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胡维央
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2
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供职机构:
中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
姚文兰
中国科学院上海冶金研究所上海微...
王惠民
中国科学院上海冶金研究所上海微...
程宗权
中国科学院上海冶金研究所上海微...
郭康瑾
中国科学院上海冶金研究所上海微...
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1篇
1992
1篇
1986
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InGaAs PIN光电探测器的结构设计和性能比较
胡维央
程宗权
王惠民
关键词:
光电探测器
性能分析
半导体器件
Pt-GaAs肖特基势垒雪崩光电探测器的研究
1992年
Pt-GaAs肖特基势垒雪崩光电探测器已研制成功。器件制作在施主浓度为0.5~3×10^(15)cm^(-3)、厚度约为20μm的GaAs外延层上。为防止边缘击穿,用能量为500keV、剂量为1×10^(15)cm^(-2)的质子轰击,在直径为150μm的光敏区外形成高阻保护区。半透明的Pt肖特基势垒膜用特殊的蒸发法形成。器件的峰值响应波长随偏压的改变可以从8600(?)移动到8835(?),截止波长可延伸到9700(?),观察到明显的Franz-Keldysh效应。器件倍增可达100以上;暗电流仅几纳安;过剩噪声系数为7;上升、下降时间短于1ns。这种器件可与FET实现平面集成。
郭康瑾
胡维央
姚文兰
陈莲勇
关键词:
雪崩
光电探测器
GAAS
肖特基势垒
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