吴宪平
- 作品数：15 被引量：27H指数：3
- 供职机构：复旦大学信息科学与工程学院微电子学系更多>>
- 发文基金：上海市科委纳米专项基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程电子电信医药卫生更多>>
- 梁膜结构的半导体压力传感器
- 目前广泛使用的半导体压力传感器采用硅的平膜结构，其线性度在高输出时较差，精度无法提高。本实用新型采用了梁与平膜的组合结构，利用梁结构本身线性较好的特点，并保持了平膜结构的优点，从而制造出一种新型的高精度半导体压力传感器。
- 于连忠鲍敏杭吴宪平
- 文献传递
- AFM氮化硅纳米探针研制被引量：2
- 2006年
- 在〈100〉晶向硅片上通过各向异性腐蚀形成作为模板的倒金字塔形尖坑,用LPCVD和PECVD法淀积一层约1μm厚的氮化硅膜,通过等离子刻蚀形成悬臂梁图形,再把抛光玻璃片静电键合到氮化硅膜上,最后把衬底硅片腐蚀掉,带有金字塔形针尖的悬臂梁就暴露出来,从而构成可用于原子力显微镜(AFM)描绘纳米图像的氮化硅纳米探针。对针尖的尖度和氮化硅膜悬臂梁的热应力补偿进行了深入研讨,并报道一种特殊而有效的悬臂梁掩模板图形的新设计。制成的氮化硅纳米探针在原子力显微镜上成功地描绘出了纳米图像,经检测,其Z向偏转检测精度优于10-9量级。
- 吴辰凯张波吴宪平
- 关键词：氮化硅纳米探针AFM
- 1kPa 微机械结构微压传感器的研究被引量：2
- 1998年
- 本文报道一种量程为１ｋＰａ的扩散硅微机械结构微压传感器。实现了高灵敏度微压传感器的非线性内补偿和强过载保护以及高共振频率，分析研究了最佳条件。微压传感器的非线性为０．１％ＦＳ，其过载保护能力已超过５００倍满程压力，共振频率为９ｋＨｚ。
- 吴宪平胡美凤罗桂隆龚凤英
- 关键词：微机械微压传感器力敏电阻
- 扩散硅压力传感器的近期进展(特邀报告)
- 吴宪平胡美风
- 关键词：压力传感器硅力敏电阻器力学测量半导体传感器
- 双岛结构硅压力传感器的非线性内补偿研究被引量：1
- 1998年
- 本文指出采用矩形双岛结构可以实现硅压力传感器的非线性内补偿.用一维近似模型分析计算了矩形双岛结构硅压力传感器硅芯片的应力分布及其与(100)硅各向异性腐蚀深度的关系,指出对已确定了几何尺寸的掩模,可以找到某一最佳腐蚀深度,使这时两对力敏电阻所受横向应力大小与其非线性值成反比.这样总的非线性为零值.通过实验证实了这一结论.
- 吴宪平胡美凤
- 关键词：压力传感器硅非线性补偿
- (100)硅EPW各向异性腐蚀中残留物的研究被引量：3
- 1990年
- 本文首次分析了(100)硅在乙二胺——邻苯二酚水溶液(EPW)中进行各向异性腐蚀时所可能出现的白色残留物的化学组份。该残留物的生成条件取决于正常反应物在一定组份的EPW中的溶解度;邻苯二酚的含量对此溶解度有明显影响。文中讨论了预防残留物出现以获得近于镜面的(100)硅腐蚀面的各种措施。
- 吴宪平
- 关键词：硅EPW
- 矩形双岛结构过压保护型硅压力传感器
- 吴宪平胡美凤晋琦张国权罗桂隆龚凤英
- “矩形双岛结构过压保护型硅压力传感器”是我们在“七五”国家重点科技攻关过程中发明的国家专利。采用这种新型机械结构并解决了一系列工艺难点，包括双面套准光刻，硅的各向异性腐蚀，凸角图形在腐蚀中的削角补偿以及静电封接等等，在一...
- 关键词：
- 关键词：硅压力传感器
- 压阻式医用导管端微型压力传感器被引量：1
- 1993年
- 本文探讨了对压阻式导管端压力传感器微型化起限制作用的一些因素.根据(100)硅各向异性腐蚀的特点和矩形硅膜上的应力分布曲线,分析了硅片厚度和力敏电阻区尺寸对传感器压力灵敏度的影响.介绍了一种微型化的压阻式医用导管端压力传感器的设计、制造工艺和钝化与封装技术.该传感器芯片尺寸为1mm×2.5mm×0.16mm;量程为40kPa;灵敏度约为100μV/V·kPa;静态精度约0.3％FS;固有频率高达350kHz.其制造工艺适用于批量生产.
- 吴宪平胡美凤沈嘉英马青华
- 关键词：压力传感器心导管压阻式
- 岛膜结构高精度低压传感器性能优化研究
- 本文论述了提高量程10kPa以下至1kPa的扩散硅低微压传感器各项主要技术性能,包括灵敏度、非线性、过载保护、共振频率、零位和灵敏度温度系数以及时漂稳定性等参数的设计原理、理论分析、工艺条件和技术措施等。采用矩形双岛硅膜...
- 吴宪平
- 关键词：低压传感器
- 文献传递
- 跨膈压测定及其影响因素的观察被引量：1
- 1993年
- 介绍一种跨膈压测定的方法,并通过对8例正常人及9例慢性阻塞性肺病患者跨膈压(Pdi)的测定,观察了气囊充气量、气囊位置及测定体位对Pdi测定值的影响。结果显示:食道测压气囊和胃测压气囊充气量分别以0.2和0.5ml为宜;食道气囊放置在测压导管远端离鼻孔35～45cm时测得的食道负压(Pe)最低,且较稳定;Pe、胃压及Pdi测定值均随体位改变而有所不同。
- 徐凤平蔡映云钮善福洪强张小明董鹤嘉吴宪平周家浩
- 关键词：跨膈压呼吸监护
