刘燕翔
- 作品数：10 被引量：39H指数：4
- 供职机构：清华大学更多>>
- 发文基金：国家重点基础研究发展计划国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 使用超声搅拌实现精密KOH各向异性体硅腐蚀被引量：2
- 2002年
- 对使用超声搅拌和不加搅拌时 (10 0 )单晶硅的腐蚀特性进行了研究和对比 .使用超声搅拌 ,可以得到光滑的、无小丘的腐蚀表面 ,整个硅片腐蚀深度的误差不超过 1μm.实验结果表明 ,该方法可以有效地实现精密
- 陈兢刘理天李志坚谭智敏蒋前哨方华军徐扬刘燕翔
- 关键词：各向异性腐蚀KOH硅表面粗糙度均匀性
- PZT材料在射频滤波器中的应用被引量：11
- 2002年
- 锆钛酸铅 (PZT)材料有着优良的压电性能 ,其薄膜具有高机电耦合系数、高品质因数的特点 ,适合于制作低插损、大带宽的射频 (RF)滤波器。文中介绍了 RF体声波滤波器的原理、结构和 PZT的材料特性 ,探讨了PZT薄膜的制备、退火、刻蚀工艺的选择与优化 ,并在此基础上设计了应用 PZT薄膜的体声波滤波器 。
- 刘燕翔任天令刘理天
- 关键词：射频滤波器锆钛酸铅谐振器微电子机械系统压电
- 基于MEMS的射频滤波器
- 该文在充分调研了目前的各种射频滤波器的基础上,提出了基于微电子机械系统技术的采用高品质PZT压电薄膜的射频体声彼谐振器、滤波器.该射频体声波谐振器用到了电极-压电薄膜-电极的夹心结构,利用微电子机械系统技术,可以实现衬底...
- 刘燕翔
- 关键词：射频滤波器谐振器锆钛酸铅
- 硅基PZT薄膜的制备与刻蚀工艺研究被引量：11
- 2001年
- 采用溶胶 -凝胶 ( Sol- Gel)法制备了 PZT薄膜 ,在 60 0°C的退火温度下即获得了晶化完善的钙钛矿铁电相结构。采用典型的半导体光刻工艺 ,利用 HCl/ HF刻蚀溶液成功地获得刻蚀线条分辨率达微米量级的 PZT薄膜微图形。较好的解决了有关 PZT薄膜制备与加工中存在的关键问题 ,为硅基铁电薄膜器件的实现奠定了良好的工艺基础。
- 赵宏锦刘建设任天令刘燕翔刘理天李志坚
- 关键词：锆钛酸铅刻蚀工艺PZT薄膜硅基
- 采用PZT薄膜的射频滤波器研究
- 微机械加工技术是提高射频通信前端器件性能、缩小其体积的有效方法。文中介绍了应用MEMS（微电子机械系统）技术的体声波射频滤波器的原理、结构,分析了PZT的材料特性,优化了硅基薄膜的制备、退火、刻蚀等集成工艺,并在此基础上...
- 刘燕翔任天令刘理天
- 关键词：射频滤波器谐振器微电子机械系统锆钛酸铅
- 文献传递
- 采用PZT薄膜的体声波RF滤波器设计被引量：13
- 2001年
- 在分析体声波滤波器的原理、结构及相关参数的基础上 ,结合锆钛酸铅薄膜的材料特性 ,提出了一种射频体声波滤波器设计。设计中考虑了衬底、电极的质量加载对中心频点的影响 ,模拟了不同连接方法下滤波器的频率特性 ,探讨了薄膜材料的制备、退火。
- 刘燕翔任天令刘理天
- 关键词：射频滤波器PZT薄膜体声波
- 具有自支撑夹层结构的射频体声波谐振器及其制备方法
- 本发明涉及一种具有自支撑夹层结构的射频体声波谐振器,该谐振器依次由硅衬底和夹层结构组成。本发明谐振器的制备方法,利用硅的表面加工工艺和牺牲层技术,制成由上层金属电极,压电材料和下层金属电极构成的自支撑的夹层结构,以避免支...
- 任天令丛鹏刘燕翔刘建设刘理天
- 文献传递
- 具有自支撑夹层结构的射频体声波谐振器及其制备方法
- 本发明涉及一种具有自支撑夹层结构的射频体声波谐振器，该谐振器依次由硅衬底和夹层结构组成。本发明谐振器的制备方法，利用硅的表面加工工艺和牺牲层技术，制成由上层金属电极，压电材料和下层金属电极构成的自支撑的夹层结构，以避免支...
- 任天令丛鹏刘燕翔刘建设刘理天
- 文献传递
- 具有自支撑三明治结构的射频滤波器设计
- 现有体声波滤波器基本采用体硅加工技术.本文采用表面硅加工工艺和牺牲层技术制作体声波滤波器.利用多孔硅作为牺牲层,形成不需支撑膜的由上层金属电极,压电材料和下层金属电极构成的自支撑的三明治结构.避免了支撑膜对滤波器的影响....
- 丛鹏刘燕翔任天令刘理天
- 关键词：射频滤波器
- 文献传递
- 基于硅表面加工工艺的射频体声波滤波器研究被引量：4
- 2002年
- 计算并讨论了由电极 -压电薄膜 -电极的三明治结构组成的体声波谐振器在有衬底情况下的阻抗 ,特别说明了厚的支撑膜对滤波器性能的严重影响。同时比较了在制作体声波滤波器时硅的体加工工艺和表面加工工艺的优劣 。
- 丛鹏刘燕翔任天令刘理天
- 关键词：滤波器微电子机械系统体声波射频
