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孙景超

作品数：2 被引量：1H指数：1
供职机构：大连理工大学材料科学与工程学院三束材料改性教育部重点实验室更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇理学

主题

  • 2篇等离子体
  • 2篇射频等离子体
  • 2篇感性耦合
  • 1篇放电
  • 1篇放电模式

机构

  • 2篇大连理工大学

作者

  • 2篇孙景超
  • 1篇丁振峰
  • 1篇高巍
  • 1篇袁国玉

传媒

  • 1篇物理学报

年份

  • 1篇2008
  • 1篇2007
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
射频感性耦合等离子体中容性耦合对放电模式和基片调谐自偏压的影响
在实际的射频感性耦合放电中总是寄生着射频容性耦合。射频容性耦合产生的结果之一是射频感性等离子体源具有感性耦合放电模式(H mode)、容性耦合放电模式(Emode)。在过去关于放电模式转化特性的实验研究中，阻抗匹配网络影...
孙景超
关键词：射频等离子体感性耦合放电模式
文献传递
柱面天线射频感性耦合等离子体放电模式特性的实验研究被引量：1
2008年
利用Z-scan、电流、电压探头,通过测量等离子体吸收功率、天线电流、电压、等离子体直流悬浮电位等多种参数,研究了匹配网络、天线耦合强度、导电地面积、气压等多种因素对E,H放电模式特性及模式转化行为的影响.基于Γ型阻抗匹配网络中串联电容对射频电源输出功率的影响,提出了E—H放电模式转化的正负反馈区概念.研究发现:在相同的其他放电条件下,处于正反馈区时等离子体放电易于产生跳变型模式转化,而且模式跳变的临界天线电流、回滞宽度、跳变临界功率、跳变功率差等参数均随阻抗匹配网络参数产生明显变化;在负反馈区内,模式转化过程趋于连续.由于阻抗匹配网络的影响,E—H模式的跳变电流并不是总大于H—E模式的跳变电流.在不同导电地面积、阻抗匹配网络、气压下,模式转化过程中等离子体直流悬浮电位的变化呈现多样性.
丁振峰袁国玉高巍孙景超
关键词：射频等离子体感性耦合
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