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陈晟

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：北京大学更多>>
发文基金：北京市自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文
  • 1篇会议论文

领域

  • 3篇电子电信

主题

  • 2篇氢含量
  • 2篇离子刻蚀
  • 2篇刻蚀
  • 2篇功率
  • 2篇反应离子
  • 2篇反应离子刻蚀
  • 1篇信道
  • 1篇信道估计
  • 1篇压强
  • 1篇碳化硅
  • 1篇通信
  • 1篇自适
  • 1篇自适应
  • 1篇自适应算法
  • 1篇最小二乘
  • 1篇最小二乘法
  • 1篇无线
  • 1篇无线通信
  • 1篇无线信道
  • 1篇无线信道估计

机构

  • 3篇北京大学

作者

  • 3篇陈晟
  • 2篇田大宇
  • 2篇王煜
  • 2篇张国炳
  • 1篇李志宏
  • 1篇李素兰
  • 1篇郭辉
  • 1篇边伟
  • 1篇李志宏
  • 1篇郭辉

传媒

  • 1篇Journa...
  • 1篇第十四届全国...

年份

  • 1篇2008
  • 1篇2006
  • 1篇2005
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
PECVD SiC材料刻蚀技术
2006年
通过对PECVD SiC进行不同条件下的反应离子刻蚀(RIE)和电感耦合反应离子刻蚀(ICP)实验研究,提出了使用SF6和He的混合气体进行RIE刻蚀,并讨论了功率和压强分别对刻蚀速率的影响.进一步研究了SiC中H含量对于RIE刻蚀速率的影响,同时验证ICP刻蚀过程中负载效应的存在.
陈晟李志宏张国炳郭辉王煜田大宇
关键词：PECVD碳化硅反应离子刻蚀氢含量功率
无线信道估计算法研究
无线与移动通信是目前国内外最具发展潜力的产业之一。如何克服有限的无线频率资源对无线与移动通信容量的限制，提高无线移动通信质量，是无线通信系统理论及技术应用的重要研究课题。作为无线通信链路环节之_的信道估计技术，显得尤其重...
陈晟
关键词：信道估计无线通信自适应算法最小二乘法
PECVD SiC材料刻蚀技术研究
在MEMS器件中,SiC材料的使用已经越来越广泛,因此形成一套可以满足兼容性和可控性要求的标准工艺显得十分重要.本文通过对PECVDSiC进行不同条件下的反应离子刻蚀(RIE)和电感耦合反应离子刻蚀(ICP)实验研究,提...
陈晟李志宏张国炳郭辉王煜田大宇李素兰边伟
关键词：反应离子刻蚀氢含量功率压强刻蚀速率
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