您的位置： 专家智库 > >

王宏培

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：复旦大学更多>>
相关领域：电子电信理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇会议论文
  • 1篇学位论文

领域

  • 3篇电子电信
  • 1篇理学

主题

  • 2篇电镜
  • 2篇射电
  • 2篇透射电镜
  • 2篇半导体
  • 2篇半导体制造
  • 2篇TEM
  • 1篇电路
  • 1篇电子显微分析
  • 1篇扫描电子显微...
  • 1篇透射电子显微...
  • 1篇显微分析
  • 1篇集成电路
  • 1篇硅材料
  • 1篇硅
  • 1篇超大规模集成
  • 1篇超大规模集成...
  • 1篇大规模集成电...

机构

  • 3篇复旦大学

作者

  • 3篇王宏培
  • 2篇朱烨
  • 2篇陈一
  • 2篇胡岗

传媒

  • 2篇上海市有色金...

年份

  • 1篇2005
  • 2篇2004
共 3 条 记 录，以下是 1-3
全选 清除 导出
排序方式：
硅晶格缺陷的透射电镜(TEM)分析
硅的晶格缺陷与硅材料的性能密切相关.在提高硅材料的质量的实践中,人们不断积累了大量关于硅晶格缺陷的理论知识与实践经验.硅晶格缺陷的具体结构是原子尺度的.开展硅晶格缺陷的分析与研究,首先碰到的是显微技术.本文介绍了硅中各种...
陈一朱烨王宏培胡岗
关键词：硅材料透射电镜
文献传递
提高TEM测量结果的精度
针对半导体制造中的TEM检测,本文就仪器的操作及仪器放大倍率的标定这两个方面讨论了如何提高TEM测量结果的精度问题.
陈一朱烨王宏培胡岗
关键词：半导体制造透射电镜
文献传递
半导体制造中的电子显微分析
为了解决硅材料制备及超大规模集成电路发展工艺步骤中所产生的问题，电子显微分析技术得到了大量的应用并取得了很好的效果．本文介绍扫描电子显微镜(SEM)，透射电子显微镜(TEM)的基本原理及使用方面的一些技巧。 本...
王宏培
关键词：超大规模集成电路扫描电子显微镜透射电子显微镜
文献传递
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0