高巍
- 作品数：2 被引量：1H指数：1
- 供职机构：大连理工大学材料科学与工程学院三束材料改性教育部重点实验室更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信理学更多>>
- 柱面天线射频感性耦合等离子体放电模式特性的实验研究被引量：1
- 2008年
- 利用Z-scan、电流、电压探头,通过测量等离子体吸收功率、天线电流、电压、等离子体直流悬浮电位等多种参数,研究了匹配网络、天线耦合强度、导电地面积、气压等多种因素对E,H放电模式特性及模式转化行为的影响.基于Γ型阻抗匹配网络中串联电容对射频电源输出功率的影响,提出了E—H放电模式转化的正负反馈区概念.研究发现:在相同的其他放电条件下,处于正反馈区时等离子体放电易于产生跳变型模式转化,而且模式跳变的临界天线电流、回滞宽度、跳变临界功率、跳变功率差等参数均随阻抗匹配网络参数产生明显变化;在负反馈区内,模式转化过程趋于连续.由于阻抗匹配网络的影响,E—H模式的跳变电流并不是总大于H—E模式的跳变电流.在不同导电地面积、阻抗匹配网络、气压下,模式转化过程中等离子体直流悬浮电位的变化呈现多样性.
- 丁振峰袁国玉高巍孙景超
- 关键词：射频等离子体感性耦合
- 可调谐射频磁探针研究
- 2008年
- 提出了一种利用可调谐变压器提高磁探针灵敏度的方法。可调谐射频变压器采用在原线圈并联可变电容及在副线圈串联可变电容的结构,用平面分立式法拉第屏蔽抑制变压器原、副线圈间寄生的容性耦合。测量结果表明:在采用中心抽头变压器及法拉第屏蔽的情况下,磁探针的容性耦合大幅度降低;当调节并联或串联电容时,磁探针输出电压均出现共振现象;调节并联电容得到的共振输出电压高于调节串联电容时的对应值;在典型条件下,共振输出电压幅值比无可变电容磁探针提高了约一个量级。建立了探针电路模型,计算结果与测量结果符合较好。
- 袁国玉高巍丁振峰
- 关键词：共模信号
