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胡金春

作品数：212 被引量：144H指数：7
供职机构：清华大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术文化科学电子电信机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 181篇专利
  • 28篇期刊文章
  • 1篇学位论文
  • 1篇会议论文
  • 1篇科技成果

领域

  • 24篇自动化与计算...
  • 17篇文化科学
  • 16篇电子电信
  • 9篇机械工程
  • 6篇兵器科学与技...
  • 4篇航空宇航科学...
  • 3篇电气工程
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇交通运输工程
  • 1篇军事
  • 1篇理学

主题

  • 62篇光刻
  • 61篇电机
  • 56篇光刻机
  • 35篇感器
  • 35篇传感
  • 35篇传感器
  • 34篇六自由度
  • 28篇平面电机
  • 25篇激光
  • 23篇直线电机
  • 22篇工位
  • 22篇干涉仪
  • 20篇轴承
  • 20篇激光干涉
  • 19篇信号
  • 19篇掩模
  • 17篇永磁
  • 16篇光栅
  • 14篇激光干涉仪
  • 14篇光干涉仪

机构

  • 205篇清华大学
  • 8篇南京理工大学
  • 3篇北京华卓精科...
  • 3篇北京华卓精科...
  • 2篇南京航空航天...
  • 1篇江苏大学
  • 1篇上海交通大学
  • 1篇中国石油天然...
  • 1篇重庆大学
  • 1篇国家自然科学...
  • 1篇中国水利水电...
  • 1篇中国人民解放...

作者

  • 212篇胡金春
  • 184篇朱煜
  • 176篇张鸣
  • 162篇尹文生
  • 152篇徐登峰
  • 141篇杨开明
  • 90篇穆海华
  • 73篇汪劲松
  • 58篇成荣
  • 54篇段广洪
  • 50篇刘召
  • 46篇田丽
  • 33篇李鑫
  • 32篇胡楚雄
  • 26篇王磊杰
  • 25篇张利
  • 23篇刘昊
  • 21篇余东东
  • 21篇闵伟
  • 20篇许岩

传媒

  • 5篇清华大学学报...
  • 3篇火力与指挥控...
  • 3篇机械工程学报
  • 3篇兵工学报
  • 1篇红外与激光工...
  • 1篇振动．测试与...
  • 1篇机电工程
  • 1篇光学学报
  • 1篇电工技术学报
  • 1篇软件学报
  • 1篇系统仿真学报
  • 1篇中国基础科学
  • 1篇四川大学学报...
  • 1篇航天控制
  • 1篇油气田地面工...
  • 1篇制导与引信
  • 1篇科学技术与工...
  • 1篇控制工程

年份

  • 5篇2023
  • 3篇2022
  • 2篇2021
  • 3篇2020
  • 8篇2019
  • 8篇2018
  • 4篇2017
  • 8篇2016
  • 17篇2015
  • 23篇2014
  • 26篇2013
  • 30篇2012
  • 22篇2011
  • 19篇2010
  • 13篇2009
  • 7篇2008
  • 3篇2007
  • 1篇2006
  • 1篇2005
  • 1篇2004
共 212 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种电机动子位移测量方法
一种电机动子位移测量方法，该方法是在动子上沿动子运动方向布置两个磁感应强度传感器，两个传感器相距磁场极距的四分之一，将两者的采样信号分别通过信号处理电路量化并进行幅值归一化处理后作n次倍频运算，再进行过零点检测，生成1组...
胡金春朱煜尹文生陈龙敏杨开明张鸣徐登峰穆海华胡楚雄刘召
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一种六自由度微动工作台
一种六自由度微动工作台，含有实现微动工作台在水平面内X方向、Y方向和绕Z轴旋转的第一种电磁力驱动模块和实现微动工作台沿Z方向、绕X轴旋转和绕Y轴旋转的第二种电磁力驱动模块；第一种电磁力驱动模块和第二种电磁力驱动模块均采用...
张鸣朱煜田丽张利秦慧超王平安刘召杨开明徐登峰胡金春尹文生
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基于动态响应时间测量法的鉴相系统及方法
本发明提供一种基于动态响应时间测量法的鉴相系统及方法，其中的系统包括前端信号预处理模块以及与前端信号预处理模块连接的相位测量模块；其中，前端信号预处理模块包括相连接的光电探测器和方波整形单元，光电探测器用于接收待检测信号...
胡金春朱煜华国杰张鸣王磊杰尹文生
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一种带有浸液回收装置的光刻机硅片台双台交换系统
一种带有浸液回收装置的光刻机双台交换系统，该系统含有基台，两个硅片台，光学透镜系统、多轴激光干涉仪和激光干涉仪反射镜。硅片台带有浸液回收装置，硅片台上表面的一侧设有一块浸液回收板，浸液回收板的上表面与硅片台上表面共面，浸...
张鸣朱煜成荣徐登峰刘召王婧田丽杨开明胡金春尹文生穆海华刘昊胡楚雄
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平面光栅六自由度位移测量系统中误差分离与补偿方法
平面光栅六自由度位移测量系统中误差分离与补偿方法，所述方法是在无需借助其他位移传感器的情况下，利用附加读数头实现平面光栅六自由度位移测量系统中各参数与其标称值之间误差的分离与补偿。在原位移测量系统的基础上增加至少一个附加...
胡金春朱煜田畅张鸣尹文生成荣王磊杰韩如锦徐登峰
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基于磁敏传感器的指态感知手套
本发明提供一种基于磁敏传感器的指态感知手套，包括：手套本体、微矩形强磁铁、信号处理器以及多个磁敏传感器；手套本体的手指区域包括五个手指套筒和五组分别分布于五个手指套筒的指背关节处的柔性电线板；微矩形强磁铁沿手指套的指头方...
朱煜胡金春鄢博文庭瑞徐登峰
一种双台交换激光尺测量信号切换装置及方法
一种双台交换激光尺测量信号切换装置及方法，该双台包括一个基座及安装在基座上的两个工件台，每个工件台对应一个激光尺测量信号切换装置；每个切换装置包括两个激光尺，两个差分变单端模块，一个信号处理单元，一个切换模块，一个单端变...
朱煜张鸣杨开明成荣李鑫胡金春穆海华余东东尹文生蒋毅
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一种光刻机硅片台双台交换方法及系统
一种光刻机硅片台双台交换方法及系统，该系统含有基台、两个硅片台、两个X方向直线导轨、两个Y方向直线导轨、两个硅片台辅助驱动单元以及四个单自由度辅助驱动单元；所述系统还包括两个主驱动单元，Y方向导轨在主驱动单元驱动下可实现...
朱煜张鸣徐登峰汪劲松董立立杨开明尹文生胡金春许岩马竞田丽李玉洁王婧
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时间间隔测量方法、芯片及装置
本申请涉及一种时间间隔测量方法、芯片及装置。所述方法包括：获取测量同步时钟，并对测量同步时钟进行倍频处理，得到测量基准时钟和在线标定信号，根据在线标定信号，对延迟时钟信号进行n次锁存操作，得到多条拟合直线。之后在接收到测...
许钟子珩胡金春
一种串联驱动的平面电机结构及其推力解算方法
一种串联驱动的平面电机结构及其推力解算方法,涉及磁悬浮平面电机的结构设计。该平面电机包含线圈阵列和磁钢阵列,线圈阵列由若干个完全相同的线圈阵列单元组成，磁钢阵列由若干个完全相同的磁钢阵列单元组成；线圈阵列单元与磁钢阵列单...
张鸣朱煜袁丁杨开明成荣李鑫刘峰胡金春
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