董拴成
- 作品数：5 被引量：9H指数：2
- 供职机构：西北工业大学机电学院空天微纳系统教育部重点实验室更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：航空宇航科学技术电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 溅射-电镀微成型制造柔性热膜传感器阵列被引量：4
- 2011年
- 为了实现流场壁面剪应力等动态定点分布测量,提出了一种新的柔性热膜传感器阵列结构,并介绍了其制作工艺。旋涂并升温固化制备聚酰亚胺柔性薄膜衬底,在衬底上溅射沉积金属镍膜,并用剥离工艺成型热敏电阻元件阵列及其引线区底膜。然后在引线区底膜上电镀沉积铜膜,再剥离成型铜引线。通过电镀可以经济快速地获得较厚的引线铜膜,使得引线电阻远小于热敏元件阻值,有利于减小引线的热敏干扰。经热敏性能测试,其电阻温度系数达到3.6×10-3/℃以上,线性度优于0.7%,并且热敏响应速度极快;结合风洞试验验证了该传感器测量壁面剪应力的有效性,并且获得了较好的测量重复性。该传感器阵列结构简单,工艺成本和复杂度较低,提高了用于非平面应用时柔性热膜元件与引线间的连接可靠性,为高曲率表面的非破坏性动态流场参数测量提供了新手段。
- 马炳和傅博李建强邓进军董拴成
- 关键词：溅射电镀剪应力
- 一种柔性热敏薄膜电阻阵列的制作方法
- 本发明公开了一种柔性热敏薄膜电阻阵列的制作方法，属于微机电系统(MEMS)领域。该方法首先在硅片上沉积一层牺牲层；在其上旋涂PI预聚体，经热固化形成PI薄膜；然后旋涂光刻胶，光刻图形化后溅射所需的金属热敏薄膜层；采用剥离...
- 姜澄宇马炳和傅博董拴成
- 文献传递
- 一种柔性热敏薄膜电阻阵列的制作方法
- 本发明公开了一种柔性热敏薄膜电阻阵列的制作方法，属于微机电系统(MEMS)领域。该方法首先在硅片上沉积一层牺牲层；在其上旋涂PI预聚体，经热固化形成PI薄膜；然后旋涂光刻胶，光刻图形化后溅射所需的金属热敏薄膜层；采用剥离...
- 马炳和傅博董拴成
- 柔性热敏薄膜传感器阵列工艺研究被引量：2
- 2011年
- 分析了热敏薄膜传感器测量流场温度和壁面剪应力的原理,选择聚酰亚胺为衬底材料,金属镍为热敏材料,提出了一种电镀引线的柔性热敏薄膜传感器阵列结构及其制作工艺。经热敏性能测试,该柔性热敏薄膜传感器阵列结构简单,可贴附于高曲率复杂表面,实现非破坏动态流场参数测量。
- 傅博马炳和邓进军董拴成
- 关键词：电镀
- 聚酰亚胺微刻蚀加工工艺研究被引量：3
- 2012年
- 研究了RIE刻蚀聚酰亚胺的刻蚀速率、刻蚀表面粗糙度与不同加工工艺参数(包括射频功率、腔室压力、刻蚀气体成分等)之间的相互关系。刻蚀速率与射频功率、腔室压力都呈线性关系,与气体成分的关系是低SF6含量时呈线性,高SF6含量时出现饱和。刻蚀面的粗糙度几乎不受腔室压力的影响,而射频功率高于300 W和低SF6含量时粗糙度会急剧上升。采用腔室压力40 Pa、功率275 W、O2流量80 cm3/min、SF6流量20 cm3/min,通过RIE刻蚀获得了深度为39.5μm的微腔结构,为形成柔性基底空腔以及上悬结构等提供了技术基础。此外,对柔性基底固定技术进行了研究,提出了一种有效固定聚酰亚胺膜的新工艺方法。
- 董拴成苑伟政马炳和邓进军郝日鹏
- 关键词：酰亚胺等离子体刻蚀
