高冬晖
- 作品数：15 被引量：34H指数：5
- 供职机构：东南大学更多>>
- 发文基金：江苏省自然科学基金国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程电子电信一般工业技术更多>>
- CMOS风速风向传感器的设计被引量：5
- 2005年
- 介绍了一种CMOS(互补MOS)集成风速风向传感器,使用恒温差(CTD)控制模式将芯片加热,使其中间加热区域的温度高于周围环境(风)温度一定值。该传感器在有风吹过它的表面时能同时测量风速和风向。采用4个串联的热堆测量芯片中心区域的平均温度,这种测温的方法简单、新颖。在简单阐述CMOS硅热流量传感器的工作原理和结构之后,主要介绍驱动和信号读取电路。经过风洞测试,传感器能够测量风速0～23m/s,具有良好的线性度和灵敏度,同时,传感器360°内方向敏感。
- 程海洋秦明高冬晖
- 关键词：风速风向传感器热损失
- 硅热流量传感器及其封装被引量：7
- 2004年
- 在介绍硅热流量传感器的工作原理、工艺方法的基础上,重点给出了目前硅热流量传感器特别是风速计的几种常用结构以及相应的封装形式,并对每种结构及其封装形式的优缺点进行了分析。最后对硅热流量传感器封装发展中尚待解决的问题以及未来发展趋势进行了讨论。
- 高冬晖秦明
- 关键词：硅热流量传感器风速计封装
- 一种新型的CMOS兼容MEMS热风速计
- 提出了一种新型的利用硅衬底实现传感器自封装的热风速计结构,该传感器不仅可以测量风速,也可测量风向。采用ANSYS有限元分析工具对该结构进行了模拟。在风洞中进行了测试分析,该传感器可以实现0-23m/s的风速测量,风向测量...
- 秦明高冬晖孙剑波黄庆安
- 关键词：风速计封装风向
- 文献传递
- 采用CTD控制电路的二维CMOS风速计研究被引量：1
- 2004年
- 介绍了一种二维硅热流量传感器,通过恒温差(CTD)控制模式,能同时测量风速和风向。使用四个串连的热堆测量芯片中心区域的平均温度,这种测温的方法非常简单新颖。在简单介绍CMOS硅热流量传感器的工作原理之后,主要介绍CTD驱动电路。经过风洞测试,该传感器能够测量风速0～23m/s,具有良好的线性度,并且360°方向敏感。
- 程海洋秦明高冬晖
- 关键词：风速计CMOSSOC
- 基于微机械加工的风速传感器
- 基于微机械加工的风速传感器及其制造方法是一种采用体硅电阻作为测温单元，采用硅衬底传热的风速传感器及其制造方法，传感器的整个结构集成在硅衬底(5)上，制造方法为：a)在N型硅衬底(5)上长一层氧化层(51)，光刻并腐蚀内I...
- 高冬晖秦明黄庆安
- 文献传递
- 结构参数对硅热流量传感器热性能的影响
- 基于作者所在实验室研制的硅热流量传感器,给出了其有限元模型。在分析其工作原理的基础上,重点给出了传感器各项性能,如灵敏度、流速量程、输出大小等,和传感器设计尺寸及流体沟道的关系;最后,给出了关于传感器尺寸的优化的结论。
- 高冬晖秦明
- 关键词：硅热流量传感器热模拟ANSYS模拟
- 文献传递
- 采用倒封装技术的硅热风速传感器封装的研究
- 2006年
- 本文给出了一个采用倒封装技术实现的硅热风速传感器的封装结构。该传感器使用铜柱凸点技术,倒装于薄层陶瓷上。利用陶瓷的导热性能实现传感器芯片的加热元件和环境风速的热交换,同时陶瓷又起保护和支撑传感器芯片的作用。测试结果表明,封装后的传感器具有良好的性能。
- 孙建波秦明高冬晖
- 热薄膜温差型CMOS风速风向传感器的研究和实现被引量：9
- 2004年
- 介绍了一种基于 CMOS,能同时测量风速风向的硅集成传感器。通过保持芯片和环境温差恒定在设定值 ,测量芯片上对称区域由于风强迫对流而引起的温差 ,利用二维结构同时获得风速风向信息。本文首先介绍热薄膜温差型风速风向传感器原理 ,给出了具体结构和工艺 ,最后对样品进行了风洞测试 ,传感器能够测量风速 0～ 2 3 m/ s且 3
- 程海洋秦明高冬晖朱昊
- 关键词：CMOSCTD
- 一种基于CMOS工艺的二维风速传感器的设计和测试被引量：3
- 2006年
- 给出了一种完全基于CMOS工艺的、能同时测量风速和风向的二维测风传感器的结构、工作原理及其测试结果。该传感器采用恒温差工作模式，热堆输出电压平均值反映芯片温度和环境温度的差，省去了测温二极管。风速测量采用热损失型原理．因此不存在速度量程问题；同时通过四周对称分布热堆的相对差分输出得到风向，风向的测试和风速无关。测试电路是由普通运放电路组成的控制和测试系统。经过风洞测试，风速的测量可以达到23m／s，风速分辨率达到0．5m／s，风速的最大误差为0．5m／s。传感器的反应时间为3～5秒，整个功率损耗约为50mW。
- 高冬晖秦明程海洋朱昊
- 关键词：风向传感器互补金属氧化物半导体工艺
- 基于微机械加工的风速传感器
- 基于微机械加工的风速传感器是一种采用体硅电阻作为测温单元，采用硅衬底传热的风速传感器，传感器的整个结构集成在硅衬底上，中心部分由四个长方形的加热条组成一个正方形，在每个加热条外对称分布有体硅测温电阻，在体硅测温电阻与加热...
- 高冬晖秦明黄庆安
- 文献传递
