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董旭

作品数：13 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 12篇专利
  • 1篇会议论文

领域

  • 4篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 7篇探测器
  • 5篇红外
  • 5篇红外探测
  • 5篇红外探测器
  • 4篇光谱
  • 4篇红外光
  • 4篇红外光谱
  • 4篇红外光谱仪
  • 4篇半导体
  • 4篇衬底
  • 3篇晶格
  • 2篇灯管
  • 2篇形貌
  • 2篇衍射
  • 2篇增强型
  • 2篇阵列
  • 2篇阵列结构
  • 2篇酸溶液
  • 2篇退火
  • 2篇频谱

机构

  • 13篇中国科学院

作者

  • 13篇董旭
  • 13篇熊敏
  • 7篇张宝顺
  • 5篇赵迎春
  • 4篇周桃飞
  • 4篇时文华
  • 2篇邢利敏
  • 2篇张志强
  • 2篇崔志国
  • 2篇李华
  • 1篇赵宇
  • 1篇黄勇

年份

  • 1篇2023
  • 1篇2021
  • 1篇2020
  • 2篇2019
  • 2篇2017
  • 2篇2016
  • 2篇2015
  • 2篇2013
共 13 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
红外探测器的测量装置和测量方法
本发明公开一种红外探测器的测量装置和测量方法，该装置包括红外光谱仪，提供单色的红外光；低温装置，具有红外窗口，该红外窗口接收所述红外光；设于所述低温装置内的待测探测器和参考探测器；移动平台，带动所述红外光谱仪或待测探测器...
熊敏周桃飞邢利敏董旭张志强张宝顺
半导体微台面列阵的测量装置和方法
本发明提出一种半导体微台面列阵的测量装置和方法，该方法基于宽谱热光源照明干涉仪的光学测量装置与方法，结合光学相干层析技术与衍射度量技术的特点，可无损、快速的测量微台面列阵的表面形貌并准确提取微台面列阵的周期、横向尺寸与深...
熊敏赵迎春董旭时文华张宝顺
文献传递
增强型光电探测器衬底的制备方法、其产物及增强型III-V光电探测器
本发明揭示了增强型光电探测器衬底的制备方法、其产物及增强型III‑V光电探测器，本方法利用硅（001）衬底材料的各向异性特点，在硅（001）衬底上形成特定周期的倒三角凹槽，并填充III‑V材料种子层，得到增反结构，可以有...
董旭熊敏张宝顺
一种用于半导体快速退火的加热装置及控制方法
一种用于半导体快速退火的加热装置及控制方法，包括电源模块、整流滤波模块、IGBT模块、PWM信号驱动模块、加热灯管组和计算机控制系统；所述电源模块与所述整流滤波模块连接；其中，IGBT模块包含输入端口、控制端口和输出端口...
董旭崔志国熊敏李华
文献传递
制备硅基纳米图形阵列结构的方法
本发明提供了一种制备硅基纳米图形阵列结构的方法，所述方法包括：设置硅衬底；在硅衬底上沉积阻挡层，在阻挡层上沉积铝膜；利用第一酸溶液对铝膜进行一次阳极氧化处理，以将铝膜的远离硅衬底一侧的表面形成为第一纳米图形阵列结构；利用...
赵迎春熊敏董旭
文献传递
增强型光电探测器衬底的制备方法、其产物及增强型III-V光电探测器
本发明揭示了增强型光电探测器衬底的制备方法、其产物及增强型III‑V光电探测器，本方法利用硅（001）衬底材料的各向异性特点，在硅（001）衬底上形成特定周期的倒三角凹槽，并填充III‑V材料种子层，得到增反结构，可以有...
董旭熊敏张宝顺
文献传递
一种用于半导体快速退火的加热装置及控制方法
一种用于半导体快速退火的加热装置及控制方法，包括电源模块、整流滤波模块、IGBT模块、PWM信号驱动模块、加热灯管组和计算机控制系统；所述电源模块与所述整流滤波模块连接；其中，IGBT模块包含输入端口、控制端口和输出端口...
董旭崔志国熊敏李华
制备硅基纳米图形阵列结构的方法
本发明提供了一种制备硅基纳米图形阵列结构的方法，所述方法包括：设置硅衬底；在硅衬底上沉积阻挡层，在阻挡层上沉积铝膜；利用第一酸溶液对铝膜进行一次阳极氧化处理，以将铝膜的远离硅衬底一侧的表面形成为第一纳米图形阵列结构；利用...
赵迎春熊敏董旭
文献传递
InAs/GaSb二类超晶格红外探测器的MOCVD生长和制备
锑化物InAs/GaSb二类超晶格探测器是继碲镉汞红外探测器,量子阱红外探测器之后兴起的高性能制冷型红外探测器,具有暗电流小、俄歇复合率低、波长调节范围大等优点.目前国内外的InAs/GaSb二类超晶格探测器均用MBE生...
黄勇吴启花赵宇熊敏赵迎春董旭张宝顺
关键词：红外探测器气相外延生长晶格结构性能表征
半导体微台面列阵的测量装置和方法
本发明提出一种半导体微台面列阵的测量装置和方法，该方法基于宽谱热光源照明干涉仪的光学测量装置与方法，结合光学相干层析技术与衍射度量技术的特点，可无损、快速的测量微台面列阵的表面形貌并准确提取微台面列阵的周期、横向尺寸与深...
熊敏赵迎春董旭时文华张宝顺
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