表明离子辅助蒸发可以有效地降低制备温度,提高薄膜的光电特性,薄膜具有明显的(222)择优取向,晶体粒子尺寸约为21 nm;离子源屏压、通氧量及沉积速率是影响薄膜光电特性的主要因素.室温制备的ITO薄膜电阻率为2.4×10-3Ω.cm,可见光平均透射比大于82%.
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- 关键词：室温ITO薄膜
- 金属/介质透明电极优化设计
- 2006年
- 结合光子晶体和光学多层膜理论对金属/介质一维光子晶体(MD-PBG)透明电极进行优化设计,得到了在可见区有很高的透过率,而在红外波段有非常高的反射率的设计结果,并用真空热蒸镀的方法制造了与理论设计相符合的具有良好光学和电学性能的透明电极。
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- 关键词：光子晶体透明电极
