周奎
- 作品数：7 被引量：5H指数：1
- 供职机构：北京师范大学核科学与技术学院低能核物理研究所更多>>
- 相关领域：一般工业技术理学电子电信核科学技术更多>>
- 磁过滤阴极真空弧沉积法制备TiAlN薄膜的研究被引量：3
- 2007年
- 采用磁过滤阴极真空弧沉积技术在不同的真空室压强(N2流量)状态下制备TiAlN薄膜,讨论了N2流量对TiAlN薄膜各项性能的影响。并对薄膜的成分、结构和性能进行了测试。测试结果表明:获得薄膜较好,真空室压强对薄膜的厚度、摩擦系数和纳米硬度都有着重要的影响。
- 丁剑飞吴先映李强周奎王桂岳冷崇燕
- 关键词：TIALN薄膜
- 磁过滤阴极真空弧法制备纳米nc-ZrCN/a-C:H(N)复合薄膜的研究
- 采用磁过滤阴极弧法，以金属Zr 为阴极在真空室中通入C2H2和N2 混合气体来制备纳米nc-ZrCN/a-C:H(N)复合薄膜，用X 射线衍射(XRD)、扫描电镜的能谱仪(SEM-EDS)、X 射线电子能谱(XPS)和纳...
- 周奎张旭吴先映
- 关键词：纳米复合薄膜气体流量
- 文献传递
- 磁过滤阴极真空弧法制备纳米nc-ZrCN/a-C：H(N)复合薄膜的研究
- 采用磁过滤阴极弧法，以金属Zr为阴极在真空室中通入C2H2和N2混合气体来制备纳米nc—ZrCN/a-C：H（N）复合薄膜，用X射线衍射（XRD）、扫描电镜的能谱仪（SEM-EDS）、X射线电子能谱（XPS）和纳米力学探...
- 周奎张旭吴先映
- 关键词：纳米复合薄膜
- 文献传递
- 磁过滤阴极真空弧法制备纳米复合膜nc-ZrCN/a-C：H(N)研究
- 磁过滤阴极真空弧法是一种新型的薄膜制备技术，通过磁过滤管过滤掉大颗粒和中性原子，制备出性能优异的薄膜。
本论文采用磁过滤阴极真空弧法，以金属Zr为阴极在真空室中通入C2H2和N2混合气体来制备纳米复合膜nc-ZrC...
- 周奎
- 关键词：纳米复合薄膜弹性模量
- 磁过滤阴极真空弧法制备纳米nc-ZrCN/a-C:H(N)复合薄膜被引量：1
- 2009年
- 采用磁过滤阴极弧法,以金属Zr为阴极在真空室中通入C2H2和N2混合气体来制备纳米nc-ZrCN/a-C:H(N)复合薄膜,用X射线衍射(XRD)、扫描电镜的能谱仪(SEM-EDS)、X射线电子能谱(XPS)和纳米力学探针研究了薄膜的成分、结构及其性能。实验结果表明薄膜是由ZrCN和无定形碳两种纳米结构组成;气体流速对复合膜的的成分和结构有显著影响:随着混合气体流速的增加,薄膜的锆原子百分比减小,而N和C的含量逐渐增大,薄膜的硬度逐渐减小,ZrCN峰强度逐渐降低。
- 周奎张旭吴先映吴正龙邓春凤
- 关键词：纳米复合薄膜气体流量
- 磁过滤阴极真空弧法制备纳米nc-ZrCN/a-C:H(N)复合膜
- 2008年
- 采用磁过滤阴极真空弧法,以C2H2和N2混合气体为反应气体在单晶硅上沉积纳米nc-ZrCN/a-C:H(N)复合膜,用X射线衍射(XRD)、扫描电镜的能谱仪(SEM-EDS)和X射线电子能谱(XPS)研究了薄膜的成分和结构.实验结果表明薄膜结构是由ZrCN晶粒镶嵌在无定形碳和碳氮化合物基体中;膜中的化合键主要以Zr—C,C C(sp2)和C—C(sp3)形式存在;随着混合气体流量的增加,薄膜的锆原子分数减小,而N和C的原子分数逐渐增大.
- 周奎张旭覃礼钊廖斌吴先映
- 关键词：气体流量
- Ti-6Al-4V基类金刚石生物梯度薄膜的研究进展被引量：1
- 2008年
- Ti-6Al-4V合金作为生物医用材料已广泛应用于临床,但仍存在一些问题:耐磨、耐腐蚀及生物相容性不理想。类金刚石(DLC)具有硬度高、耐磨、生物相容性好等特点。在Ti-6Al-4V基上制备类金刚石生物梯度薄膜不仅能解决这些问题,而且膜基结合力好。本文综述了Ti-6Al-4V基类金刚石生物梯度薄膜的梯度设计、制备工艺和性能研究进展,并对其应用和未来进行了展望。
- 周奎吴先映张旭李强王桂岳
- 关键词：TI-6AL-4V合金
