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于连忠

作品数：46 被引量：4H指数：1
供职机构：中国科学院地质与地球物理研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术理学文化科学更多>>

合作作者

文献类型

  • 43篇专利
  • 2篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 7篇自动化与计算...
  • 1篇文化科学
  • 1篇理学

主题

  • 25篇弹性梁
  • 24篇加速度
  • 23篇加速度计
  • 15篇盖板
  • 13篇硅片
  • 12篇MEMS
  • 9篇键合
  • 8篇压力传感器
  • 8篇陀螺
  • 8篇陀螺仪
  • 8篇力传感器
  • 8篇灵敏度
  • 8篇敏度
  • 8篇感器
  • 8篇传感
  • 8篇传感器
  • 6篇轴对称
  • 6篇锚点
  • 6篇高灵敏
  • 6篇高灵敏度

机构

  • 35篇中国科学院
  • 8篇复旦大学
  • 3篇苏州大学

作者

  • 46篇于连忠
  • 20篇孙晨
  • 9篇杨长春
  • 8篇李航
  • 6篇鲍敏杭
  • 4篇胡宗达
  • 3篇汤亮
  • 3篇张忠山
  • 3篇王言
  • 3篇乔东海
  • 2篇杨燕
  • 2篇吴宪平
  • 2篇张忠山
  • 1篇齐薇佳

传媒

  • 2篇传感技术学报

年份

  • 2篇2020
  • 3篇2019
  • 4篇2018
  • 8篇2017
  • 6篇2016
  • 3篇2015
  • 10篇2014
  • 2篇2013
  • 1篇1991
  • 2篇1990
  • 5篇1988
共 46 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种MEMS横向加速度敏感芯片及其制造工艺
一种MEMS横向加速度敏感芯片，包括框架，设置在所述框架内的质量块，以及用于连接所述框架及所述质量块的弹性梁，所述质量块上形成有多个凹陷部及第一连接部，所述框架上形成有第二连接部，所述弹性梁连接所述第一连接部和第二连接部...
于连忠矣雷阳孙晨
梁膜结构的半导体压力传感器
目前广泛使用的半导体压力传感器采用硅的平膜结构，其线性度在高输出时较差，精度无法提高。本实用新型采用了梁与平膜的组合结构，利用梁结构本身线性较好的特点，并保持了平膜结构的优点，从而制造出一种新型的高精度半导体压力传感器。
于连忠鲍敏杭吴宪平
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抗磁场干扰的横向电压型压力传感器
近年来出现的横向电压型压力传感器的核心部分是制作在硅膜上的一个四端半导体电阻器。由于其几何形状与磁敏霍尔器件类似，这种压力传感器也有磁敏性。本实用新型把几何尺寸和工艺参数完全相同的两个四端电阻器根据硅膜的形状，选取一定的...
鲍敏杭齐薇佳于连忠
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一种MEMS高灵敏度横向加速度计及其制造工艺
一种MEMS高灵敏度横向加速度计，包括：测量体、与所述测量体相连接的上盖板以及下盖板；所述测量体包括框架、位于所述框架内的质量块，所述质量块与所述框架之间通过多根弹性梁相连接；所述质量块与所述框架之间设置有相对的梳状耦合...
孙晨于连忠
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双岛-梁-膜结构压力传感器
本实用新型是一种芯片为双岛——梁——膜结构的半导体压力传感器。碰梁横贯双岛，并将硅膜分为对称的两个部分，力敏元件设置在硅梁上。与传统的膜式结果相比。有将应力二次集中的效果，提高了传感器的灵敏度和线性度。可用于微压测量领域...
王言于连忠鲍敏杭
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一种碱金属谐振器
本实用新型公开一种碱金属谐振器，其为玻璃-硅-玻璃三明治结构，包括谐振腔腔体与包围腔体的六个侧面，在由硅片构成的一个侧面上设有一开口，开口的一端与谐振腔连通，另一端由焊料封闭；所述焊料与硅片之间设有金属层；谐振腔腔体内放...
张忠山于连忠汤亮乔东海
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一种加速度计及其制造工艺
一种加速度计，包括：测量体、与所述测量体相连接的上盖板硅片以及下盖板硅片；所述测量体包括框架、位于所述框架内的弹性梁和质量块；所述质量块与所述框架通过多组所述弹性梁相连接，每组所述弹性梁包括两根弹性折叠梁,所述弹性折叠梁...
俞度立于连忠杨长春
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一种加速度计及其制造工艺
一种加速度计，包括：测量体、与所述测量体相连接的上盖板硅片以及下盖板硅片；所述测量体包括框架、位于所述框架内的弹性梁和质量块；所述质量块与所述框架通过多组所述弹性梁相连接，每组所述弹性梁包括两根弹性折叠梁,所述弹性折叠梁...
俞度立于连忠杨长春
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一种MEMS加速度计及其制造工艺
本发明涉及传感器领域，尤其涉及一种MEMS加速度计，上盖板、器件层以及下盖板；所述器件层包括：锚点、质量块、解耦梁以及加速度检测结构；所述解耦梁用于连接所述锚点以及所述质量块，所述加速度检测结构轴对称设置在所述质量块中，...
胡宗达李航于连忠杨燕
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一种加速度计及其制造工艺
一种加速度计，包括：测量体、与所述测量体相连接的上盖板硅片以及下盖板硅片；所述测量体包括框架、位于所述框架内的活动限位体、弹性梁和质量块；所述活动限位体远离所述框架，并通过连接臂与所述框架相连接；所述质量块与所述活动限位...
俞度立于连忠杨长春
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