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赵迎春

作品数：7 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 6篇专利
  • 1篇会议论文

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 2篇形貌
  • 2篇衍射
  • 2篇阵列
  • 2篇阵列结构
  • 2篇酸溶液
  • 2篇阻挡层
  • 2篇相干
  • 2篇离子注入
  • 2篇铝膜
  • 2篇几何信息
  • 2篇硅衬底
  • 2篇硅基
  • 2篇半导体
  • 2篇层析
  • 2篇衬底
  • 1篇性能表征
  • 1篇探测器
  • 1篇气相外延
  • 1篇气相外延生长
  • 1篇离子

机构

  • 7篇中国科学院

作者

  • 7篇赵迎春
  • 7篇熊敏
  • 5篇董旭
  • 3篇张宝顺
  • 2篇崔志国
  • 2篇时文华
  • 1篇赵宇
  • 1篇黄勇

年份

  • 1篇2020
  • 1篇2018
  • 1篇2017
  • 2篇2016
  • 1篇2015
  • 1篇2013
共 7 条 记 录，以下是 1-7
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排序方式：
半导体微台面列阵的测量装置和方法
本发明提出一种半导体微台面列阵的测量装置和方法，该方法基于宽谱热光源照明干涉仪的光学测量装置与方法，结合光学相干层析技术与衍射度量技术的特点，可无损、快速的测量微台面列阵的表面形貌并准确提取微台面列阵的周期、横向尺寸与深...
熊敏赵迎春董旭时文华张宝顺
文献传递
InAs/GaSb二类超晶格红外探测器的MOCVD生长和制备
锑化物InAs/GaSb二类超晶格探测器是继碲镉汞红外探测器,量子阱红外探测器之后兴起的高性能制冷型红外探测器,具有暗电流小、俄歇复合率低、波长调节范围大等优点.目前国内外的InAs/GaSb二类超晶格探测器均用MBE生...
黄勇吴启花赵宇熊敏赵迎春董旭张宝顺
关键词：红外探测器气相外延生长晶格结构性能表征
半导体微台面列阵的测量装置和方法
本发明提出一种半导体微台面列阵的测量装置和方法，该方法基于宽谱热光源照明干涉仪的光学测量装置与方法，结合光学相干层析技术与衍射度量技术的特点，可无损、快速的测量微台面列阵的表面形貌并准确提取微台面列阵的周期、横向尺寸与深...
熊敏赵迎春董旭时文华张宝顺
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一种用于离子注入的激光辅助装置及离子注入方法
本发明公开了一种用于离子注入的激光辅助装置，包括：激光器、透光窗、调光组件，离子束对第一区域进行离子注入时，第二激光器对第二区域进行加热；离子束对第二区域进行离子注入时，第一激光器对第一区域进行加热；第一区域或第二区域离...
赵迎春崔志国熊敏
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一种用于离子注入的激光辅助装置及离子注入方法
本发明公开了一种用于离子注入的激光辅助装置，包括：激光器、透光窗、调光组件，离子束对第一区域进行离子注入时，第二激光器对第二区域进行加热；离子束对第二区域进行离子注入时，第一激光器对第一区域进行加热；第一区域或第二区域离...
赵迎春崔志国熊敏
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制备硅基纳米图形阵列结构的方法
本发明提供了一种制备硅基纳米图形阵列结构的方法，所述方法包括：设置硅衬底；在硅衬底上沉积阻挡层，在阻挡层上沉积铝膜；利用第一酸溶液对铝膜进行一次阳极氧化处理，以将铝膜的远离硅衬底一侧的表面形成为第一纳米图形阵列结构；利用...
赵迎春熊敏董旭
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制备硅基纳米图形阵列结构的方法
本发明提供了一种制备硅基纳米图形阵列结构的方法，所述方法包括：设置硅衬底；在硅衬底上沉积阻挡层，在阻挡层上沉积铝膜；利用第一酸溶液对铝膜进行一次阳极氧化处理，以将铝膜的远离硅衬底一侧的表面形成为第一纳米图形阵列结构；利用...
赵迎春熊敏董旭
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